技术总结
一种柴油发动机零件表面多层耐磨减摩薄膜，在柴油发动机零件表面由内向外依次包括Cr层、Cr/MeC过渡层、MeC‑DLC层、a‑C:H软硬交替层和MoS2层，其中，Me为过渡金属元素。先在柴油发动机零件表面磁控溅射沉积Cr层；然后磁控溅射沉积Cr/MeC过渡层；再采用磁控溅射/等离子体辅助化学气相复合沉积法沉积MeC‑DLC层；接着采用等离子体辅助化学气相沉积法沉积a‑C:H软硬交替层；再采用激光刻蚀法在a‑C:H软硬交替层上刻蚀微织构；最后磁控溅射沉积MoS2层。本发明的薄膜能显著的改善柴油发动机零部件的表面性能，提高了其使用寿命、能源使用效率及可靠性。
技术研发人员：周晖;杨拉毛草;郑军;张延帅;张凯锋;贵宾华;郝宏;苟世宁;霍丽霞
受保护的技术使用者：兰州空间技术物理研究所
文档号码：201710003739
技术研发日：2017.01.04
技术公布日：2017.06.20