一种旋转靶材在线打磨装置的制作方法

本实用新型实施例涉及靶材打磨技术领域，具体涉及一种旋转靶材在线打磨装置。

背景技术：

靶材作为镀膜工艺的原材料，常通过溅射工艺制备薄膜材料。溅射是利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体即是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材，或简称靶材。各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

靶材的质量直接影响膜层的质量，由于陶瓷靶材表面容易黑化(结瘤)，因此，对于陶瓷靶溅射，定期清洁靶面尤为重要。所以每过一段时间就需要清洁表面一次，一般一副靶材使用周期内清洁1-2次。清洁靶材的表面时需要用砂纸百页片打磨，把黑色部分以及非溅射区彻底清洁干净。目前的清洁方式是开腔(靶材和阴极之间具有空腔，阴极包括离子源)后将靶材暴露在大气中使用砂纸手动打磨或者采用带有砂纸的吸尘器进行清洁靶材表面。这样的清洁方法，效率低，打磨的粉尘会影响工作环境，一些有毒的粉尘还会影响人体的健康。

技术实现要素：

为解决现有技术中人力靶材打磨中的问题，本实用新型实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置。

第一方面，本实用新型实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置，包括遮挡构件及打磨构件；在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。

可选地，在打磨状态，所述遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，所述打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而形成封闭空间用于包围所述旋转靶材。

可选地，所述打磨空隙位于一个所述遮挡构件上或由相邻两个所述遮挡构件的边界构成。

可选地，所述遮挡构件包括第一挡板和第二挡板；所述打磨构件包括打磨滚筒。

可选地，所述第一挡板或所述第二挡板上具有打磨空隙；在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，且所述第一挡板和所述第二挡板的边界闭合；所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

可选地，所述第一挡板和所述第二挡板分别设置在所述旋转靶材的两侧；所述第一挡板包括第一上端面、第一下端面和第一侧壁，所述第二挡板包括第二上端面、第二下端面和第二侧壁；在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，并且所述第一上端面和所述第二上端面闭合，包住所述旋转靶材的第一端部；所述第一下端面和所述第二下端面闭合，包住所述旋转靶材的第二端部；沿所述旋转靶材轴向方向，所述第一侧壁的第一工艺端边界和所述第二侧壁的第二工艺端边界闭合，所述第一侧壁的第一打磨端边界和所述第二侧壁的第二打磨端边界留有打磨空隙；并且，在打磨状态，所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

可选地，所述第一侧壁和所述第二侧壁的横截面为圆弧形状，所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径大于所述旋转靶材的半径；且所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径与所述旋转靶材的半径之差为预设数值。

可选地，所述打磨滚筒的内部设置有转轴，所述转轴包括两个平行设置的第一套管和第二套管，所述第一套管套设有未使用的打磨介质；所述打磨滚筒具有缝隙，所述第一套管上的所述打磨介质的一端通过所述打磨滚筒的缝隙在所述打磨滚筒上围绕一圈后，再经过所述缝隙绕至所述第二套管上固定。

可选地，所述遮挡构件设置有废料管路，所述废料管路用于排出打磨过程中产生的粉尘。

可选地，所述装置还包括控制模块、第一驱动模块、第二驱动模块、第三驱动模块及除尘模块；所述控制模块用于控制所述第一驱动模块驱动所述遮挡构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第二驱动模块驱动所述打磨构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第三驱动模块驱动所述打磨构件旋转实现打磨以及控制所述除尘模块抽取打磨过程中产生的粉尘至设置在所述遮挡构件的废料管路。

本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置，通过设置可以活动的遮挡构件及打磨构件，可以实现旋转靶材在线打磨，提高了靶材打磨的效率，使打磨靶材变得省时省力，实现了自动化，解放了人力；同时减少了粉尘及有毒物质危害，改善了工作环境。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置处于打磨状态时的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置处于非打磨状态时的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置的俯视图；

图4是本实用新型实施例提供的另一旋转靶材在线打磨装置处于打磨状态时的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的另一旋转靶材在线打磨装置处于非打磨状态时的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型实施例提供一种旋转靶材在线打磨装置，其特征在于，包括遮挡构件及打磨构件；在打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材；其中，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及打磨构件远离所述旋转靶材。

所述旋转靶材在线打磨装置包括遮挡构件及打磨构件，所述遮挡构件可以包括一个或多个子遮挡构件；在打磨状态，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触从而可以实现打磨，所述一个或多个遮挡构件及所述打磨构件形成封闭空间用于包围旋转靶材，防止了打磨过程中产生的粉尘等影响腔室环境。

所述遮挡构件的子遮挡构件的数量可以根据需要设定。

可以理解的，所述打磨构件的数量也可以为多个，利用多个打磨装置同时实现打磨，只要满足在打磨时打磨装置和遮挡构件能够形成封闭的结构、在非打磨状态，打磨装置和遮挡构件远离旋转靶材即可。

