一种全自动真空镀膜装置的制作方法

文档序号:15773472发布日期:2018-10-26 22:01阅读:271来源:国知局

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种全自动真空镀膜装置。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD 激光溅射沉积等很多种,现有真空镀膜通过人工操作,因此在工作的过程中,还需人工进行操控,增加了劳动强度,而且人工操作比较繁琐,影响了生产效率。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的人工操作比较繁琐的缺点,而提出的一种全自动真空镀膜装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种全自动真空镀膜装置,包括第一半罐体和第二半罐体,所述第一半罐体和第二半罐体之间多个通过活动机构连接,第一半罐体的侧壁贯穿设有排气管,所述排气管远离第一半罐体的一端连接有抽气泵,所述第一半罐体的内部底面和顶面之间均安装有第一固定块,两个固定块之间相对的表面上均贯穿设有轴承,两个轴承之间连接有转动轴,所述转动轴的两端分别延伸至两个轴承的内孔中,所述转动轴和罐体之间连接有驱动装置,所述转动轴上安装有多个固定板,所述固定板的上表面均开设有第一凹槽,所述第一半罐体和第二半罐体之间连接有多个推动机构,所述推动机构包括第一固定杆,所述第一固定杆安装在第一半罐体的内部底面,所述第一固定杆上套接有活动块,使得活动块沿着第一固定杆的侧面滑动,所述第一固定杆远离第一半罐体的一端设有多个挡块,多个挡块的表面均与活动块的表面接触,所述活动块的侧面安装有电动缸,所述电动缸远离活动块的一端设有安装板,所述安装板上安装有长条杆,所述长条杆远离安装板的一端贯穿设有第二固定杆,所述第二固定杆的一端安装在第二半罐体的内部底面,使得长条杆沿着第二固定杆的侧面滑动,所述第一半罐体和第二半罐体之间设有密封机构,所述第一半罐体的外部分别安装有PLC控制器、第一继电器、第二继电器和第三继电器,所述第一继电器、第二继电器和第三继电器通过导线分别与PLC控制器连接,所述第一继电器通过导线与电动缸连接,第三继电器通过导线与加热装置连接,所述第二继电器通过导线与驱动装置连接。

优选的,所述加热装置包括底板,所述底板安装在第一半罐体的内部底面,所述底板的上表面安装有第一金属棒和第二金属棒,所述第一金属棒和第二金属棒之间连接有多个电热丝,第三继电器通过两根导线分别与第一金属棒和第二金属棒连接。

优选的,所述驱动装置包括电机,所述电机的外部套接有凹形件,所述凹形件的两端均通过锁紧螺钉与第一半罐体连接,所述电机的转动端转动轴与转动轴的位置对应的第二锥形齿,所述第二锥形齿的一侧捏合有第一锥形齿,所述第二锥形齿套接在转动轴上,第二继电器通过导线与电机连接。

优选的,所述活动机构包括第二固定块和第三固定块,所述第二固定块和第三固定块分别安装在第一半罐体和第二半罐体的外部,所述第二固定块靠近第三固定块的侧面开设有延伸至第二固定块对称侧面的安装槽,所述安装槽的内部设有固定轴,所述第三固定块上安装有与固定轴位置对应的连接块,所述连接块的一端套接在固定轴上,使得连接块沿着固定轴的表面滑动。

优选的,所述密封机构包括沿着第一半罐体侧面开设的第二凹槽和沿着第二半罐体侧面安装的磁铁块,且磁铁块与第二凹槽的位置对应,所述第二凹槽的内部设有金属块,所述磁铁块的表面粘接有与第二凹槽匹配安装的橡胶垫,且橡胶垫的侧面与金属块的侧面接触。

本实用新型提出的一种全自动真空镀膜装置,有益效果在于:通过加入PLC控制器、第一继电器、第二继电器和第三继电器,便于对电机、电热丝和和电动缸进行自动控制,从而方便工作人员的操作;通过加入推动机构,用于推动第二半罐体在第一半罐体上进行转动,从而便于人们的取料,避免了人力的浪费,便于工作人员进行取料。本实用新型结构简单,不仅方便工作人员的操作,还便于第一半罐体和第二半罐体之间的分离,从而便于工作人员进行取料。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种全自动真空镀膜装置的结构主剖图;

图2为本实用新型提出的一种全自动真空镀膜装置的第一半罐体和第二半罐体连接结构示意图;

