专利名称：研磨用托架、表面研磨装置及表面研磨方法
技术领域：
本发明涉及一种研磨用托架、表面研磨装置及表面研磨方法，特别是涉及一种适用于研磨薄板状工件时的表面加工技术。
背景技术：
以往采用的表面研磨装置如
图10所示，是一种在上平台1和下平台2之间配置在其外缘部具备与恒星齿轮3和内齿轮4啮合的外齿11，同时还具有保持工件20的工件保持孔12的圆盘状研磨用托架10，在工件20插入工件保持孔12中而保持的状态下，通过边向上平台1和下平台2之间送入研磨材料5边使上平台1、下平台2、恒星齿轮3和内齿轮4中至少一部作适当旋转，从而进行工件表面研磨的研磨机等。在这种表面研磨装置中，当研磨薄板状的工件20，例如半导体晶片、液晶板基板、水晶晶片等时，通常采用由轧制加工而形成的碳素工具钢等构成的薄板状研磨用托架。图12中表示的具有圆形的工件保持孔的托架为研磨用托架10的一例。
在这种研磨用托架10中形成有由用于保持工件20的圆形或方形的开口部构成的工件保持孔12。由于新品的研磨用托架存在因加工过程而引起的波浪，所以在研磨加工之前要在不将工件插入工件保持孔中的状态下在研磨装置上进行磨合(以下简称“托架摩擦”)。当通过这种托架摩擦而可获得一定的平坦性并达到所希望的厚度时，才可开始将工件20插入工件保持孔12中进行研磨加工。
研磨用托架10的厚度通常是比工件20最后的精加工厚度稍薄地形成的，但如图11所示，当工件20很薄时，研磨用托架10的厚度也随之变薄，有时会达到100μm以下。这种非常薄的研磨用托架10容易变形，而且由于研磨用托架10的板面上形成有工件保持孔12而刚性进一步降低或刚性的平衡被破坏，因此如图10中点划线所示，研磨加工时容易因应力而在托架上产生变形(波浪)。因此，以往为了在提高较薄的研磨用托架10的刚性的同时也提高板面上的刚性平衡，如图13所示，有时在研磨用托架10’的板面上未形成工件保持孔12的部分上形成一个或多个工艺孔13。
但是，即使在已形成了上述工艺孔13的情况下，当由于持续进行研磨加工而研磨用托架10逐渐变薄时，将在整个托架板面上出现条纹状图案。这种条纹状图案是同沿着与轧制方向垂直的方向形成的波浪相对应的。在产生这种波浪的情况下，由于工件保持孔12的开口边缘部也变形，所以工件保持孔12附近的托架的板面与上平台或下平台相接触，使工件表面的研磨精度(平坦性)恶化，另外，还有可能导致工件20从工件保持孔12中飞出而损坏，同时因其碎片而使研磨中的所有工件20成为不合格品的重大事故。
特别是，由于研磨用托架一般是通过轧制钢板而形成的，所以在与轧制方向垂直的方向上产生波浪状变形，上述条纹状图案也沿轧制方向延伸。因此，在具有与轧制方向大致平行的边的方形工件保持孔的研磨用托架的情况下，存在工件保持孔的一边侧的开口边缘部将向上或向下产生翘尾，工件更容易飞出的问题。
另一方面，随着近年来电子仪器技术的发展，半导体晶片、液晶板基板、水晶晶片等薄板状材料的厚度越来越薄，而且还要求高精度的表面研磨，所以上述问题非常突出。特别是由于电子仪器、信息仪器中时钟频率的提高很快，为了提高振荡频率，也加速了水晶振荡片的薄型化。
本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种在采用具备工件保持孔的研磨用托架进行表面研磨的情况下，可无障碍地对非常薄的工件进行研磨，同时减少因托架的变形而引起的加工精度降低或工件破损等事故的技术。
发明的公开为解决上述问题，权利要求1的发明所述的装置为一种由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，其特征在于在上述工件保持孔之外的板面上设置有排列了由小开口构成的网眼的网眼区域。通过形成网眼区域，可吸收、分散研磨用托架在研磨中承受的应力，同时可确保研磨用托架的刚性并使刚性均匀，因此即使在对应于薄工件而采用厚度较薄的研磨用托架的情况下板面也不易产生波浪等变形，可降低因材料本身的机械特性或在板面上形成的工件保持孔所引起的变形，所以可无障碍地研磨加工很薄的工件，同时可防止工件的飞出或加工精度恶化。
