一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置的制作方法

文档序号:18448967发布日期:2019-08-16 22:45阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:包括基座、支腿、第一支板,所述基座下表面四周设置所述支腿,所述基座上表面前方设置滑槽,所述滑槽内设置滑板,所述滑板上表面设置所述第一支板,所述第一支板前侧面设置第一接线柱,所述第一支板后侧面设置第一电场板、加热环,所述加热环内部设置载荷粒子产生板,所述基座上表面后方设置第二支板,所述第二支板后侧面设置电机,所述电机一侧设置控制器,所述控制器远离所述电机的侧面设置控制面板,所述第二支板前侧面设置转轴,所述转轴前侧面设置转辊,所述转辊外侧面设置靶材,所述转辊外侧面前方设置限位环,所述基座靠近所述控制器的侧方设置支撑板,所述支撑板上方设置卡槽,所述卡槽内部设置手柄,所述手柄前侧面设置第二接线柱,所述手柄后侧面设置第二电场板,所述第一接线柱、所述加热环、所述电机、所述控制面板、所述第二接线柱电连接在所述控制器上。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述支腿焊接在所述基座上,所述滑板滑动连接在所述滑槽上,所述第一支板焊接在所述滑板上,所述第一接线柱螺纹连接在所述第一支板上,所述第一电场板、所述加热环焊接在所述第一支板上,所述载荷粒子产生板镶嵌在所述加热环上,所述第二支板焊接在所述基座上。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述电机螺栓连接在所述第二支板上,所述控制器螺栓连接在所述电机上。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述控制面板镶嵌在所述控制器上。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述转辊焊接在所述转轴上,所述靶材键连接在所述转辊上。

6.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述限位环螺纹连接在所述转辊上,所述手柄过盈连接在所述卡槽上。

7.根据权利要求1所述的一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置,其特征在于:所述第二接线柱螺纹连接在所述手柄上,所述第二电场板焊接在所述手柄上。

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