一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置与流程

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置。

背景技术：

真空蒸镀是指在真空环境中，将待成膜物质加热蒸发或升华后，使其在低温工件或基片表面凝结或沉积，形成镀层的工艺。在有机显示领域，有机半导体器件如有机发光二极管中的有机功能层大多是使用真空蒸镀的方式进行加工制作，镀膜工艺的好坏是影响有机显示器件功能优劣的关键因素。

现有技术中的蒸镀设备通常将待蒸镀基板水平放置在真空腔室内，其中待蒸镀基板的待蒸镀面向下，在待蒸镀基板的待蒸镀面上贴合包含有待蒸镀图案的掩膜版，蒸镀源设置在掩膜版的下方，蒸镀源在激发状态下将蒸镀材料向上蒸发，其中，蒸镀材料通过掩膜版上的待蒸镀图案中可透过的部分在待蒸镀基板上沉积，从而在待蒸镀基板上形成所需的蒸镀图案。

由于待蒸镀基板的中心为待蒸镀区域，为了避免对待蒸镀区域的蒸镀图案造成影响，对待蒸镀基板进行承载固定的基板承载机构只能够与待蒸镀基板的外侧边缘相接触，这样一来，待蒸镀基板的中心就可能由于重力的作用发生下垂变形，从而影响到待蒸镀基板与掩膜版之间的对位精度，进而影响到蒸镀图案的正确性和镀膜层的均一性，甚至可能由于待蒸镀基板的边缘固定尺寸过小，导致待蒸镀基板脱落的事故。

通过增加基板承载机构在待蒸镀基板边缘的支撑点能够在一定程度上减小下垂变形量，降低待蒸镀基板脱落的可能性，但是并不能解决上述问题，尤其是当待蒸镀基板的尺寸较大时，下垂变形量也会相应增大，现有技术中还可以采用在待蒸镀区域外用粘性胶对待蒸镀基板进行粘贴的方式，将待蒸镀基板背离蒸镀源的一侧与基板承载机构之间粘贴固定，但是这种方式的固定效果有限，待蒸镀基板在蒸镀过程中仍然有脱落的风险，而且在蒸镀完成后基板与胶体分离时容易造成基板破损，增加次品率。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，能够解决待蒸镀基板由于承载固定不牢固，而可能导致在蒸镀过程中由于重力变形而发生脱落的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种基板承载机构，包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。

进一步的，下压件的后端与承载件的后端固定连接，下压件由弹性材料制成，下压件的前端在自由状态下与承载件的前端之间留有用于置入待蒸镀基板边缘的间隙。

优选的，承载件设置有一个，承载件的承载面沿支撑架的长度方向延伸为条状；和/或，下压件设置有一个，下压件沿支撑架的长度方向延伸为条状。

进一步的，在承载件的承载面上设置有防滑结构；和/或，在下压件与待蒸镀基板边缘相接触的表面设置有防滑结构。

进一步的，基板承载机构还包括驱动装置，驱动装置驱动下压件向承载件的承载面移动。

优选的，驱动装置沿支撑架的长度方向设置有多个。

进一步的，基板承载机构还包括拉伸部件，拉伸部件连接设置在支撑架的后端，用于拉动支撑架向后移动。

本发明实施例的另一方面，提供一种基板承载机构的使用方法，包括，将待蒸镀基板放置在承载件上，其中，待蒸镀基板的边缘搭载在承载件的承载面上；向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧。

进一步的，当下压件由弹性材料制成，且下压件的后端与承载件的后端固定连接时，向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧包括，向下移动下压件的前端将待蒸镀基板的边缘压紧；向下移动下压件将待蒸镀基板的边缘压紧之后，使用方法还包括，向后移动拉伸部件以拉动支撑架向后移动。

本发明实施例的再一方面，提供一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室，还包括上述任一项所述的基板承载机构，基板承载机构设置有至少一组，其中，每一组设置有两个，且以相对的方向固定连接在蒸镀腔室内。