为解决上述问题，权利要求3的发明所述的装置为一种由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，其特征在于在上述工件保持孔之外的板面上设置排列了由小开口构成的网眼的网眼区域，同时在上述工件保持孔以外及上述网眼区域以外的板面上设置有开口。通过除了网眼区域还形成开口，可吸收、分散研磨用托架在研磨中承受的应力，同时可确保研磨用托架的刚性并使刚性均匀。因此即使在对应于薄工件而采用厚度较薄的研磨用托架的情况下板面也不易产生波浪等变形，可降低因材料本身的机械特性或在板面上形成的工件保持孔所引起的变形，所以可无障碍地研磨加工很薄的工件，同时可防止工件的飞出或加工精度恶化。
权利要求2或权利要求4的发明为在权利要求1或权利要求3中，上述网眼区域最好是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。通过只以规定宽度避开上述板状材料的外缘部及上述工件保持孔的开口边缘部地形成上述网眼区域，可具有不会无谓地降低托架整体的刚性和用于保持工件的刚性的结构，同时可确保网眼区域所具有的吸收及分散加工应力的作用。
权利要求5的发明为在权利要求1至权利要求4的任一项中，上述网眼最好以蜂窝网状的形态排列在上述板面上。由于网眼是以蜂窝网状的形态、即相邻列网眼之间的网眼位置错开约半个周期的形态或与结晶学所述的六方细密填充的各层内的离子排列相同的形态排列的，可确保网眼区域的机械特性中的等方性，并可有效地分散加工应力，同时使刚性的降低减少到最小限度。
权利要求6的发明为在权利要求1至权利要求4的任一项中，上述网眼最好以蜂窝网状的形态排列在上述板面上，上述网眼区域中存在于上述网眼之间的网线宽度最好大致为一定。由于网线宽度大致为一定，可进一步提高网眼区域的机械特性中的等方性，并可使托架的磨损均匀，有效地分散加工应力。
权利要求7的发明为在权利要求1至权利要求6的任一项中，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料。作为板状材料，最好的是金属材料，而轧制加工是将这种金属材料制成板状的最常见和最经济的方法。在本文所述的各装置中采用碳素工具钢中尤其是被称为弹簧钢的高弹性金属板则在研磨弹性上是最好的。
权利要求8的发明为在权利要求1至权利要求6的任一项中，上述板状材料最好为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述工件保持孔最好大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向最好均与上述特定方向相交叉。由于大致为方形的工件保持孔的边部与轧制加工的方向相交叉，即使在因加工过程而产生波浪的情况下也可抑制工件飞出。另外，在大致为方形的工件保持孔的边部与轧制方向相交叉的结构适用于所有不具备网眼区域的现有结构中具有其它工件保持孔的研磨用托架的情况下是有效的。此时及本权利要求中交叉角的值最好是锐角一侧为10度以上90度以下，在30度以上90度以下则更好。在10度以上的范围内可降低工件的飞出，同时在形成有数个工件保持孔的的情况下也可容易地将数个工件保持孔适当或旋转对称地排列在研磨用托架的板面上。在30度以上的范围内，数个工件保持孔的排列较困难，但可非常有效地降低工件的飞出。
