掩膜板卡夹以及掩膜板的制作方法

本实用新型涉及显示面板制造领域，并且特别地涉及一种掩膜板卡夹和一种掩膜板。

背景技术：

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示面板制造过程中，通常使用精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，FMM)通过蒸镀方式将OLED材料按照预先设定的程序蒸镀到低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，LTPS)背板上。在蒸镀过程中，利用FMM上的图形，将OLED材料例如红绿蓝有机物蒸镀到背板的规定位置上形成显示装置。

目前，在显示面板的制造过程中，使用掩膜板卡夹(Cassette,CST) 来装载和传送掩膜板，而掩膜板通过机械手来进行搬运。

图1是相关技术的一种掩膜板卡夹的结构示意图，该掩膜板卡夹包括卡夹主体以及设置在卡夹主体内的多个卡槽，在卡槽的四个角上设置有止挡块以用于对于放入卡槽中的掩膜板进行限位。在长期使用机械手对掩膜板进行取放的过程中，机械手的平坦度会发生改变，靠近端部的下垂形态更严重(类似于斜向下形态)，如在图2中示出的，图中虚线表示机械手的平坦度未发生改变的状态，图中实线表示机械手的平坦度发生改变的状态。

当使用图2中所示的下垂的机械手取放掩膜板时，下垂的端部处的掩膜板会与卡夹的卡槽相邻处的挡块摩擦，如图3所示，图中的虚线框中特别地示出了该摩擦。所述摩擦会导致使取放的掩膜板产生很大抖动的异常状态，在该异常状态中，掩膜板和机械手同时产生抖动，该抖动会影响掩膜板的稳定性，进而会影响经过该掩膜板所蒸镀产生的显示面板的合格率。

技术实现要素：

为了克服全部或部分的上述缺陷，本实用新型提出了一种改进的掩膜板卡夹和一种改进的掩膜板框架。

在一方面，本实用新型涉及一种掩膜板卡夹，其包括：卡夹主体；设置在所述卡夹主体内的至少一个用于放置掩膜板的卡槽；设置在卡槽的周边用于对卡槽内所放置的掩膜板的两端进行限位的止挡块，其特征在于，卡槽至少一端的止挡块与掩膜板相对的侧面与所述卡槽上表面形成的夹角是钝角。在使用机械手对掩膜板进行取放过程中，该侧面设置成处于面向机械手的伸出方向，由于止挡块的侧表面与止挡块形成的夹角是钝角，该侧面附近的掩膜板不会与止挡块的侧面接触而发生摩擦，进而避免了掩膜板和机械手的抖动的发生。

根据本实用新型的掩膜板卡夹可以具有如下有利方面：

有利地，止挡块的所述侧面相对于卡槽的上表面形成斜角形状，其中斜角从卡槽的上表面开始延伸；进一步有利地，所述斜角形状延伸到止挡块的顶面或止挡块的中间位置；

有利地，止挡块的所述侧面相对于卡槽的上表面形成圆弧形状，其中圆弧从卡槽的上表面开始延伸；进一步有利地，所述圆弧形状延伸到止挡块的顶面或止挡块的中间位置；

有利地，所有止挡块与掩膜板相对的侧面与所述卡槽上表面形成的夹角是钝角；

在另一方面，本实用新型还涉及一种掩膜板，其包括掩膜板框架，其中，在掩膜板框架的周边设置凹入部，所述凹入部至少设置在与用于放置掩膜板的掩膜板卡夹的止挡块相对的位置处，凹入部延伸到止挡块的顶面并且沿着框架高度的方向深度逐渐增大。通过在掩膜板的框架设置面向止挡块的所述凹入部，在使用机械手对掩膜板取放过程中，避免下垂的机械手所导致的下垂的掩膜板与掩膜板卡夹的止挡部的摩擦，进而避免了掩膜板的由于该摩擦而导致的抖动。

根据本实用新型的掩膜板可以具有如下有利方面：

在掩膜板框架的全部周边都设置所述凹入部；

所述凹入部设置成斜角形状并且沿着框架的高度而逐渐增大。

根据本实用新型的掩膜板卡夹和掩膜板可以在掩膜板的框架和掩膜板卡夹的止挡块之间设置随着高度而增加的间隙，那么在使用机械手来对掩膜板进行取放的过程中，由于机械手的下垂而导致的倾斜的掩膜板框架不会与止挡块的表面发生摩擦，进而使得掩膜板不会因为摩擦而产生抖动，保证了掩膜板的稳定性，从而提高了使用掩膜板进行蒸镀而得到的显示面板的质量。

