一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统的制作方法

文档序号:11611713阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种陶瓷旋转靶材邦定的金属密封系统,其特征在于:

包括金属背管和套置在金属背管外部的第一陶瓷旋转靶材,其中,金属背管和第一陶瓷旋转靶材在底部由一堵头密封形成空腔;

金属背管的管内设置有内加热器,并且,第一陶瓷旋转靶材的外部设置有外加热器;

金属背管和第一陶瓷旋转靶材之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。

2.根据权利要求1所述的金属密封系统,其特征在于:还包括套置在金属背管外部的至少一第二陶瓷旋转靶材,第二陶瓷旋转靶材叠加在第一陶瓷旋转靶材的上部,并且,第二陶瓷旋转靶材与第一陶瓷旋转靶材之间放置有一密封垫片,第二陶瓷旋转靶材与金属背管之间的空腔内浇铸有低熔点金属绑定层。

3.根据权利要求2所述的金属密封系统,其特征在于:密封垫片设置为两半式金属垫片。

4.根据权利要求3所述的金属密封系统,其特征在于:密封垫片设置的两半式金属垫片之间通过相互紧密适配的凹凸部连接形成。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1