1.一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，包括箱体(1)、密封圈(2)、真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)、空气接口(5)、箱门(6)、空调蒸发器(7)以及空调蒸发器外罩(8)；所述密封圈(2)设置于箱体(1)开口处的密封槽内，在箱体(1)背面下方并排设置真空泵接口(3)、惰性气体接口(4)与空气接口(5)，箱门(6)通过铰链与箱体(1)连接，空调蒸发器(7)设置在箱体(1)内侧底部中央，空调蒸发器外罩(8)设置于调蒸发器(7)外部以及箱体(1)内部。
2.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述密封圈(2)用于在箱门(6)关闭后保证箱体(1)密封。
3.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述真空泵接口(3)与外界真空泵相连，用于将箱体(1)中的空气抽空；所述惰性气体接口(4)与外界惰性气体钢瓶连接，用于将惰性气体充入箱体(1)中；所述空气接口(5)用于在抽真空后将外界空气放入箱体(1)；在三个接口外均设有阀门，用于控制接口的开闭。
4.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述空调蒸发器(7)设有风扇，空调蒸发器(7)与外界空调压缩机相连，用于强制冷却箱体(1)内的空气或惰性气体，空调蒸发器的控制电线和铜管从箱体引出，并在开口处进行密封处理，防止空气漏入。
5.根据权利要求1所述一种保护气氛快速冷却装置，其特征在于，所述空调蒸发器外罩(8)由具有网眼结构的不锈钢材质制成，用于有效的保证箱体(1)内气体的流通，同时可做为磁控溅射靶材的放置平台，空调蒸发器外罩(8)顶端为平面，并附有耐热洁净的软性材料，避免靶材底面划伤。