附图说明

图1示出了掩膜板卡夹的总体结构示意图；

图2示出了下垂状态的机械手的示意图；

图3示出了现有技术的掩膜板卡夹的止挡块的结构以及掩膜板框架与所述止挡块发生摩擦的示意图；

图4示出了承载有掩膜板的根据本实用新型的第一实施例的掩膜板卡夹的结构示意图；

图5示出了当使用机械手取放掩膜板时掩膜板未与图4中的掩膜板卡夹的止挡块发生摩擦的示意图；

图6示出了承载有掩膜板的根据本实用新型的第二实施例的掩膜板卡夹的结构示意图；

图7示出了承载有掩膜板的根据本实用新型的第三实施例的掩膜板卡夹的结构示意图；

图8示出了承载有掩膜板的根据本实用新型的第四实施例的掩膜板卡夹的结构示意图；

图9示出了根据本实用新型的一个实施例的改进的掩膜板的结构示意图；

图10示出了图9中的掩膜板在方框圈出位置处的放大示意图。

具体实施方式

下面参照附图描述根据本实用新型的实施例的掩膜板卡夹以及掩膜板的结构以及其它各个方面。在下面的描述中，阐述了许多具体细节以便使所属技术领域的技术人员能更全面地了解本实用新型。但是，对于所属技术领域内的技术人员显而易见的是，本实用新型的实现可不具有这些具体细节中的一些。此外，应当理解的是，本实用新型并不限于所介绍的特定实施例。相反，可以考虑用下面的特征和要素的任意组合来实施本实用新型，而无论它们是否涉及不同的实施例。因此，下面的方面、特征、实施例和优点仅作说明之用而不应被看作是权利要求的要素或限定，除非在权利要求中明确提出。

可以理解的是，在本文中术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等方向术语基于图示的方位或位置关系，其仅仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置所元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造或者操作，因此不应理解为对本实用新型的限制。

根据本实用新型的掩膜板卡夹与常规掩膜板卡夹的组成大致一致，即，如图1所示，掩膜板卡夹100包括卡夹主体10和在卡夹主体10内用于容纳掩膜板10的卡槽20，所述卡槽20由彼此间隔开的两个支承座1限定，卡夹主体10限定掩膜板卡夹100的总体框架。图1所示的掩膜板卡夹100 包括三个卡槽20，可以同时放置三块掩膜板200。容易想到的是，掩膜板卡夹100可以包括不同于三个卡槽的其它数目的卡槽20。在图1所示的实施例中，支承座1的形状为长条形，掩膜板200通过两侧位于支承座1上而被支承。在卡槽20的周边设置止挡块2。在图示的优选实施例中，在支承座1的端部处设置止挡块2，止挡块2设置成与掩膜板200的端部相对，从而对该掩膜板200的端向位置进行限定。所述止挡块2可以如图1所示地设置在支承座1上或者如图3至8所示地设置成与支承座1相邻，或者止挡块2可以与支承座1设计为一体件。当然可以想到的是，所述止挡块 2也可以在卡槽20的两端采用其它布置，例如相邻布置。机械手沿图中箭头所示的方向伸出，机械手的下垂端部位于沿箭头的远侧的一端(即图中所示的里侧端)。在图1的示图中，为了清楚起见，掩膜板200未放置在掩膜板卡夹100上。

为了防止在使用如图2中所示的机械手对掩膜板200进行取放过程中，沿箭头远侧的支承座1的一端处的止挡块2与掩膜板200的侧面发生摩擦进而使得掩膜板200抖动，在所述止挡块2面向掩膜板200的侧面与卡槽 20的上表面(即，支承座1的上表面)形成钝角21，所述钝角21从支承座1所限定的卡槽20的底面开始延伸并且沿着止挡块2的高度而深度逐渐增大。这样，如图5所示，由于该钝角形成沿着止挡块2的高度逐渐增大的凹进，即使机械手的端部下垂导致掩膜板200在取放过程中发生倾斜，也不会和与其相邻的止挡块2的侧面发生摩擦，进而不会导致机械手和掩膜板200的抖动。

