一种PVD真空离子镀膜机的制作方法

文档序号:15773469发布日期:2018-10-26 22:01阅读:390来源:国知局

本实用新型涉及镀膜机技术领域,尤其涉及一种PVD真空离子镀膜机。



背景技术:

随着科技水平的提高,电镀已经无法满足人们的需求。取而代之的真空离子镀技术越来越受到人们的欢迎,随着真空离子镀技术的不断发展,真空离子镀的市场也越来越大。那么传统真空离子镀膜机内的工件托架已经无法满足需求。传统的托架结构复杂而且悬挂的零件少,镀膜效率低。而且传统的托架只能围绕中心转轴旋转,经常出现零件镀膜厚度不均匀的现象,严重影响真空离子镀层的质量。



技术实现要素:

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在PVD真空镀膜机镀膜不均匀的缺点,而提出的一种PVD真空离子镀膜机。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

设计一种PVD真空离子镀膜机,包括机壳,所述机壳的一侧设置有密封门,所述机壳的另一侧设置有抽气泵,所述机壳的顶部设置有电机,所述机壳的内腔设置有转动支架,所述转动支架上垂直设有连接轴,所述连接轴通过联轴器与电机的动力轴连接,所述转动支架上开设有一对放置槽,所述转动支架的顶部转动连接有一对第二卡槽,所述转动支架的底部转动连接有第一卡槽,所述第一卡槽上固定连接转轴,所述转轴远离第一卡槽的一端固定连接转动齿轮,所述机壳的内腔底部垂直设有立柱,所述立柱的顶部固定连接有与转动齿轮相互啮合的固定齿轮,所述机壳的内壁固定安装有等离子弧源。

优选的,所述转动支架的侧壁开设有插槽,所述插槽的底部转动设有滚轮。

优选的,所述第一卡槽、第二卡槽均为U型,并且U型内腔均设置有弧形弹片。

本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机,有益效果在于:通过设置第一卡槽、第二卡槽、固定齿轮和转动齿轮,电机带动转动支架旋转的同时待镀膜板在转动齿轮的带动下自转,实现了更加均匀镀膜的目的,避免出现镀膜不均匀的现象,保证了PVD镀膜的质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机的结构示意图;

图2为本实用新型提出的一种PVD真空离子镀膜机的转动支架侧视图。

图中:1机壳、2密封门、3等离子弧源、4转动支架、5电机、6第一卡槽、7第二卡槽、8放置槽、9立柱、10固定齿轮、11转动齿轮、12滚轮、13插槽、14连接轴、15抽气泵。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。

参照图1-2,一种PVD真空离子镀膜机,包括机壳1,机壳1的一侧设置有密封门2,机壳1的另一侧设置有抽气泵15,机壳1的顶部设置有电机5,机壳1的内腔设置有转动支架4,转动支架4上垂直设有连接轴14,连接轴14通过联轴器与电机5的动力轴连接,转动支架4上开设有一对放置槽8,转动支架4的顶部转动连接有一对第二卡槽7,转动支架4的底部转动连接有第一卡槽6,第一卡槽6上固定连接转轴16,转轴16远离第一卡槽6的一端固定连接转动齿轮11,机壳1的内腔底部垂直设有立柱9,立柱9的顶部固定连接有与转动齿轮11相互啮合的固定齿轮10,机壳1的内壁固定安装有等离子弧源3。

转动支架4的侧壁开设有插槽13,插槽13的底部转动设有滚轮12,设置第一卡槽6、第二卡槽7均为U型,并且U型内腔均设置有弧形弹片,通过设置第一卡槽6、第二卡槽7、固定齿轮10和转动齿轮11,使得该镀膜机在使用时,将待镀膜板材从插槽13插入放置槽8中,第一卡槽6、第二卡槽7夹持待镀膜板材,电机5带动转动支架4旋转的同时待镀膜板在转动齿轮11的带动下自转,抽气泵15抽出机壳1中的空气,等离子弧源3对待镀膜板材进行离子镀膜,实现了更加均匀镀膜的目的,避免出现镀膜不均匀的现象,保证了PVD镀膜的质量。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

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