一种双技术协同制备轴瓦减摩镀层的方法与流程

文档序号:12056979阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种双技术协同制备轴瓦减摩镀层的方法,涉及滑动轴承技术领域。该方法包括:将轴瓦基体安装到磁控溅射设备内,并在轴瓦基体和靶材之间建立水平正交电磁场;将磁控溅射设备内部进行抽真空;转动轴瓦基体进行辉光清洗;辉光清洗后进行弧光清洗,弧光清洗时采用镍靶;对轴瓦基体的内圆面使用电弧离子镀制备镍栅层;对轴瓦基体同时使用电弧离子镀和磁控溅射离子镀进行处理,在形成的镍栅层上复合镀膜,形成轴瓦减摩镀层,其中,采用的靶材为铝铜合金靶、锡靶和碳靶。本发明利用电弧离子镀和磁控溅射离子镀技术协同制备轴瓦减摩镀层,实现了大厚度轴瓦镀层的高速沉积。

技术研发人员:郭巧琴;李建平;郭永春;杨忠;高培虎;夏峰
受保护的技术使用者:西安工业大学
文档号码:201710044987
技术研发日:2017.01.20
技术公布日:2017.05.24

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