权利要求9的发明为在权利要求1至权利要求6的任一项中，上述板状材料最好为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼最好具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状。由于网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状，可使轧制加工所引起的波浪难以在板面上扩大，因此可降低网眼区域及其周边部的加工所产生的变形。
权利要求10的发明为在权利要求1至权利要求6的任一项中，上述板状材料最好为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼最好具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状，上述工件保持孔最好大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向最好均与上述特定方向相交叉。在这种情况下，可起到上述权利要求7、8、9组合的效果。
权利要求11至权利要求20的发明为一种具有权利要求1至权利要求10所述的各研磨用托架，可对保持在上述工件保持孔内的工件表面进行研磨的表面研磨装置。作为表面研磨装置的结构，最好具备中心配置的恒星齿轮、与恒星齿轮同心配置的环状内齿轮、与恒星齿轮和内齿轮啮合的1个或多个上述研磨用托架，将一对平台对向地配置在研磨用托架的轨道面两侧。
权利要求21至权利要求30的发明为一种表面研磨方法，其特征在于将第1工件保持在权利要求1至权利要求10所述的各研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工，之后，将初始厚度小于上述第1工件的第2工件保持在上述研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工。在对第1工件实施一道或数道研磨加工工序后，研磨用托架因研磨加工而边薄，用该研磨用托架对比第1工件薄的第2工件实施一道或数道研磨加工工序，因此可有效地利用研磨用托架。特别是，本申请的研磨用托架不易因加工应力而变形，而且即使薄型化也不易产生变形，较现有的研磨用托架明显提高了使用寿命，是这种研磨用托架的效率最高、最有效的使用方法。
权利要求31的发明为在权利要求21至权利要求30的任一项中，上述第1工件及第2工件的初始厚度为100μm以下时最有效。本申请的研磨用托架可对现有技术中加工困难的厚度在100μm以下的所有工件无障碍地进行加工。在以下的实施例中所确认的范围内，可无问题地研磨加工至托架的厚度为30μm左右。
附图的简要说明图1为表示本发明的研磨用托架第1实施例的平面形状的俯视图。
图2为表示采用图1中实施例的研磨用托架的平面研磨装置中大致结构的示意性俯视图。
图3为表示本发明的研磨用托架第2实施例的平面形状的俯视图。
图4为表示图1中实施例的研磨用托架的变形例的示意性俯视图。
图5为表示各实施例中网眼区域的平面形状的放大图。
图6为表示网眼区域的其它变形例的放大图。
图7为表示网眼区域的其它变形例的放大图。
图8为表示网眼区域的其他变形例的放大图。
图9为表示研磨用托架的工件保持孔的形状及姿势的说明图。
图10为表示采用研磨用托架进行研磨的状态的概略剖视图。
图11为表示研磨用托架变薄时研磨状态的概略剖视图。
图12为表示现有的研磨用托架的平面形状的俯视图。
图13为表示现有的其它研磨用托架的平面形状的俯视图。
实施发明的最佳方式以下，参照附图对本发明的研磨用托架、表面研磨装置及表面研磨方法的最佳实施例加以说明。
