一种大角度偏振膜的蒸镀设备的制作方法

本实用新型涉及液晶投影零件领域，特别是一种大角度偏振膜的蒸镀设备。

背景技术：

这些年来，起偏器和偏振器在光学仪器上有着广泛的应用，特别是宽角度的可见光波段的偏振分光镜在光电类设备仪器中有着广泛应用，其中在液晶投影器中的应用最为火热，也是液晶投影器中一个至关重要的光学件。因为液晶的电光效应是建立在偏振光的调制作用上的，入射到液晶板上的光线需要高偏振度的光，偏振光的偏振度如何直接决定了输出图像的对比度好坏。虽然说偏振分光可以通过晶体的双折射实现，但是晶体的价格昂贵，一般企业难以接受，而且晶体很难以做到大尺寸，由于两种偏振光束不成直角关系，也不方便客户使用。

技术实现要素：

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种可以生产出在液晶投影器中替代晶体的产品的大角度偏振膜的蒸镀设备。

一种大角度偏振膜的蒸镀设备，包括蒸镀腔体，蒸镀腔体内下方设有转盘机构，转盘机构上设有工件夹持机构；所述蒸镀腔体的上方设有RF离子源装置，蒸镀腔体内的两侧各设有一个电子蒸镀枪装置；所述蒸镀腔体外设有真空系统和冷却系统，蒸镀腔体分别与真空系统和冷却系统连接；所述蒸镀腔体内还设有加热装置。

进一步的，所述转盘机构包括支撑轴，支撑轴上设有旋转底座，旋转底座上设有导轨；所述工件夹持机构包括滑槽，滑槽上设有工件底盘，工件底盘中央设有工件夹持槽，工件夹持槽内设有多个弹性压片；所述滑槽安装在导轨上，可沿导轨前后滑动。

进一步的，所述冷却系统包括水箱、制冷机，水箱与制冷机连通；所述水箱还设有出水管和回流管，出水管与蒸镀腔体的进水口连接，回流管与蒸镀腔体的出水口连接。

进一步的，所述真空系统包括机械泵，罗茨泵，扩散泵以及低温水气泵。

进一步的，所述弹性压片包括弹簧和弧形压片，所述弧形压片外侧设有一层工件保护层。

进一步的，所述电子蒸镀枪装置为日本JEOL的E形的电子枪。

本实用新型提供的一种大角度偏振膜的蒸镀设备可以生产出大角度的多层膜偏振棱镜，从而可以代替成本昂贵的晶体，降低液晶投影器的成本。不仅如此，本实用新型提供的一种大角度偏振膜的蒸镀设备还具有制冷高效节能，工件夹持方便、牢固，抽真空效果好的优点。

附图说明

图1为本实用新型一种大角度偏振膜的蒸镀设备的结构示意图；

图2为本实用新型一种大角度偏振膜的蒸镀设备的部分结构示意图；

图3为本实用新型一种大角度偏振膜的蒸镀设备的夹持机构的部分结构示意图。

具体实施方式

为了更好的对本实用新型进行阐述，下面将结合附图作详细说明。

如图1-3所示，一种大角度偏振膜的蒸镀设备，包括蒸镀腔体1，蒸镀腔体1内下方设有转盘机构，转盘机构可以转动。转盘机构上设有工件夹持机构，夹持机构用于固定代加工的工件。所述蒸镀腔体1 的上方设有RF离子源装置4，RF离子源装置4用于对待加工的工件进行轰击刻蚀。蒸镀腔体1内的两侧各设有一个电子蒸镀枪装置5，具体的电子蒸镀枪装置5为日本JEOL的E形的电子枪。电子蒸镀枪装置5对待加工工件进行交替蒸镀形成大角度的多层膜偏振棱镜。所述蒸镀腔体1外设有真空系统和冷却系统，蒸镀腔体1分别与真空系统和冷却系统连接。真空系统用于对蒸镀腔体1内的抽真空。冷气系统用于蒸镀腔体1的冷却作用。所述蒸镀腔体1内还设有加热装置6，加热装置6用于蒸镀腔体1的加热。

具体的，转盘机构包括支撑轴20，支撑轴20上设有旋转底座21，旋转底座21上设有导轨22。所述工件夹持机构包括滑槽30，滑槽 30上设有工件底盘31，工件底盘31中央设有工件夹持槽32，工件夹持槽32内设有多个弹性压片。所述滑槽30安装在导轨22上，可沿导轨22前后滑动。这种结构便于工件的取出和放入，具体的用户在蒸镀前，将工件底盘31拉出，然后将工件放入工件夹持槽32内，再将工件底盘移入蒸镀腔体1内，非常的方便快捷。具体的，弹性压片包括弹簧34和弧形压片33，所述弧形压片33外侧设有一层工件保护层。这种结构有利于工件的牢固，也有利于保护工件在取出或者放入过程中不被损坏。

具体的，冷却系统包括水箱80、制冷机81，水箱80与制冷机 81连通；所述水箱80还设有出水管82和回流管83，出水管82与蒸镀腔体1的进水口连接，回流管83与蒸镀腔体1的出水口连接。这种结构制冷效果好并且高效，并且制冷的水循环使用，节能又环保。真空系统包括机械泵70，罗茨泵71，扩散泵72以及低温水气泵73。工作时，先用机械泵和罗茨泵进行粗抽真空，然后再用扩散泵72和低温水气泵73抽高真空，这种工作方式，高效可靠，为生产出高质量的产品提供保障。

上述具体实施方式不能认为是对本实用新型的进一步限定，本领域技术人员根据本实用新型内容作出的非实质性改变均应落入本实用新型保护范围内。