图1是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置处于打磨状态时的结构示意图；图2是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置处于非打磨状态时的结构示意图。

如图1、图2所示，所述旋转靶材在线打磨装置包括第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3；在打磨状态，所述第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3形成封闭空间用于包围旋转靶材100；所述打磨构件3与旋转靶材100相接触可以实现打磨；在非打磨状态，第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3远离所述旋转靶材。

在旋转靶材的使用过程中，旋转靶材和阴极之间具有空腔。本实用新型实施例所提供的旋转靶材在线打磨装置可以设置在所述空腔中，从而在进行打磨时不需要开腔操作。同时，可以采用自动化的控制装置实现旋转靶材在线打磨装置的各部件如遮挡构件及打磨构件的动作，从而实现自动化的控制，减轻人力负担，提升工作效率。通过在打磨时由遮挡构件及打磨构件形成密闭的打磨环境，从而防止粉尘危害。

本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置，通过设置可以活动的遮挡构件及打磨构件，可以实现旋转靶材在线打磨，提高了靶材打磨的效率，使打磨靶材变得省时省力，实现了自动化，解放了人力；同时减少了粉尘及有毒物质危害，改善了工作环境。

进一步地，基于上述实施例，在打磨状态，所述遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，所述打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而形成封闭空间用于包围所述旋转靶材。

在打磨时，打磨构件需要与旋转靶材相接触从而实现打磨。因此，在打磨状态，使得所述遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，所述打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而由所述遮挡构件及所述打磨构件包围所述旋转靶材，形成封闭的打磨环境；所述打磨构件和所述旋转靶材相接触可以实现打磨。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过使得遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而形成封闭空间用于包围所述旋转靶材，避免了粉尘及有毒物质危害，改善了工作环境。

进一步地，基于上述实施例，所述打磨空隙位于一个所述遮挡构件上或由相邻两个所述遮挡构件的边界构成。

所述遮挡构件形成的空间结构具有打磨空隙，所述打磨构件嵌入所述打磨空隙，从而形成封闭空间用于包围所述旋转靶材。具体地，所述打磨空隙的位置可以设置在任意一个遮挡构件上，或者由打磨状态下的相邻两个所述遮挡构件的边界构成。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过将打磨空隙设置于遮挡构件上或由相邻两个遮挡构件的边界构成，提高了打磨封闭空间结构设置的灵活性。

进一步地，基于上述实施例，所述遮挡构件包括第一挡板和第二挡板；所述打磨构件包括打磨滚筒。

所述遮挡构件可以由第一挡板和第二挡板构成，所述打磨构件可以是打磨滚筒。

设置分立的多个遮挡构件便于实现遮挡构件之间的聚合和分离，而设置两个遮挡构件则实现上更为简单；对应于旋转靶材，打磨滚筒更适合于对其进行打磨。所述打磨滚筒的外表面可以贴敷如砂纸等的打磨介质。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过设置包括第一挡板、第二挡板及打磨构件的旋转靶材在线打磨装置，简化了结构，提高了实用性。

进一步地，基于上述实施例，所述第一挡板或所述第二挡板上具有打磨空隙；在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，且所述第一挡板和所述第二挡板的边界闭合；所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

在旋转靶材在线打磨装置包括第一挡板、第二挡板及打磨滚筒时，打磨空隙可以设置第一挡板或第二挡板上。

当打磨空隙设置在第一挡板上时，在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，且所述第一挡板和所述第二挡板的边界闭合；所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述第一挡板上的所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

当打磨空隙设置在第二挡板上时，在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，且所述第一挡板和所述第二挡板的边界闭合；所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述第二挡板上的所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

其中，所述第一挡板或所述第二挡板设置的所述打磨空隙应该使得打磨滚筒与旋转靶材相接触时，正好嵌入所述打磨空隙。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过在第一挡板或第二挡板设置打磨空隙，便于实现，进一步简化了结构。

进一步地，基于上述实施例，所述第一挡板和所述第二挡板分别设置在所述旋转靶材的两侧；所述第一挡板包括第一上端面、第一下端面和第一侧壁，所述第二挡板包括第二上端面、第二下端面和第二侧壁；在打磨状态，所述第一挡板和所述第二挡板靠近所述旋转靶材，并且所述第一上端面和所述第二上端面闭合，包住所述旋转靶材的第一端部；所述第一下端面和所述第二下端面闭合，包住所述旋转靶材的第二端部；沿所述旋转靶材轴向方向，所述第一侧壁的第一工艺端边界和所述第二侧壁的第二工艺端边界闭合，所述第一侧壁的第一打磨端边界和所述第二侧壁的第二打磨端边界留有打磨空隙；并且，在打磨状态，所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。

