技术特征：
技术总结
本发明涉及一种基于孕镶金刚石原位沉积生长金刚石涂层的工艺方法，包括以下步骤：(1)酸洗：取孕镶金刚石基体置于酸溶液中，酸洗，腐蚀除去表面的Co；(2)超声清洗：取酸洗后的孕镶金刚石基体，置于金刚石微粉的悬浮液中，超声处理；(3)氢等离子体刻蚀：再将酸洗和超声清洗后孕镶金刚石基体放入化学气相沉积设备中，通入氢气，进行等离子体刻蚀；(4)原位沉积生长金刚石涂层：刻蚀完成后，通入CH4气体，原位沉积，冷却，即完成。与现有技术相比，本发明利用化学气相法在孕镶金刚石表面沉积金刚石涂层，同时，通过特殊预处理工艺得到的自然过渡层提高了金刚石涂层与孕镶金刚石基体之间的结合力，提高了孕镶金刚石的耐磨性和使用寿命。
技术研发人员：简小刚;黄卓;甘熠华
受保护的技术使用者：同济大学
技术研发日：2017.03.02
技术公布日：2017.07.07