靶材喷涂机积瘤清除装置的制作方法

文档序号:15529705发布日期:2018-09-25 21:12阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及靶材喷涂机积瘤清除装置,送粉管设置在喷嘴的一侧,控制装置分别连接旋转气缸和吹气铜管,吹气铜管的吹气口设置在送粉管的喷粉口的旁侧,在设定的时机吹气铜管向送粉管的喷粉口吹送压缩空气以实现清理喷粉口;安装板固定于走枪小车,旋转气缸安装在安装板,积瘤打头通过法兰安装于旋转气缸,积瘤打头的端部设置在喷嘴的一侧,且积瘤打头的端部与喷嘴间隙配合,在设定的时机旋转气缸驱动积瘤打头旋转,以实现驱动积瘤打头在喷嘴的前侧来回移动并打掉残留在喷嘴的火花积瘤。在走枪小车换向时,通过旋转气缸带动积瘤打头旋转而打掉打掉残留在喷嘴的火花积瘤,通过吹气铜管向送粉管的喷粉口吹送压缩空气而实现自动清理送粉管的喷粉口的积瘤,具有结构简单,使用方便。

技术研发人员:李兵
受保护的技术使用者:东莞市欧莱溅射靶材有限公司
技术研发日:2018.02.11
技术公布日:2018.09.25

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