本发明实施例提供一种基板承载机构及其使用方法、蒸镀装置，包括支撑架，承载件，承载件包括位于承载件前端的承载面，用于搭载待蒸镀基板的边缘，承载件的后端与支撑架固定连接。下压件，下压件的至少一部分设置于承载件的承载面之上，下压件在下压状态下可将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上。将承载件的后端连接固定在支撑架上，在承载件之上设置下压件，下压件的至少一部分位于承载面之上，下压件在下压状态下能够将待蒸镀基板的边缘压紧在承载件的承载面上，以降低待蒸镀基板的边缘由承载件的承载面上脱落的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种基板承载机构的结构示意图；

图2为图1的俯视图之一；

图3为图1的俯视图之二；

图4为本发明实施例提供的一种基板承载机构中下压件前端为自由状态时的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种基板承载机构中下压件前端为下压状态时的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有防滑结构的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有驱动装置的结构示意图；

图8为图7的俯视图；

图9为本发明实施例提供的一种基板承载机构中在下压件与承载面上设置有拉伸部件的结构示意图；

图10为图9的俯视图；

图11为本发明实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图一；

图12为本发明实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图二；

图13为本发明实施例提供的一种基板承载机构的使用方法的流程图三；

图14为本发明实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图。

附图标记：

01-基板承载机构01；02-蒸镀腔室；10-支撑架；20-承载件；201-承载面；30-待蒸镀基板；40-下压件；50-防滑结构；60-驱动装置；70-拉伸部件；W-间隙。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种基板承载机构，如图1所示，包括支撑架10，承载件20，承载件20包括位于承载件20前端的承载面201，用于搭载待蒸镀基板30的边缘，承载件20的后端与支撑架10固定连接。下压件40，下压件40的至少一部分设置于承载件20的承载面201之上，下压件40在下压状态下可将待蒸镀基板30的边缘压紧在承载件20的承载面201上。

需要说明的是，第一，承载件20的承载面201用于对待蒸镀基板30的边缘进行搭载，在本发明实施例中定义承载件20靠近待蒸镀基板30的一侧为前，背离待蒸镀基板30的一侧为后，以下对于前、后的定义与此相同。

第二，本发明实施例中支撑架10指的是蒸镀装置内用于与移动部如机械手相连接的支撑部件，支撑架10可活动的设置在蒸镀装置内部，用于对基板承载机构的位置进行调整。因此，支撑架10的形状应该理解为长条状，支撑架10沿长条状结构的长度方向将基板承载机构的承载件20后端固定，以保证能够对承载整个待蒸镀基板30的其中一侧边缘的基板承载机构进行固定和移位。由于下压件40设置在承载件20的上方，为了能够对整个基板承载机构进行同时移动，避免分别移动承载件20和下压件40后，还需要重新对承载件20和下压件40之间的相对关系进行调整确定，可以将下压件40以可滑动连接的方式安装在支撑架10上，以使得下压件40在可上下移动的基础上，能够与支撑架10之间连接共同移动。

第三，承载件20至少包括位于前端的承载面201，本发明实施例中对于承载件20上的其他结构不做限定，而且对于承载件20的形状也不做具体限定，举例来说，如图2所示，承载件20可以为块状，多个块状的承载件20的后端在支撑架10上均布排列固定，多个块状的承载件20的承载面201共同承载待蒸镀基板30的一侧边缘。或者，又例如，如图3所示，承载件20可以为长条状，长条状的承载件20后端固定连接在支撑架10上，承载件20的承载面201承载待蒸镀基板30的一侧边缘。

