一种掩膜板的制作方法

本实用新型涉及OLED真空蒸镀技术领域，具体涉及一种掩膜板。

背景技术：

在OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的制造过程中，有机材料蒸镀工艺是指利用FMM(Fine Metal Mask,高精度金属掩膜板)将有机发光材料蒸镀在背板的特定像素内，使该有机发光材料与该像素的驱动电路相结合，以形成特定发光器件的工艺。结合图1和图2所示，现有FMM包括边框1、遮挡部2、支撑部3和多个相互拼接的子掩膜板4，遮挡部2、支撑部3和子掩膜板4焊接在边框1上，遮挡部2与子掩膜板4同向设置，且位于各相邻子掩膜板4的接缝位置，能够避免有机材料从子掩膜板4之间的间隙穿过导致背板污染，支撑部3与遮挡部2交叉设置，且位于子掩膜板4的下方，用于支撑子掩膜板4，以减少子掩膜板4在自身重力作用下产生的下垂量。

由于遮挡部2和支撑部3均位于子掩膜板4的下方，因此，遮挡部2和支撑部3的厚度会影响子掩膜板4所在平面的平坦度，使子掩膜板4容易形变，从而导致在蒸镀工艺中产生混色不良。为提高子掩膜板4所在平面的平坦度，现有的FMM通过在边框1上与遮挡部2和支撑部3对应的位置设置凹槽5，使遮挡部2和支撑部3焊接在凹槽5内，以减小支撑部3和遮挡部2的厚度对子掩膜板4的影响。

但是，具有凹槽5的FMM存在一些不足之处：

针对不同尺寸的显示面板，子掩膜板4上的镂空部的大小和排布不同，相应边框1上的遮挡部2和支撑部3的位置也不同。然而，一旦在边框1上设置凹槽5，凹槽5的位置就已固定，相应遮挡部2和支撑部3的位置固定，因此，边框1只能适用于一种尺寸的显示面板，适用范围小，在制造不同尺寸的显示面板时，需要采购多个相对应的边框1，从而导致生产成本较高。

技术实现要素：

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种掩膜板，用以至少部分解决现有掩膜板适用范围较小的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供一种掩膜板，包括边框、遮挡部、支撑部和多个拼接设置的子掩膜板，所述边框上设置有口字型开口，所述边框包括至少两个承载部，各所述承载部的高度不同，且邻近所述开口的承载部的高度小于远离所述开口的承载部的高度；

所述遮挡部、所述支撑部和所述子掩膜板固定在所述承载部上，且所述子掩膜板所固定的承载部与所述遮挡部和所述支撑部所固定的承载部不同。

优选的，所述边框包括第一承载部和第二承载部，所述第一承载部的高度大于所述第二承载部的高度；所述子掩膜板固定在所述第一承载部上，所述遮挡部和所述支撑部固定在所述第二承载部上。

