旋转阴极的制作方法

文档序号:11088154阅读:来源:国知局

技术特征:

1.旋转阴极,其特征在于,包括阴极盖板、靶材及布气装置;所述布气装置包括:

基板,所述基板为长方体形状,其具有前表面、后表面、上表面、下表面及两个侧表面;

所述上表面上开设有第一进气口和第二进气口;所述基板设置有第一气体通道和第二气体通道,所述第一进气口与所述第一气体通道连通,所述第一气体通道设置所述前表面;所述第二气体通道与第二进气口连通,所述第二气体通道设置在所述后表面;

第一密封板;所述第一密封板与所述基板连接,并位于所述前表面一侧;所述第一密封板上设置有多个第一通孔;所述第一通孔与所述第一气体通道连通;

第一布气板,所述第一布气板位于所述第一密封板一侧;第一布气板与所述第一密封板之间设置第三气体通道,所述第三气体通道一端与第一通孔连通,另一端朝下设置有第一出气口;

第二密封板,所述第二密封板与所述基板连接,并位于所述后表面一侧;所述第二密封板上设置有多个第二通孔;所述第二通孔与所述第二气体通道连通;

第二布气板,所述第二布气板位于所述第二密封板一侧;第二布气板与所述第二密封板之间设置第四气体通道,所述第四气体通道一端与第二通孔连通,另一端朝下设置有第二出气口;

自第一进气口进入的气体经第一气体通道、第三气体通道或者两者的组合均分为多路后,自第一出气口流出;自第二进气口进入的气体经第二气体通道、第四气体通道或者两者的组合均分为多路后,自第二出气口流出。

2.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第一气体通道为第一通气槽,所述第一通气槽设置在所述基板前表面,所述第一进气口与所述第一通气槽连通;所述第二气体通道为第二通气槽,所述第二通气槽设置在所述基板后表面,所述第二进气口与所述第二通气槽连通。

3.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第三气体通道为第三通气槽,所述第三通气槽设置在所述第一布气板或第一密封板上;所述第三通气槽与所述第一通孔连通。

4.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第四气体通道为第四通气槽,所述第四通气槽设置在所述第二布气板或第二密封板上;所述第四通气槽与所述第二通孔连通。

5.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,还包括布气挡罩,所述布气挡罩设置有多个第三通孔;所述布气挡罩覆盖所述基板、第一密封板、第二密封板、第一布气板和第二布气板下表面;所述第一出气口与所述第二出气口均与所述第三通孔连通。

6.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第一密封板上设置有八个第一通孔,经第一进气口进入的气体经第一气体通道均分为八路后,分别自八个第一通孔内进入八个第三气体通道内,再经八个第三气体通道均分为六十四路后经六十四个第一出气口流出。

7.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第二进气口数目为多个,经多个第二进气口进入的气体均分为相同或不同数目的多路气体。

8.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述第二进气口数目为五个,第二气体通道及第四气体通道数目与第二进气口数目相同;经其中四个第二进气口进入的气体被第二气体通道、第四气体通道或者两者的组合均分为八路气体后流出;经其中一个第二进气口进入的气体被第二气体通道、第四气体通道或者两者的组合均分为十六路气体后流出。

9.根据权利要求1所述的旋转阴极,其特征在于,所述阴极盖板上设置有阴极端头和支撑座,所述靶材一端与阴极端头连接,另一端支撑在支撑座上;所述布气装置设置在所述靶材一侧或位于多个靶材之间。

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