第四，下压件40的下压状态指的是，下压件40受到下压的力并向下移动后的状态。本发明实施例中对于下压件40的具体形状也未作限定，为了保证下压件40对待蒸镀基板30边缘的下压作用，下压件40的至少一部分应该位于承载面201的垂直上方，以保证下压件40在下压状态下能够将待蒸镀基板30的边缘压紧在承载面上。与承载件20类似的，下压件40也可以为如图2所示的块状或如图3所示的长条状，且下压件40的形状并不限于图2和图3中所示的与承载件20的形状相对应，也就是说，当承载件20为如图2所示的多个块状时，下压件40也可以为如图3中所示的条状，反之亦然，只要能够保证下压件40在下压状态下能够向待蒸镀基板30施加向下的力并将待蒸镀基板30压紧在承载面201上即可。

此外，由于下压件40在下压状态下需要与承载面201共同将待蒸镀基板30的边缘夹紧，为了增大接触面以减小局部压强过大导致待蒸镀基板30破损，通常下压件40压紧发蒸镀基板30的部分设置为与承载面相对的平面。为了进一步降低待蒸镀基板30破损的风险，同时提高待蒸镀基板30的整条边缘在承载面201上搭载以及在下压件40下压压紧的过程中保持水平面上的高度一致，较为优选的方案是如图3所示的，承载件20与下压件40均设置为条状，即条状的下压件40将待蒸镀基板30的整条边缘压紧在条状的承载面201上，以下的实施例说明中均以此较为优选的形状结构进行说明。

本发明实施例提供一种基板承载机构，包括支撑架10，承载件20，承载件20包括位于承载件20前端的承载面201，用于搭载待蒸镀基板30的边缘，承载件20的后端与支撑架10固定连接。下压件40，下压件40的至少一部分设置于承载件20的承载面201之上，下压件40在下压状态下可将待蒸镀基板30的边缘压紧在承载件20的承载面201上。将承载件20的后端连接固定在支撑架10上，在承载件20之上设置下压件40，下压件40的至少一部分位于承载面20之上，下压件40在下压状态下能够将待蒸镀基板30的边缘压紧在承载件20的承载面201上，以降低待蒸镀基板30的边缘由承载件20的承载面201上脱落的风险。

进一步的，如图4所示，下压件40的后端与承载件20的后端之间固定连接，下压件40由弹性材料制成，下压件40的前端在自由状态下与承载件20的前端之间留有用于置入待蒸镀基板30边缘的间隙W。

下压件40是由弹性材料制成，下压件40受力后能够发生一定程度的弹性形变，并且在撤销受力后回弹至自由状态，如图4所示，下压件40在自由状态下后端与承载件20的后端固定连接且前端承载面201之间留有间隙W，间隙W的高度大于待蒸镀基板30的厚度，待蒸镀基板30由下压件40前端与承载件20前端的间隙W水平放入，待蒸镀基板30的两相对侧的边缘分别置于相对设置的基板承载机构的承载面201上。在将待蒸镀基板30置入间隙W内之后，在下压件40的上方对下压件40的前端施加向下的压力，下压件40的前端受力向下移动，以压紧待蒸镀基板30的边缘，如图5所示，从而能够有效降低待蒸镀基板30由于中心部分的重力作用而发生下垂形变的程度，从而降低下垂形变过大时可能导致待蒸镀基板30的边缘由承载面201上脱落的风险。

这样一来，由于下压件40的后端固定连接在承载件20的后端不可移动，下压件40的前端在受到下压作用力时，能够沿竖直方向向下移动，从而降低了下压件40与承载件20之间不固定连接时，向下移动的过程中产生横向位移的可能性，提高了下压件40在下压时运动轨迹的稳定性。

进一步的，承载件20与支撑架10为一体结构。这样能够进一步提高承载件20后端与支撑架10之间的连接稳定性。

优选的，如图3所示，承载件20设置有一个，承载件20的承载面201沿支撑架10的长度方向延伸为条状；和/或，下压件40设置有一个，下压件40沿支撑架10的长度方向延伸为条状。