在进行打磨时，为避免产生的粉尘等影响腔室环境，通过设置的第一挡板和第二挡板进行遮挡。所述第一挡板和所述第二挡板分别设置在旋转靶材的两侧。由于在进行打磨时，需要形成密闭的打磨环境，因此，在结构上，所述第一挡板包括第一上端面、第一下端面和第一侧壁，所述第二挡板包括第二上端面、第二下端面和第二侧壁。

在打磨状态，所述第一上端面和所述第二上端面闭合，包住所述旋转靶材的第一端部；所述第一下端面和所述第二下端面闭合，包住所述旋转靶材的第二端部；从而实现了旋转靶材径向方向两个端部的密封。

另外，沿所述旋转靶材轴向方向，所述第一侧壁的第一工艺端边界和所述第二侧壁的第二工艺端边界闭合，所述第一侧壁的第一打磨端边界和所述第二侧壁的第二打磨端边界留有打磨空隙。所述第一工艺端边界和所述第二工艺端边界是指第一侧壁和第二侧壁靠近旋转靶材进行工艺操作的一端的边界或不进行打磨操作的一端的边界。由于打磨状态不进行工艺操作，因此，在打磨状态，所述第一工艺端边界和所述第二工艺端边界闭合。所述第一打磨端边界和所述第二打磨端边界是指第一侧壁和第二侧壁靠近旋转靶材进行打磨操作的一端的边界。在打磨状态，所述第一侧壁的第一打磨端边界和所述第二侧壁的第二打磨端边界留有打磨空隙，以供打磨滚筒进行打磨。

所述打磨滚筒的外表面可以贴敷有打磨介质；在打磨状态，所述打磨滚筒靠近所述旋转靶材，与所述旋转靶材相接触，比如形成线接触，并且所述打磨滚筒嵌入所述打磨空隙，使得所述旋转靶材被所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒完全包裹。所述第一挡板、所述第二挡板和所述打磨滚筒与所述旋转靶材之间可以留有缝隙。

所述打磨滚筒通过旋转实现利用贴敷在其外表面的打磨介质对旋转靶材进行打磨。

所述第一挡板和所述第二挡板可以对称设置在旋转靶材的两侧，所述第一挡板的第一上端面和第一下端面以及所述第二挡板的第二上端面和第二下端面的结构可以根据旋转靶材的第一端部及第二端部的结构进行设计，以满足密封要求。

在非打磨状态，所述第一挡板、所述第二挡板及所述打磨滚筒沿所述旋转靶材的径向方向远离所述旋转靶材，从而不影响旋转靶材的正常工艺操作。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置，通过设置可以活动的第一挡板、第二挡板和打磨滚筒，可以实现旋转靶材在线打磨，提高了靶材打磨的效率，使打磨靶材变得省时省力，实现了自动化，解放了人力；同时减少了粉尘及有毒物质危害，改善了工作环境。

进一步地，基于上述实施例，所述第一侧壁和所述第二侧壁的横截面为圆弧形状，所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径大于所述旋转靶材的半径；且所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径与所述旋转靶材的半径之差为预设数值。

由于旋转靶材的外表面为圆柱形，因此，所述第一侧壁和所述第二侧壁的横截面为圆弧形状，以与旋转靶材的形状相适应。

由于在进行打磨时，所述打磨滚筒进行旋转实现对旋转靶材进行打磨；同时，为便于对产生的粉尘进行相关处理，在打磨状态，不宜使得第一挡板、第二挡板和打磨滚筒形成的密闭空间紧紧包裹所述旋转靶材，而是应留有空间。

因此，所述第一侧壁和所述第二侧壁为圆弧形状，所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径大于所述旋转靶材的半径；且所述第一侧壁和所述第二侧壁的半径与所述旋转靶材的半径之差为预设数值。

所述预设数值可以为10mm、20mm等，具体可以根据旋转靶材100和阴极之间腔室的空间而定。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过设置第一侧壁和第二侧壁的横截面为圆弧形状，且令第一侧壁和第二侧壁的半径与旋转靶材的半径之差为预设数值，便于粉尘处理、节约资源，提高了旋转靶材在线打磨装置的实用性。

进一步地，基于上述实施例，所述打磨滚筒的内部设置有转轴，所述转轴包括两个平行设置的第一套管和第二套管，所述第一套管套设有未使用的打磨介质；所述打磨滚筒具有缝隙，所述第一套管上的所述打磨介质的一端通过所述打磨滚筒的缝隙在所述打磨滚筒上围绕一圈后，再经过所述缝隙绕至所述第二套管上固定。

