蒸镀坩埚及蒸镀装置的制作方法

文档序号:11768035阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种蒸镀坩埚,包括坩埚本体及坩埚盖。所述坩埚盖具有喷嘴,所述喷嘴凸设于所述坩埚盖上,且设于背离所述坩埚本体的一侧,用于喷出所述坩埚本体中的有机材料。所述喷嘴具有顶壁和内壁,所述顶壁朝向于背离所述坩埚本体的一侧,所述内壁连接于所述顶壁与所述坩埚盖之间,以形成所述有机材料的输运通道。所述蒸镀坩埚还包括设于所述喷嘴外围的加热器,所述加热器用于产生热量,所述热量传导至所述内壁,所述内壁具有至少一个相对于所述喷嘴的轴向倾斜的第一表面,以增加所述内壁的热辐射量,以使所述内壁升温或保持温度,防止所述有机材料粘附于所述内壁。本发明还提供了一种蒸镀装置。本发明用于防止坩埚盖上的喷嘴堵口。

技术研发人员:任晓光
受保护的技术使用者:武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2017.07.24
技术公布日:2017.10.20
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