技术特征:
技术总结
本发明提供一种押元结构,用于夹持基板,所述基板包括相对设置的上表面和下表面以及连接在所述上表面和所述下表面之间的侧面,所述押元结构包括多个夹持部,多个所述夹持部用于环绕被夹持的基板设置并与该被夹持的基板的侧面相对,所述押元结构还包括第一驱动模块,该第一驱动模块用于驱动每个所述夹持部朝向或远离所述被夹持的基板移动。相应地,本发明还提供一种基板承载装置。本发明能够提高基板上成膜的均一性。
技术研发人员:井杨坤;程亮;姜岸;刘军;郭红光;李兰;薛红伟
受保护的技术使用者:京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
技术研发日:2017.07.06
技术公布日:2017.11.07