在上述对本发明实施例的具体说明中，已经说明了支撑架10应该理解为条状结构，在此基础上，较为优选的，承载件20仅设置一个，承载件20的承载面201也设置为条状(进一步优选的，承载件20整体均为条状)，并且条状承载面201的长度方向与支撑架201的长度方向相同。同样的，下压件40也仅设置有一个，下压件40设置为条状，并且条状下压件40长度方向与支撑架201的长度方向相同。

这样一来，一方面，由于支撑架10、承载件20和下压件40均为条状且支撑架10与承载件20之间、承载件20与下压件40之间均沿长度方向固定连接，相互之间的固定稳定性好；另一方面，承载面201和下压件40与待蒸镀基板30之间均为面接触，进一步提高了待蒸镀基板30夹紧在承载面201和下压件40之间的边缘整体受力均匀性。

进一步的，如图6所示，在承载件20的承载面201上设置有防滑结构50；和/或，在下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面设置有防滑结构50。

需要说明的是，在本发明实施例中所述的防滑结构50，可以是在承载面201和/或下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面上涂覆的防滑材料层，也可以是在承载面201和/或下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面上加工的一层能够起到增加摩擦力的结构层，例如，凹凸结构层。

通过在承载件20的承载面201和/或下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面上设置防滑结构50，能够提高待蒸镀基板30在被压紧的状态下与承载件20的承载面201和/或下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面之间的摩擦阻力，从而进一步降低待蒸镀基板30边缘由于待蒸镀基板30自身的重力下垂而由承载件20的承载面201和下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面之间花落的风险。

进一步的，如图7所示，基板承载机构还包括驱动装置60，驱动装置60驱动下压件40向承载件20的承载面201移动。

通过驱动装置60驱动下压件40的移动，能够提高下压件40移动方向的准确性和移动速度的稳定性，降低由于下压件40向下移动速度过快而可能对待蒸镀基板30边缘造成的碰伤或压伤。

优选的，驱动装置60沿支撑架10的长度方向设置有多个。

例如，如图8所示，驱动装置60沿支撑架10的长度方向设置有4个。这样一来，4个驱动装置60同时驱动下压件40的移动，能够进一步提高下压件40上各处的受力均一性，以使得下压件40在向下移动至与待蒸镀基板30的上表面接触时为面接触，从而降低下压件40在待蒸镀基板30上的局部压力过大而导致对待蒸镀基板30造成压伤的风险。

需要说明的是，本发明实施例中对于驱动装置60的具体选取不做限制，例如使用气缸、液压油缸、直线电机等均可，只要能够实现对下压件40在直线方向上匀速驱动即可。

进一步的，如图9所示，基板承载机构还包括拉伸部件70，拉伸部件70连接设置在支撑架10的后端，用于拉动支撑架10向后移动。

如图9所示，在下压件40的后端与承载件20的后端固定连接的情况下，在支撑架10的后端连接设置拉伸部件70。其中优选的，拉伸部件70可以与驱动装置60选用相同的器件，例如气缸、液压油缸、直线电机等。

这样一来，在下压件40的前端下压以将待蒸镀基板30压紧在承载面201上之后，驱动拉伸部件70工作，将支撑架10向后拉动，支撑架10会带动承载件20以及与承载件20固定连接的下压件40共同向后移动，此时，夹紧在承载面201和下压件40与待蒸镀基板30边缘相接触的表面之间的待蒸镀基板30也随之受到向后的拉力(如图9中箭头所示)，在拉力的作用下，待蒸镀基板30中心的重力下垂作用力被抵消掉一部分，从而减小了下垂形变的程度。

优选的，拉伸部件70沿所述支撑架10的长度方向设置有多个。

如图10所示，拉伸部件70沿所述支撑架10的长度方向设置有3个。这样一来，3个拉伸部件70同时驱动支撑架10的移动，能够进一步提高支撑架10上各处的受力均一性，以使得支撑架10在向后移动的过程中，沿支撑架10的长度方向上的移动速度和移动距离相同，进而使得待蒸镀基板30的边缘上各处的受力以及受力后的移动距离相同，提高待蒸镀基板30的移动精确度。