图1为表示本发明的研磨用托架第1实施例的俯视图。这种研磨用托架100具有与现有的研磨用托架同样的外齿101和工件保持孔102。在第1实施例中，工件保持孔102为与图中未示出的工件形状相配合的倒角正方形等大致的方形。在板面上形成有分别配置在上述工件保持孔102之间的共计4个网眼区域103。为了以规定宽度避开形成有外齿101的外缘部或工件保持孔102的开口边缘部，这些网眼区域103在其内侧上分别形成适当的形状。
网眼区域103的网眼(小开口)的直径或形状，以及残留在网眼之间、相当于板面的网线宽度是适当形成的，在第1实施例中，相对于以被称为碳素工具钢的高碳钢SK2、SK3、SK4等高弹性的厚度为50～60μm(托架摩擦前的厚度)的金属板为材料，托架外径为10cm、工件保持孔中对向边之间的距离约为35mm的托架而言，为网眼的直径约为0．8mm、网眼的形状为圆形的托架，网线的宽度在最小处约为0．2mm。这种网眼区域103的网眼及网线的形状或排列示于图5。在此，网眼的直径最好为研磨用托架的厚度(托架摩擦前的厚度)的5～15倍，以10倍左右为好。网线的宽度最好为托架外径的0．1～2．0％，以0．4～0．6％左右为好。这一范围是通过兼顾网眼区域的应力吸收性和刚性而决定的。
图2为表示采用上述研磨用托架组装成被称为平面研磨机的平面研磨装置的概略俯视图。在此，上平台1由点划线表示。研磨用托架100的外齿101通过可绕中心旋转地配置的恒星齿轮3和与恒星齿轮3同心配置的环状内齿轮4从内外相啮合。在图示的例中，恒星齿轮3和内齿轮4之间以等角度间隔配置有数个研磨用托架100。研磨用托架100作为行星齿轮而通过恒星齿轮3和内齿轮4的旋转中的至少一种进行适当的行星运动。另外，通过向上平台1和下平台2之间供给包含由氧化铝之外的陶瓷粒组成的磨料，使上平台1和下平台2中至少一方旋转，可对保持在研磨用托架100的工件保持孔102中的工件(图中未示出)实施各种复杂的研磨运动。
图3为表示本发明的研磨用托架第2实施例的俯视图。这种研磨用托架200也与现有的研磨用托架同样地具备有外齿201和工件保持孔202。在第2实施例中，工件保持孔202为与图中未示出的工件形状相配合的倒角正方形等大致的方形。在板面上与第1实施例同样地形成有分别配置在工件保持孔202之间的共计4个网眼区域203，另外，在工件保持孔202和网眼区域203之间、工件保持孔202或网眼区域203和外齿201之间形成有数个开口204。这些网眼区域203和开口204在其内侧分别形成适当的形状，以便以规定的宽度避开形成有外齿201的外缘部或工件保持孔202的开口边缘部。
网眼区域203的网眼(小开口)的直径或形状，以及残留在网眼之间、相当于板面的网线宽度是与第1实施例同样地适当形成的。在从形成了工件保持孔202、网眼区域203和外齿201的外缘部或工件保持孔202的开口边缘部起一定的宽度之外的板面上尽可能多地形成开口204。第2实施例中，在工件保持孔202和网眼区域203之间形成比较大的圆形开口204a和比较小的圆形开口204b，在工件保持孔202或网眼区域203和外齿201之间形成大致为平行四边形的开口204c。在此，外齿201附近的开口204c的形状大致为平行四边形的理由如下。即，由于外齿201上施加的力为相对于径向倾斜地动作，所以该力由开口204c的斜边承受而被分散的缘故。另外，还由于在平面研磨装置的下平台上设置有放射状的槽，开口204c的边缘平行地进入槽中时有可能受损，所以使开口204c的边缘倾斜地进入槽中以防止开口204c损伤的缘故。
在第1实施例中，通过在研磨用托架100的板面中形成工件保持孔102的部位以外处形成有网眼区域103，而且，在第2实施例中，还在研磨用托架200的板面中形成工件保持孔202和网眼区域203的部位以外处形成有开口204，所以即使当研磨用托架100、200变得很薄时，也不易发生现有的这种波浪或挠曲。例如，在将托架直径或材质设定成相同的情况下，在现有技术中，当随着研磨操作的进行，托架的厚度逐渐变薄至100～60μm左右时，将产生条纹状图案，形成清晰的波浪，并发生工件飞出的事故，而在本实施例中，即使变薄至50～35μm，条纹状图案也很薄，并未发生工件飞出的事故。
