技术总结
一种金刚石涂层刀具生长装置，涉及一种刀具生长装置，包括真空室（8）、升降基片台（2）和热丝装置（6），在真空室（8）内设有立式放置的升降基片台（2），在升降基片台（2）的一侧设有与升降基片台（2）并排设置的热丝装置（6），在热丝装置（6）的两端分别设有水冷电极（3），在升降基片台（2）的另一侧中部设有磁流体（7），在真空室（8）内分别设有进气系统（4）和抽气系统（5）；本实用新型通过设置立式放置的升降基片台与热丝装置，并通过升降基片台安装基片及调节基片与热丝装置之间的距离，达到了钽丝不下垂、沉积面积大、长时间均匀沉积的目的。
技术研发人员：邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌
受保护的技术使用者：洛阳奥尔材料科技有限公司
文档号码：201620783945
技术研发日：2016.07.25
技术公布日：2016.12.14