技术总结
本实用新型公开了一种镀膜工艺用的可重复利用靶材装置，包括基座、支腿、第一支板，所述基座下表面四周设置所述支腿，所述基座上表面前方设置滑槽，所述滑槽内设置滑板，所述滑板上表面设置所述第一支板，所述第一支板前侧面设置第一接线柱，所述第一支板后侧面设置第一电场板、加热环，所述加热环内部设置载荷粒子产生板，所述基座上表面后方设置第二支板，所述第二支板后侧面设置电机，所述电机一侧设置控制器，所述控制器远离所述电机的侧面设置控制面板。有益效果在于：本实用新型可实现固体表面的镀膜，采用电场加速冲击粒子，靶材利用率高，可手动改变电场方向，操作方便，装置简单易于维护维修。
技术研发人员：闫都伦;王克斌;唐贵民
受保护的技术使用者：深圳新南亚技术开发有限公司
技术研发日：2018.07.23
技术公布日：2019.08.16