一种耐高温基片夹具的制作方法

本发明涉及真空镀膜机的技术领域，尤其是一种耐高温基片夹具。

背景技术：

在lcd显示器、电致发光屏、太阳能电池、冰箱玻璃、触摸屏、等离子显示器、oled显示器、塑料金属化等产品的磁控溅射镀膜生产工艺中，需要将待加工的玻璃基片安装在镀膜设备的基片架上，随着基片架的移动实现被加工玻璃基片在镀膜加工中的位置移动，使得被镀膜的玻璃基片依此进入镀膜室进行溅射镀膜。

常规的基片架对耐温要求不高，通常采用铝合金材料，普通的基片架随温度升高以后会出现不同形状的变形，容易造成设备在运行过程中的卡架现象，不适合于高温镀膜产品。同时，如果用于装夹基片的夹具所采用的材料选用不当，会造成玻璃表面划伤。

技术实现要素：

针对上述现有技术中存在的问题，本发明提供一种结构简单、使用便捷的耐高温基片夹具。

本发明采用的技术方案如下：一种耐高温基片夹具，包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，所述翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，所述固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，所述压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为peek材质。

进一步地，所述左、右立柱和上、下横梁的材质为钛合金。

进一步地，所述卡槽的材质为peek材质。

进一步地，翻板机构设置有四个，分别对称设置在左、右立柱的上、下部。

进一步地，在左、右立柱之间连接有多根中间连杆，所述中间连杆上套有多个隔套。

进一步地，所述隔套为peek材质。

本发明的耐高温基片夹具通过左右立柱和上下横梁连成一个整体框架，材质为钛合金，相比常规基片夹具更加耐高温，持续耐温200度以上，上下卡槽选用比金属质软又能耐高温的peek材质，不会造成玻璃基片表面划伤；左右翻板机构用于装卸片，压住玻璃基片位置的压板也采用peek材质，能有效保护玻璃基片表面，当玻璃基片需要夹紧时将压板往中间翻转即可，在左右立柱中嵌入安装有耐高温磁铁，有效的保证了翻板机构中的压板和玻璃基片有效贴合，如果需要打开只需要把压板反向翻转180度即可；由于玻璃基片规格比较大，在框架背面设有几个中间连杆，并在中间连杆上套有几个peek材质的隔套，能避免设备在运行中由于抽气对玻璃形变影响，对玻璃基片起到有效的保护作用；本发明的耐高温基片夹具可用于高温镀膜设备装置中，操作方便，结构简单。

附图说明

图1是本发明的整体结构示意图。

图2是本发明的翻板机构的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本发明作更全面、细致地描述，但本发明的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1、图2所示，本实施例的一种耐高温基片夹具，包括由钛合金材质的左立柱1、右立柱2和上横梁3、下横梁4连成一个整体的框架，在上横梁3、下横梁4上分别设置有用于装载基片的卡槽5，所述卡槽5的材质为peek材质。在左立柱1、右立柱2分别设置有翻板机构6，翻板机构6设置有四个，分别对称设置在左立柱1、右立柱2的上、下部。所述翻板机构6包括固定在左立柱1/右立柱2上的固定座601，所述固定座601上通过销轴602转动连接有压板603，在左立柱1/右立柱2上嵌入安装有耐高温磁铁7，所述压板603与耐高温磁铁7相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板603与基片接触部位为peek材质。在左立柱1、右立柱2之间连接有多根中间连杆8，所述中间连杆8上套有多个隔套9，所述隔套9为peek材质。

本发明的耐高温基片夹具通过左右立柱和上下横梁连成一个整体框架，材质为钛合金，相比常规基片夹具更加耐高温，持续耐温200度以上，上下卡槽选用比金属质软又能耐高温的peek材质，不会造成玻璃基片表面划伤；左右翻板机构用于装卸片，压住玻璃基片位置的压板也采用peek材质，能有效保护玻璃基片表面，当玻璃基片需要夹紧时将压板往中间翻转即可，在左右立柱中嵌入安装有耐高温磁铁，有效的保证了翻板机构中的压板和玻璃基片有效贴合，如果需要打开只需要把压板反向翻转180度即可；由于玻璃基片规格比较大，在框架背面设有几个中间连杆，并在中间连杆上套有几个peek材质的隔套，能避免设备在运行中由于抽气对玻璃形变影响，对玻璃基片起到有效的保护作用；本发明的耐高温基片夹具可用于高温镀膜设备装置中，操作方便，结构简单。

在前述说明书与相关附图中存在的教导的帮助下，本发明所属领域的技术人员将会想到本发明的许多修改和其它实施方案。因此，要理解的是，本发明不限于公开的具体实施方案，修改和其它实施方案被认为包括在所附权利要求的范围内。尽管本文中使用了特定术语，它们仅以一般和描述性意义使用，而不用于限制。

技术特征：

1.一种耐高温基片夹具，其特征在于：包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，所述翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，所述固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，所述压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为peek材质。

2.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述左、右立柱和上、下横梁的材质为钛合金。

3.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述卡槽的材质为peek材质。

4.如权利要求1所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述翻板机构设置有四个，分别对称设置在左、右立柱的上、下部。

5.如权利要求1-4任意一项所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：在左、右立柱之间连接有多根中间连杆，所述中间连杆上套有多个隔套。

6.如权利要求5所述的一种耐高温基片夹具，其特征在于：所述隔套为peek材质。

技术总结
本发明公开了一种耐高温基片夹具，包括由左、右立柱和上、下横梁连成一个整体的框架，在上、下横梁上分别设置有用于装载基片的卡槽，在左、右立柱分别设置有翻板机构，翻板机构包括固定在左立柱/右立柱上的固定座，固定座上通过销轴转动连接有压板，在左立柱/右立柱上嵌入安装有耐高温磁铁，压板与耐高温磁铁相对应部位为能被磁铁吸引的金属材质，压板与基片接触部位为PEEK材质。本发明的耐高温基片夹具采用钛合金材质的整体框架，更加耐高温，卡槽、压板选用比金属质软又能耐高温的PEEK材质，不会造成玻璃基片表面划伤，翻板机构操作便捷，基片装卸方便，中间连杆及PEEK材质的隔套可对玻璃基片起到有效的保护作用。

技术研发人员：李国强;舒逸;刘光斗;李赞
受保护的技术使用者：湖南玉丰真空科学技术有限公司
技术研发日：2020.09.25
技术公布日：2021.01.05