本发明实施例的另一方面，提供一种基板承载机构的使用方法，如图11所示，包括，

S101、将待蒸镀基板30放置在承载件20上，其中，待蒸镀基板30的边缘搭载在承载件20的承载面201上。

S102、向下移动下压件40将待蒸镀基板30的边缘压紧。

这样一来，首先，将待蒸镀基板30放置在承载件20上，以使得待蒸镀基板30的边缘搭载在承载件20的承载面201上，对待蒸镀基板30的一侧进行支撑。然后，向下移动下压件40以使得下压件40对待蒸镀基板30的边缘施加向下的压力并进一步将待蒸镀基板30的边缘在承载面201与下压件40之间压紧。

如图9所示，当在待蒸镀基板30相对的两个侧边均设置基板承载机构时，待蒸镀基板30相对的两侧边缘分别放置在相对设置的基板承载机构的承载面201上，以使得整个待蒸镀基板30通过两侧边的支撑而放置于蒸镀腔室内。此时，由于待蒸镀基板30需要在蒸镀腔室内对其下表面进行蒸镀，因此，基板承载机构对待蒸镀基板30的支撑仅能够施加在待蒸镀基板30相对的两边缘位置(即蒸镀区域以外的部分)，中间的蒸镀区域部分的待蒸镀基板30由于重力的原因会产生下垂变形，下垂变形会带动待蒸镀基板30边缘在承载面201上的向前移动。由于下压件40下压后能够将待蒸镀基板30的边缘在承载面201与下压件40之间压紧，这样一来，待蒸镀基板30由于重力作用下垂的力无法拉动待蒸镀基板30的边缘在承载面201上的向前移动，从而也就能够有效的减轻待蒸镀基板30由于重力作用而在中间的蒸镀区域部分产生的下垂变形程度。

进一步的，当下压件40由弹性材料制成，且下压件40的后端与承载件20的后端固定连接时，如图12所示，向下移动下压件40将待蒸镀基板30的边缘压紧包括，向下移动下压件40的前端将待蒸镀基板30的边缘压紧；如图13所示，向下移动下压件40将待蒸镀基板30的边缘压紧之后，使用方法还包括，向后移动拉伸部件70以拉动支撑架10向后移动。

由于下压件40由弹性材料制成，且下压件40的后端与承载件20的后端固定连接，因此，在此结构中，向下移动下压件40将待蒸镀基板30的边缘压紧即为向下移动下压件40的前端将待蒸镀基板30的边缘压紧。

这样一来，如图9所示，在将待蒸镀基板30的边缘在承载面201与下压件40之间压紧之后，向后移动拉伸部件70以拉动支撑架10向后移动，能够对待蒸镀基板30施加向后的拉力，以使得待蒸镀基板30的下垂变形量得到一定的恢复。

在上述对于基板承载机构的结构和工作方式的描述中，已经对基板承载机构对于待蒸镀基板30的承载、压紧和拉伸方法进行了详细的说明，此处不再赘述。

本发明实施例的再一方面，提供一种蒸镀装置，如图14所示，包括蒸镀腔室02，还包括上述任一项的基板承载机构01，基板承载机构01设置有至少一组，其中，每一组设置有两个，且以相对的方向固定连接在蒸镀腔室02内(其中，基板承载机构01的固定连接方式在图14中未示出，蒸镀腔室02内设置的其他蒸镀部件，例如蒸镀源等均为示出)。

可选的，还可以在蒸镀腔室02中同一水平方向上设置相互垂直的两组基板承载机构01，以对待蒸镀基板30个相互垂直的两个方向均进行拉伸以减小下垂形变量。两组基板承载机构01的设置方式在以上实施例中已经进行了详细的说明，此处不再赘述。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。