优选的，所述边框包括第一承载部、第二承载部和第三承载部，所述第一承载部的高度大于所述第二承载部的高度，所述第二承载部的高度大于所述第三承载部的高度；

所述子掩膜板固定在所述第一承载部上，且所述遮挡部和所述支撑部分别固定在所述第二承载部和所述第三承载部上；或者，

所述子掩膜板固定在所述第二承载部上，且所述遮挡部固定在所述第一承载部上，且所述支撑部固定在所述第三承载部上。

优选的，所述各承载部一体成型。

优选的，所述各承载部相互分离，且可拆卸连接。

优选的，所述掩膜板还包括用于水平承载各所述承载部的垫块，所述垫块设置在所述边框下方。

优选的，所述掩膜板还包括调节部，所述调节部设置在固定有所述遮挡部和/或支撑部的承载部上，用于调节所在承载部的高度。

优选的，固定有所述子掩膜板的承载部的宽度大于固定有所述遮挡部的承载部的宽度，且大于固定有所述支撑部的承载部的宽度。

优选的，所述各承载部上设置有第一对位部。

优选的，所述遮挡部和/或所述支撑部上设置有第二对位部。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供一种掩膜板，包括边框、遮挡部、支撑部和多个拼接设置的子掩膜板，边框包括至少两个承载部，且设置有口字型开口，遮挡部和支撑部可以根据待蒸镀显示面板的大小和排布固定在承载部的不同位置，即边框不会对遮挡部和支撑部的位置进行限定，从而边框可以适用于不同尺寸的显示面板，相应提高边框的适用范围，进而降低生产成本。而且，子掩膜板所固定的承载部与遮挡部和支撑部所固定的承载部不同，且邻近开口的阶梯部的高度小于远离开口的阶梯部的高度，从而可以减小遮挡部和支撑部的厚度对子掩膜板平坦度的影响，相应避免子掩膜板形变导致的混色不良，进而提高生产良率。

附图说明

图1为现有的掩膜板的俯视图；

图2为现有的掩膜板的截面图；

图3为本实施例1提供的掩膜板的俯视图；

图4为本实施例1提供的掩膜板的截面图；

图5为本实施例2提供的掩膜板的俯视图；

图6为本实施例2提供的掩膜板的截面图。

图例说明：

1、边框 11、第一承载部 12、第二承载部 13、第三承载部

2、遮挡部 3、支撑部 4、子掩膜板 5、凹槽 6、开口

7、垫块 8、第一对位部 9、第二对位部

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型提供的一种掩膜板进行详细描述。

实施例1

本实用新型实施例1提供一种掩膜板，结合图3和图4所示，所述掩膜板包括边框1、遮挡部2、支撑部3和多个拼接设置的子掩膜板4，边框1包括至少两个呈口字型的承载部，各承载部拼接设置形成开口6。各承载部的高度不同，邻近开口6的承载部的高度小于远离开口6的承载部的高度。遮挡部2、支撑部3和子掩膜板4固定在承载部上，子掩膜板4所固定的承载部与遮挡部2和支撑部3所固定的承载部不同。

具体的，在从远离开口6至邻近开口6的方向上，各承载部呈阶梯状，各承载部的高度逐渐降低。遮挡部2、支撑部3和子掩膜板4焊接在承载部的表面，且子掩膜板4所焊接的表面与遮挡部2和支撑部3所焊接的表面不同。

本实施例1提供的掩膜板，边框1由至少两个呈口字型的承载部拼接而成，遮挡部2和支撑部3可以根据待蒸镀显示面板的大小和排布固定在承载部的不同位置，即边框1不会对遮挡部2和支撑部3的位置进行限定，从而边框1可以适用于不同尺寸的显示面板，相应扩大边框1的适用范围，进而降低生产成本。而且，子掩膜板4所固定的承载部与遮挡部2和支撑部3所固定的承载部不同，且各承载部的高度不同，邻近开口6的承载部的高度小于远离开口6的承载部的高度，即子掩膜板4所固定的平面与遮挡部2和支撑部3所固定的平面不同，从而可以减小遮挡部2和支撑部3的厚度对子掩膜板4平坦度的影响，相应避免子掩膜板4形变导致的混色不良，进而提高生产良率。

以下结合图3和图4对本实施例的具体结构进行详细说明。

结合图3和图4所示，边框1包括第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13，第一承载部11的高度大于第二承载部12的高度，且第二承载部12的高度大于第三承载部13的高度。子掩膜板4固定在第一承载部11上，支撑部3固定在第二承载部12上，遮挡部2固定在第三承载部13上。

具体的，在第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13中，第一承载部11最远离开口6，第三承载部13最邻近开口6。如图3所示，子掩膜板4的A、B两端焊接在第一承载部11的表面，支撑部3的C、D两端焊接在第二承载部12的表面，遮挡部2的E、F两端焊接在第三承载部13的表面。

需要说明的是，子掩膜板4固定在第一承载部11上，且遮挡部2固定在第二承载部12上，且支撑部3固定在第三承载部13上也是可行的。但是，该掩膜板结构与图3和图4所示的掩膜板结构相比，子掩膜板4的下表面部分与支撑部3的上表面接触，而图3和图4所示的子掩膜板4的下表面完全与支撑部3的上表面接触，因此，图3和图4所示的掩膜板中支撑部3对子掩膜板4的支撑效果更佳，能够更佳的减小子掩膜板4在自身重力作用下产生的下垂量。

