一种自动出料的系统的制作方法

本实用新型涉及一种半导体材料领域，特别涉及一种自动出料的系统。

背景技术：

含硅薄膜，包括：氧化硅薄膜、碳化硅薄膜、氮化硅薄膜等材料具备许多优异的性能，如高熔点、高硬度、强稳定性、低膨胀系数、良导热性、强抗热震性及优良的光学性能等，其中，氮化硅块材料及其薄膜能广泛应用于光电子、微电子、机械加工、化学工业、太阳能电池、航空航天及集成电路等行业。

随着薄膜应用的普及，薄膜制备的技术也成为了高新加工技术中的重要部分。目前，比较普及的氮化硅薄膜的制备方法有等离子体化学气相沉积(PECVD) 和低压化学气相沉积(LPCVD)法两种方法，其中LPCVD法生产的膜密度更高、纯度更高、物理化学特性更优良。

实现含硅薄膜的批量自动化出料，以便进行下一步的生产，成为摆在人们面前的一道课题。

技术实现要素：

为了解决以上的问题，本实用新型提供一种自动出料的系统。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

本实用新型公开了一种自动出料的系统，用于含硅薄膜的制备，包括：第一机械手、反应炉、控制器、与所述的控制器相连接的温度传感器，所述的温度传感器设置于所述的反应炉中，所述的控制器能控制所述的第一机械手的启动或停止，所述的第一机械手用于抓取所述的反应炉中的含硅薄膜于预设位置。

进一步地，所述的含硅薄膜厚度为400nm～780nm。

进一步地，所述的控制器包括控制面板及微处理器，在所述的控制面板上设置与所述的微处理器相连接的启动第一机械手的按钮及停止第一机械手的按钮，所述的微处理器与所述的第一机械手的驱动电路相连。

进一步地，所述的反应炉具有可闭合密封或打开的开口，所述的开口与所述的第一机械手对应设置，以方便取出所述的含硅薄膜。

进一步地，所述的预设位置为容纳盒。

进一步地，所述的系统还包括第二机械手、传送带、电机，所述的电机驱动所述的传送带运转，所述的第一机械手将所述的含硅薄膜投放于所述的传送带的始端，设置于所述的传送带的末端的第二机械手将传送过来的含硅薄膜投入到所述的容纳箱中。

实施本实用新型的一种自动出料的系统，具有以下有益的技术效果：

本技术方案可自动取出含硅薄膜的成品，解放了人力，实现了自动化生产和无人管理。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例的自动出料的系统部分结构示意图；

图2为本实用新型的实施例的自动出料的系统模块示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1及图2，一种自动出料的系统1，用于含硅薄膜的制备，包括：第一机械手10、反应炉20、控制器30、与控制器30相连接的温度传感器40，温度传感器40设置于反应炉20中，控制器30能控制第一机械手10的启动或停止，第一机械手10用于抓取反应炉20中的含硅薄膜于预设位置。

含硅薄膜厚度为400nm～780nm。

预设位置为容纳盒。

更佳地，系统1还包括第二机械手50、传送带60、电机70，电机70驱动传送带60运转，第一机械手10将含硅薄膜投放于传送带60的始端，设置于传送带60的末端的第二机械手50将传送过来的含硅薄膜投入到容纳箱中。

控制器30包括控制面板及微处理器，在控制面板上设置与微处理器相连接的启动第一机械手10的按钮及停止第一机械手10的按钮，微处理器与第一机械手10的驱动电路相连，启动按钮及停止按钮与微处理器的电源引脚对应设置，按下启动按钮，微处理器形成通电回路，启动第一机械手10的工作，按下停止按钮，微处理器形成断电回路，停止第一机械手10的工作。

电机70的驱动电路通过SPI接口连接于微处理器所在的PCB面板。

在本实用新型中，微处理器的型号可为：LQFP64嵌入式处理器。该微处理器的数据总线宽度：32bit；具有多种接口类型：CAN、I2C、SPI、USART、 USB等。

电机70的驱动电路的模块型号可为：SMBL2410A1。

以上的产品的型号及连接关系只是举例，不构成对实用新型的限制。

反应炉20具有可闭合密封或打开的开口，开口与所述的第一机械手10对应设置，以方便取出含硅薄膜。

在本实用新型的另一实施例中，传送带60间隔设置容纳每个衬底的中空隔离腔，中空隔离腔的技术效果在于：当出现安全事故时，需要立即停止生产，同时，由于衬底放在隔离腔中，不至于由于惯性而飞出而发生伤人事件。

在本实用新型的再一实施例中，控制器30抓取传送信息上传到后台监控中心，传送信息包括：传送速度及时间、传送图片等。本实施例为了方便实现无人管理生产氮化硅薄膜。

实施本实用新型的一种自动出料的系统，具有以下有益的技术效果：

本技术方案通过自动取出含硅薄膜的成品，解放了人力，实现了自动化生产和无人管理。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型实施例进行各种改动和变型而不脱离本实用新型实施例的精神和范围。这样，倘若本实用新型实施例的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。