在打磨过程中，如果围绕打磨滚筒的打磨介质足够打磨旋转靶材时，可以直接将打磨介质围绕打磨滚筒一圈，并固定在打磨滚筒的外表面，可以通过粘贴的方式进行固定。

但是，如果打磨过程中，围绕打磨滚筒的打磨介质不能够完成全部打磨任务时，则在打磨介质不能再进行打磨时，需要及时跟换打磨介质。所述跟换是指在打磨过程中实现旧的打磨介质的回收及新的打磨介质的增添。

图3是本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置的俯视图。如图3所示：所述旋转靶材在线打磨装置包括第一挡板11、第二挡板12、打磨滚筒13、废料管路14；并且，在所述打磨滚筒13的内部设置有转轴15，所述转轴15包括两个平行设置的第一套管16和第二套管17，所述转轴15自转时，可以带动第一套管16和第二套管17转动。所述第一套管16上套设有未使用的打磨介质，用于打磨介质的增添；所述第二套管17则用于打磨介质的回收。

所述打磨滚筒13具有缝隙，所述第一套管16上的所述打磨介质的一端通过所述打磨滚筒13的缝隙在所述打磨滚筒13上围绕一圈后，再经过所述缝隙绕至所述第二套管17上固定。这样，在需要跟换打磨介质时，则只需令转轴15进行转动，同时带动第一套管16和第二套管17同方向转动，第一套管16上的未使用的打磨介质通过打磨滚筒13的缝隙向打磨滚筒13上缠绕，旧的打磨介质则由于第二套管17的转动实现在第二套管17上的缠绕，实现回收，从而完成打磨介质的跟换。

其中，所述打磨滚筒13和两套管(第一套管16和第二套管17)可以独立旋转。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过在打磨滚筒内部设置包括两个平行设置的第一套管和第二套管的转轴，在转轴转动时，带动第一套管和第二套管转动，进而完成打磨介质的在线跟换，使得旋转靶材在线打磨装置可以满足不同工作量的打磨任务，进一步提高了旋转靶材在线打磨装置的实用性。

进一步地，基于上述实施例，所述遮挡构件设置有废料管路，所述废料管路用于排出打磨过程中产生的粉尘。

图4是本实用新型实施例提供的另一旋转靶材在线打磨装置处于打磨状态时的结构示意图；图5是本实用新型实施例提供的另一旋转靶材在线打磨装置处于非打磨状态时的结构示意图。如图3、图4所示：

所述旋转靶材在线打磨装置包括第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3，在打磨状态，所述第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3形成封闭空间用于包围旋转靶材100；在非打磨状态，所述第一遮挡构件1、第二遮挡构件2及打磨构件3远离所述旋转靶材100。

所述第一遮挡构件1和第二遮挡构件2上设有废料管路14，所述废料管路14用于排出打磨过程中产生的粉尘。可设置不同位置设计的废料管路14的密度不同，以适应旋转靶材100不同位置的废料排出需求。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过在遮挡构件设置废料管路，保证了打磨过程中产生的粉尘的及时排出，提高了旋转靶材在线打磨装置的性能。

进一步地，基于上述实施例，所述装置还包括控制模块、第一驱动模块、第二驱动模块、第三驱动模块及除尘模块；所述控制模块用于控制所述第一驱动模块驱动所述遮挡构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第二驱动模块驱动所述打磨构件靠近及远离所述旋转靶材、控制所述第三驱动模块驱动所述打磨构件旋转实现打磨以及控制所述除尘模块抽取打磨过程中产生的粉尘至设置在所述遮挡构件的废料管路。

所述旋转靶材在线打磨装置还包括控制模块、第一驱动模块、第二驱动模块、第三驱动模块及除尘模块；所述第一驱动模块用于在控制模块的控制下实现所述遮挡构件靠近及远离所述旋转靶材；所述第二驱动模块用于在控制模块的控制下实现所述打磨构件靠近及远离所述旋转靶材；使得在打磨状态，所述遮挡构件及所述打磨构件形成的封闭空间包围所述旋转靶材；并且，所述打磨构件与所述旋转靶材相接触；在非打磨状态，所述遮挡构件及所述打磨构件远离所述旋转靶材。

所述第三驱动模块用于在控制模块的控制下驱动打磨构件旋转，从而实现打磨。其中，旋转靶材可以在其控制系统的控制下进行旋转。

所述除尘模块用于在控制模块的控制下抽取打磨过程中产生的粉尘至设置在所述遮挡构件的废料管路，从而实现废料回收。

在进行打磨的过程中，除尘模块开启，保证粉尘被抽到废料管路排出，粉尘可以经过废料管路排出到预先设置好的收集装置。

除尘模块可以根据靶材消耗的实际情况进行设置，比如不同位置除尘能力不同；还可设置不同位置设计的废料管路的密度不同，以适应旋转靶材不同位置的废料排出需求。

在上述实施例的基础上，本实用新型实施例通过设置相应的控制模块及驱动模块，有效地保障了本实用新型实施例提供的旋转靶材在线打磨装置的功能实现。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。