虽然这一理由并不很明确，但可认为是在研磨时研磨用托架100或研磨用托架200上施加的应力可由网眼区域103或网眼区域203以及开口204所吸收、分散，同时，与现有的工艺孔不同，可降低、缓解研磨用托架100或研磨用托架200的应力吸收或应力分散的不均匀性，以及通过网眼区域103或网眼区域203以及开口204而不使研磨用托架100或研磨用托架200自身的刚性过于降低地增加柔软性的原因。
而且，在使用经轧制加工而形成的高碳钢的板材制成的新品的研磨用托架的情况下，虽然为了使最初的托架板面上的波浪或凹凸平坦化，要对上述托架进行摩擦，但在以往，例如对于新品的厚度为100μm，实际的研磨开始时的厚度为70μm的托架来说，必须进行30μm左右的托架摩擦才可获得充分的平坦性，因此要进行3小时以上的托架摩擦，而在本实施例中，对于新品的厚度为60μm，实际的研磨开始时的厚度为50μm的托架来说，进行10μm左右的托架摩擦即可获得充分的平坦性，在第1实施例中，托架摩擦所需要的时间缩短至1小时左右，在第2实施例中，托架摩擦所需要的时间缩短至30分钟左右。
接着，对厚度为55μm的水晶振荡片进行研磨加工，并调查了研磨时的托架耐久性。最初，使图13所示的现有的研磨用托架的初始厚度为50μm，开始研磨加工。其结果，在研磨加工时间在2小时之内可进行良好的研磨，但从第3小时开始出现条纹状图案，而在第4小时则成为不能使用程度的条纹状图案，因此进行了更换。另一方面，采用初始厚度为40μm的本实施例的研磨用托架100、200，开始研磨加工。虽然在中途对研磨托架重新进行了托架摩擦，但从研磨开始经过15小时后仍可进行良好的研磨加工。虽然在这一时刻研磨托架的厚度已成为35μm左右，但并未出现成为问题的条纹状图案。虽然还可持续进行研磨，但因托架的厚度已小于上述水晶振荡片的厚度而中止。而且，在这之后，仍可由同一托架再次对更薄的水晶振荡片(例如精加工厚度为40μm的水晶振荡片)进行研磨加工。
本实施例的研磨用托架即使薄到以往所不能的区域仍可继续加工，而不会导致工件的飞出或加工精度的降低，通过提高耐久性而可实现降低托架的更换频率和托架数量，所以非常适用于水晶振子的高频率化，同时可降低制造成本、提高生产率。特别是，提高托架的耐久性在非常薄的工件(100μm以下)的研磨加工中，通过用一片研磨用托架对多种厚度不同的工件进行从厚到薄的顺序研磨(轮流使用)而具有特殊的效果。通过这种效果，可将本实施例的托架相对于现有托架的寿命提高5倍至15倍。
另外，由于本实施例的研磨用托架与现有的研磨用托架相比只增加很少的单价即可(例如，相对于制造成本的10％以下)，所以通过提高其寿命可大幅度降低总成本。
以下，对第1实施例的变形例加以说明。上述第1实施例的研磨用托架100在托架板面的外缘部和工件保持孔的开口边缘部设定有一定宽度的框状区域，在该框状区域内不形成网眼区域103，但可如图4所示，在托架板面的外缘部和工件保持孔102的开口边缘部设定宽度稍小的框状区域104、105，一体并遍布托架板面中工件保持孔102之外的大致整个区域内形成网眼区域106。即使这样也可通过网眼区域106而确保一定的刚性，相对于变形应力的对应性增大，因而可避免托架整体的变形或产生波浪。在这种情况下，最好采用被称为弹簧钢等弹性优良的材料。另外，本变形例也同样可应用于第2实施例的研磨用托架200。