为了形成所述钝角，止挡块2面向掩膜板200的侧面可以设计成如图 4所示相对于卡槽20的上表面形成斜角形状，也可以设计成如图6所示的相对于卡槽20的上表面形成圆弧形状，也可以设计为任何其它合适的形状，只要止挡块2的侧面相对于卡槽20的上表面形成钝角而产生沿着止挡块2的高度逐渐增大的凹入。所述斜角形状和圆弧形状设置成从卡槽的底面开始延伸，而所述斜角或圆弧或其它形状的上端可以如图4所示的设置成延伸到止挡块2的顶面，也可以如图8所示的设置成位于止挡块2的中间位置。如图所示，止挡块2的顶面可以设置成如图4所示的尖角形状，或者止挡块2的顶面也可以设置成如图6至8所示的具有一定的厚度，从而提供了更多的设计可能。从图4到图8示出了根据本实用新型的一些可能的实施例的掩膜板卡夹。

如图4至8所示的，可以仅仅将靠近机械手的端部一侧的止挡块2的侧面设置成与卡槽20的上表面形成钝角(因为机械手在该止挡块2的位置处下垂，掩膜板200与掩膜板卡夹100之间发生摩擦)，而在远离机械手的端部的另一侧的止挡块2上不作如此限定，即在沿图1中箭头所示的远端处的止挡块2的侧面设置成与卡槽的上表面形成钝角，而在沿图1中箭头所示的近端处的止挡块2上不作如此限定。而可以想到的是，为了简化设计，同时为了增强通用性，即使得机械手从各个方向的取放都是可能的，可以将所有的止挡块2的侧面都设置成与卡槽的上表面形成钝角。

为了避免在取放掩膜板200的过程中，下垂端的掩膜板200与掩膜板卡夹100的止挡块2的侧面发生摩擦，根据本实用新型的一方面，还可以提供一种如图9和10所示的改进的掩膜板200。当掩膜板200与卡槽20 的相对定向为图9中的箭头方向与图1中的箭头方向一致，即图9的掩膜板200的左侧端部接近下垂的机械手的端部，并且在使用机械手来对掩膜板200进行取放时，图9的左侧端部容易与止挡块2的侧端面发生摩擦和刮擦。因此掩膜板200的框架也优选地设计为在与止挡块2相对的角部处设置凹入部201，所述凹入部201延伸到掩膜板200的框架的顶面。在一个优选实施例中，所述凹入部优选地设计为如图10所示的斜角形状，并且凹入部随着掩膜板200的框架的高度而逐渐变大。即使掩膜板卡夹100的止挡块2的侧表面不与卡槽20的上表面形成钝角，使用所述改进的掩膜板 200仍然可以避免掩膜板200侧面与掩膜板卡夹100的止挡块2的侧面发生摩擦和刮擦。而可以想到的是所述凹入部201除了如图10所示的采用斜角形状，也可以采用其它形状，例如圆弧形状、方形形状等。

容易想到的是，在一个优选实施例中在掩膜板200的框架的四个角都设置所述凹入部。四个角都具有凹入部的掩膜板200的布置使得该掩膜板 200在掩膜板卡夹100上取放的方向没有限制，即取放时，不必去努力辨别掩膜板200的取放方向。容易想到的是，为了便于加工，在另一优选实施例中仅仅在沿图1中箭头所示的取放方向的掩膜板200的远侧端(即，图1中的里侧处)处上设置面向掩膜板卡夹100的止挡块2的凹入部201。而在另一优选实施例中，在掩膜板200框架的全部周边都设置所述凹入部 201，所述凹入部201形成贯通的凹形形状。

根据本实用新型的掩膜板卡夹100可以与没有设置有凹入部的掩膜板 200配合使用，也可以与根据本实用新型的设置有凹入的掩膜板200配合使用；而同样地，根据本实用新型的设置有凹入部的掩膜板200可以未根据本实用新型配置的掩膜板卡夹100配合使用，也可以与根据本实用新型配置的掩膜板卡夹100配合使用。而根据本实用新型的掩膜板卡夹100和根据本实用新型的的掩膜板200的配合使用对于避免掩膜板200在掩膜板卡夹100中的取放过程中与掩膜板卡夹100发生摩擦是尤其有利的。

虽然本实用新型已以较佳实施例披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的各种更动与修改，均应纳入本实用新型的保护范围内，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。