磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置及真空镀膜设备的制作方法

文档序号:12430833阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置,其特征在于,所述磁场移动调节装置包括:法兰座、驱动螺杆、调节手轮、导向轴、直线轴承以及安装板;

所述法兰座为至少两个,所述驱动螺杆一端安装有法兰座,所述调节手轮螺接于所述驱动螺杆上,且所述调节手轮枢转安装于所述安装板上,所述导向轴与所述驱动螺杆间隔且平行设置,所述导向轴一端安装有法兰座,所述导向轴通过直线轴承滑动地安装于所述安装板上。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置,其特征在于,所述驱动螺杆的端部具有尺寸刻度。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置,其特征在于,所述导向轴的数量为两个,两个导向轴对称分布于所述驱动螺杆的两侧,两个导向轴的端部分别安装有法兰座。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极座的磁场移动调节装置,其特征在于,所述法兰座为绝缘法兰座。

5.一种真空镀膜设备,其特征在于,所述真空镀膜设备包括:水冷座、安装底座、磁铁、导磁体以及如权利要求1~4任一项所述的磁场移动调节装置;

所述磁场移动调节装置通过安装底座固定安装于所述水冷座上,所述磁铁和导磁体相互连接形成一整体,所述磁场移动调节装置通过所述法兰座与所述磁铁和导磁体形成的整体固定连接。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜设备,其特征在于,所述安装底座与所述磁场移动调节装置之间还设置有绝缘板。

7.根据权利要求5所述的真空镀膜设备,其特征在于,所述磁铁为若干个,若干个磁铁并排设置,且并排设置的若干个磁铁位于所述导磁体之间。

8.根据权利要求5所述的真空镀膜设备,其特征在于,所述磁场移动调节装置通过所述法兰座与所述导磁体进行固定连接。

9.根据权利要求5所述的真空镀膜设备,其特征在于,所述真空镀膜设备还包括电源,所述电源与所述导磁体电性连接。

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