图3为本实用新型提出的一种全自动真空镀膜装置的第一固定块和轴承连接结构示意图。

图中:PLC控制器1、第一继电器2、第一凹槽3、第二继电器4、挡板5、第一锥形齿6、第一固定块7、第二锥形齿8、凹形件9、电机10、第二半罐体11、第一金属棒12、固定板13、第三继电器14、电热丝15、挡块16、抽气泵17、排气管18、第二金属棒19、第一半罐体20、活动块21、第一固定杆22、底板23、电动缸24、转动轴25、连接块26、安装槽27、第二固定块28、固定轴29、第三固定块30、第二凹槽31、磁铁块32、安装板33、金属块34、橡胶垫 35、长条杆36、第二固定杆37。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-3,一种全自动真空镀膜装置,包括第一半罐体20和第二半罐体11,第一半罐体20和第二半罐体11之间多个通过活动机构连接,第一半罐体20的侧壁贯穿设有排气管18,排气管18远离第一半罐体20的一端连接有抽气泵17,活动机构包括第二固定块 28和第三固定块30,第二固定块28和第三固定块30分别安装在第一半罐体20和第二半罐体11的外部,第二固定块28靠近第三固定块30的侧面开设有延伸至第二固定块28对称侧面的安装槽27,安装槽27的内部设有固定轴29,第三固定块30上安装有与固定轴29 位置对应的连接块26,连接块26的一端套接在固定轴29上,使得连接块26沿着固定轴29的表面滑动,在第一半罐体20和第二半罐体11之间进行分离时,第二半罐体11进行移动,使得连接块26在固定轴29上进行转动,便于第二半罐体11的移动。

第一半罐体20的内部底面和顶面之间均安装有第一固定块7,两个固定块7之间相对的表面上均贯穿设有轴承,两个轴承之间连接有转动轴25,转动轴25的两端分别延伸至两个轴承的内孔中,转动轴25和第一半罐体20之间连接有驱动装置,第二继电器4通过导线与驱动装置连接,驱动装置包括电机10,电机10的外部套接有凹形件9,凹形件9的两端均通过锁紧螺钉与第一半罐体20连接,电机 10的转动端转动轴25与转动轴25的位置对应的第二锥形齿8,第二锥形齿8的一侧捏合有第一锥形齿6,第二锥形齿8套接在转动轴25 上,第二继电器4通过导线与电机10连接,电机10在通电后带动第二锥形齿8的转动,第二锥形齿8带动第一锥形齿6的转动,第一锥形齿6带动转动轴25的转动,从而便于工件的转动,通过转动工件便于工件与第一半罐体20内蒸发的镀材原子团或离子进行接触,从而提高镀膜的效率。

转动轴25上安装有多个固定板13,固定板13的上表面均开设有第一凹槽3,第一半罐体20和第二半罐体11之间连接有多个推动机构,推动机构包括第一固定杆22,第一固定杆22安装在第一半罐体20的内部底面,第一固定杆22上套接有活动块21,使得活动块 21沿着第一固定杆22的侧面滑动,第一固定杆22远离第一半罐体20的一端设有多个挡块16,多个挡块16的表面均与活动块21的表面接触,活动块21的侧面安装有电动缸24,电动缸24远离活动块 21的一端设有安装板33,安装板33上安装有长条杆36,长条杆36 远离安装板33的一端贯穿设有第二固定杆37,第二固定杆37的一端安装在第二半罐体11的内部底面,使得长条杆36沿着第二固定杆 37的侧面滑动,第一半罐体20和第二半罐体11之间设有密封机构,密封机构包括沿着第一半罐体20侧面开设的第二凹槽31和沿着第二半罐体11侧面安装的磁铁块32,且磁铁块32与第二凹槽31的位置对应,第二凹槽31的内部设有金属块34,磁铁块32的表面粘接有与第二凹槽31匹配安装的橡胶垫35,且橡胶垫35的侧面与金属块 34的侧面接触,在第一半罐体20和第二半罐体11接触时,磁铁块 32与金属块34相互吸附,使得橡胶垫35与金属块34紧贴,提高第一半罐体20和第二半罐体11之间连接的密封性。

第一半罐体20的外部分别安装有PLC控制器1、第一继电器2、第二继电器4和第三继电器14,第一继电器2、第二继电器4和第三继电器14通过导线分别与PLC控制器1连接,第一继电器2通过导线与电动缸24连接,第三继电器14通过导线与加热装置连接,便于对电机10、电热丝15和和电动缸24进行自动控制,从而方便工作人员的操作。

加热装置包括底板23,底板23安装在第一半罐体20的内部底面,底板23的上表面安装有第一金属棒12和第二金属棒19,第一金属棒12和第二金属棒19之间连接有多个电热丝15,第三继电器14通过两根导线分别与第一金属棒12和第二金属棒19连接,第一金属棒12和第二金属棒19通电后多个电热丝15通电发热,从而释放处温度蒸发第一半罐体20内的镀材,便于对工件进行镀膜。

工作原理:在将第一半罐体20和第二半罐体11之间进行分离时, PLC控制器1通过第一继电器2控制电动缸24的长度伸长,从而推动第二半罐体11在第一半罐体20上进行转动,在电动缸24工作的过程中,随着第二半罐体11转动的角度活动块21在第一固定杆22 上进行同步转动,而长条杆36在第二固定杆37上同步转动,从而便于第二半罐体11的移动。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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