技术特征：
技术总结
一种方法，该方法包括将载气的第一物流传输到包括液体前体化合物的输送装置。所述方法还包括将载气的第二物流传输到输送装置下游的位置。所述第一物流从所述输送装置排出之后和第二物流合并，形成第三物流，这样所述第三物流中液体前体化合物的蒸气露点低于将所述蒸气传输至一个或多个CVD反应器的导管装置的温度。所述第一物流的流动方向,第二物流的流动方向以及第三物流的流动方向是单向的，不是彼此反向的。
技术研发人员：E·沃尔克;R·L·小迪卡洛
受保护的技术使用者：塞莱斯技术公司
技术研发日：2013.07.17
技术公布日：2017.10.17