还需要说明的是，遮挡部2固定在第一承载部11上，子掩膜板4固定在第二承载部12上，支撑部3固定在第三承载部13上也是可行的。但是，该掩膜板结构与图3和图4所示的掩膜板结构相比，遮挡部2位于子掩膜板4的上方，而图3和图4所示的掩膜板中遮挡部2位于子掩膜板4的下方，在利用磁力吸引子掩膜板4以减小子掩膜板4的下垂量的过程中，图3和图4所示的掩膜板中遮挡部2不会阻挡磁力对子掩膜板4的吸引力，从而更佳的减小子掩膜板4的下垂量。

优选的，固定有子掩膜板4的承载部的宽度大于固定有遮挡部2的承载部的宽度，且大于固定有支撑部3的承载部的宽度。也就是说，第一承载部11的宽度d1大于第二承载部12的宽度d2，且大于第三承载部13的宽度d3，这样，可以保证子掩膜板4与第一承载部11的焊接面积较大，使子掩膜板4的固定效果较好，从而更佳的减小子掩膜板4在自身重力作用下产生的下垂量。

现有常常需要对遮挡部2和/或支撑部3进行维修和更换，当对遮挡部2和/或支撑部3进行维修和更换时，需要先将子掩膜板4从边框1上拆卸下来，这样，不但提高掩膜板维修和更换的难度，而且，在将子掩膜板4重新固定在边框1上的过程中，子掩膜板4较易发生形变，从而提高维修和更换掩膜板的风险。为了降低掩膜板维修和更换的难度和风险，结合图3和图4所示，各承载部相互分离，且可拆卸连接，具体的，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13相互分离，且可拆卸连接，这样当需要对遮挡部2和/或支撑部3进行维修和更换时，可以先将遮挡部2和第三承载部13与掩膜板分离，和/或，将支撑部3和第二承载部12与掩膜板分离，再对遮挡部2和/或支撑部3进行单独维修和更换，不需要将子掩膜板4从第一承载部11上拆卸下来，从而降低掩膜板维修和更换的难度和风险。

需要说明的是，第一承载部11可以与第二承载部12可拆卸连接，且第二承载部12可以与第三承载部13可拆卸连接。具体的，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13之间可以通过粘合剂连接，也可以通过真空或磁力吸附连接，还可以通过螺栓连接。

还需要说明的是，各承载部也可以一体成型，即第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13也可以一体成型，该边框1的结构和制造工艺简单。

为了提高边框1的稳定性，如图4所示，进一步的，所述掩膜板还可以包括垫块7，垫块7设置在边框1下方，用于水平承载各承载部。具体的，垫块7设置在第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13的下方，用于水平承载第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13。

需要说明的是，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13可以分别与垫块7可拆卸连接，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13可以与垫块7通过粘合剂连接，也可以通过真空或磁力吸附连接，还可以通过螺栓连接。

进一步的，所述掩膜板还可以包括调节部，调节部设置在固定有遮挡部2和/或支撑部3的承载部上，用于调节所在承载部的高度。具体的，调节部设置在第二承载部12和/或第三承载部13上，用于调节第二承载部12和/或第三承载部13的高度，从而调节遮挡部2和/或支撑部3所在平面的高度。

需要说明的是，在实用新型实施例中未对第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13的高度进行限定，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13的高度需要根据子掩膜板4的下垂量，以及遮挡部2和支撑部3的厚度进行设定，以调节遮挡部2和支撑部3与子掩膜板4的贴合程度。

当第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13与垫块7通过螺栓连接时，优选的，调节部为垫片，垫片设置在垫块7与第二支撑部12之间，和/或，垫块7与第三支撑部13之间，这样便于调节第二承载部12和/或第三承载部13的高度，从而调节遮挡部2和/或支撑部3的高度。

如图3所示，各承载部上可以设置有第一对位部8。具体的，第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13上均设置有第一对位部8，在掩膜板的组装过程中，组装设备(图中未绘示)可以分别通过第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13上的第一对位部8，确定第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13的位置，以对第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13的位置进行校正。

第一承载部11、第二承载部12和第三承载部13上的第一对位部8可以为一个，也可以为多个，本实用新型实施例是以各承载部的第一对位部8为两个为例进行说明的。优选的，第一对位部8为圆形孔，这样，在掩膜板的组装过程中，便于组装设备获取第一对位部8的中心，以确定承载部的位置。进一步优选的，第一对位部8的直径为0.6-1.2mm。

如图3所示，遮挡部2和支撑部3上也可以设置有第二对位部9。具体的，在掩膜板的组装过程中，组装设备可以分别通过遮挡部2和支撑部3上的第二对位部9，确定遮挡部2和支撑部3的位置，以对遮挡部2和支撑部3的位置进行校正。

优选的，各遮挡部2和各撑部3上均置有第二对位部9，这样，在掩膜板的组装过程中，组装设备能够校正各遮挡部2和各撑部3的位置。

遮挡部2和撑部3上的第二对位部9可以为一个，也可以为多个，本实用新型实施例是以遮挡部2和撑部3上的第二对位部9为两个为例进行说明的，两个第二对位部9位于遮挡部2和撑部3的两端。优选的，第二对位部9为圆形孔，这样，在掩膜板的组装过程中，便于组装设备获取第二对位部9的中心，以便于确定遮挡部2和撑部3的位置。进一步优选的，圆形孔的直径为0.2-0.5mm。

需要说明的是，垫块7上可以设置有第三对位部，在掩膜板的组装过程中，组装设备可以通过第三对位部确定垫块7位置，以对垫块7的位置进行校正，避免垫块7遮挡边框1的开口6。

以下结合图3和4对掩膜板的组装过程进行详细说明，首先将垫块7装载在组装设备上，并通过其上的第三对位部校正垫块7的位置；然后将第三承载部13装载在垫块7上，并在通过其上的第一对位部8校正第三承载部13的位置后，将第三承载部13固定在垫块7上；再将遮挡部2装载在第三承载部13上，并在通过其上的第二对位部9校正遮挡部2的位置后，将遮挡部2焊接在第三承载部13上；然后将第二承载部12装载在垫块7上，并在通过其上的第一对位部8校正第二承载部12的位置后，将第二承载部12固定在垫块7上；再将支撑部3装载在第二梯部12上，并在通过其上的第二对位部9校正支撑部3的位置后，将支撑部3焊接在第二承载部12上；然后将第一承载部11装载在垫块7上，并在通过其上的第一对位部8校正第一承载部11的位置后，将第一承载部11固定在垫块7上；最后将子掩膜板4装载在第一梯部11上，并在通过其上的镂空图形校正子掩膜板4的位置后，将子掩膜板4焊接在第一承载部11上。

实施例2

实施例2为本实用新型提供的另一种实现方式，实施例2提供的掩膜板与实施例1提供的掩膜板的区别在于：边框1仅包括第一承载部11和第二承载部12。其他部件与连接关系均相同，在此不再赘述。

结合图5和图6所示，边框1可以包括第一承载部11和第二承载部12，第一承载部11的高度大于第二承载部12的高度，子掩膜板4固定在第一承载部11上，遮挡部2和支撑部3固定在第二承载部12上。具体的，子掩膜板4焊接在第一承载部11的表面，遮挡部2和支撑部3焊接在第二承载部12的表面，且支撑部3相比于遮挡部2邻近子掩膜板4。需要说明的是，遮挡部2相比于支撑部3邻近子掩膜板4也是可行的。

实施例2提供的掩膜板相比于实施例1提供的掩膜板，结构简单，便于组装。但是，实施例1提供的掩膜板可以分别调节支撑部3和遮挡部2所在平面的高度，还可以分别对遮挡部2和支撑部3进行维修，不但可以更精细的调节支撑部3和遮挡部2与子掩膜板4的贴合程度，还可以降低掩膜板维修和更换的难度和风险。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。