而且，为了确保刚性，网眼区域103、203、106的网眼排列最好为图5所示网眼区域1030那样的蜂窝网状。但是，在这种情况下，由于网眼1031之间形成的网线1032具有1032a、1032b所示的宽度较窄和宽度较宽的部分，所以网线1032中网线宽度较窄的部分上容易产生应力集中。因此，网眼区域106中各自的网眼形状也最好为图6所示的网眼区域1040那样的蜂窝网状。图6所示的网眼区域1040由于网眼1041的排列和形状双方构成蜂窝网状，所以刚性高，而且不会使变形应力集中在图中箭头所示的局部而是均等地分散。特别是，网眼1041之间存在的网线1042形成如1042a、1042b所示的始终为大致相等的宽度，所以可有效地使应力分散。
图7所示的网眼区域1050具有正方形的网眼1051和连接成相互正交的形状的网线1052。这种网眼区域1050也是将网眼1051排列成蜂窝网状，但由于各网眼1051的形状为正方形，网线1052弯曲成直角，所以应力容易集中在角部，与图6所示的网眼区域1040相比，其刚性、应力吸收性、应力分散性稍差。
另外，上述各网眼区域均具备蜂窝网状的网眼排列，但也不一定必须这样排列，例如，可分别在格子图案的交点位置上配置网眼，还可以其它任意的排列形成。而且，网眼形状也可任意。
以下，参照图8对采用轧制加工制成的板状材料形成研磨用托架时合适的变形例加以说明。上述各实施例是以高碳钢的SK2、SK3、SK4等经轧制加工而成的板材为基础，通过冲压加工而成形出外形和工件保持孔，然后通过采用光刻法的选择性蚀刻处理等形成图8所示的网眼区域1060。在此，冲压出外形后也可用与形成网眼区域同样的方法形成工件保持孔和／或外齿。这样形成的研磨用托架如图8所示，将图中左右方向作为轧制方向PF。有时在实施了轧制加工的板状材料的表面上残留有沿轧制方向PF延伸的细微的伤痕，而且，为了消除这种伤痕，有时要进行喷砂等表面处理。但是，虽然进行表面处理表面伤痕可消除，但仍维持了内部组织中相对于轧制方向的方向性，相对于波浪变形的特性并未改变。
在这种变形例中，使网眼区域1060的网眼1061为沿与上述轧制方向PF正交的方向延长的形状。即，网眼1061在轧制方向上的宽度较窄，在与轧制方向正交的方向上的宽度较宽。通过这样形成，在沿与轧制方向正交的方向上形成的波浪及使波浪形成的应力难以在网眼区域1060内扩大，抑制了在网眼区域1060以及周边中产生波浪。具体地说，在图8所示的六角形网眼1061的情况下，使网眼的边1061b为边1061a的2倍以上是有效的。在其它的情况下，通常与轧制方向正交的方向上的宽度最好为网眼的轧制方向的宽度的2倍以上。
另外，在上述变形例中，网眼1061为沿与轧制方向正交的方向延长的形状，但作为可获得同样效果的结构，也可考虑在与轧制方向正交的方向上宽度窄的结构、即在与轧制方向正交的方向上网眼的间隔小。
在与上述同样地沿特定方向具有轧制方向的研磨用托架中，在工件保持孔形成为大致的方形，例如大致的三角形、大致的四方形和大致的五角形等的情况下，最好为轧制方向和工件保持孔的整个边相互交叉、即不平行的结构。这是因为由于在上述与轧制方向PF正交的方向上容易产生波浪，在图9所示的工件保持孔1021的边1021a及1021b中与轧制方向PF平行的边1021a有可能因波浪W而在与板面垂直的方向的任一方整体弯曲，而当产生这种弯曲时，则如图11中点划线所示，工件容易飞出的缘故。而在象工件保持孔1022那样4个边1022a、1022b中任一边均具有相对于轧制方向PF的交叉角θ和φ的情况下，边1022a和1022a中任一边中均在与延长方向上出现波浪W的谷和峰，因此，即使产生波浪W，工件也不会受到在边上出现的波浪W的谷或峰的妨碍，降低了工件飞出的可能性。
上述工件保持孔的边和轧制方向的交叉角最好为10度以上，在30度以上则更好。当工件保持孔中存在交叉角不到10度的边时，三片三片收容有工件的研磨托架100片中约有30片以上发生工件飞出。在交叉角全部为10度以上30度以下时，工件的飞出降低到100片中的10片以下，而当使交叉角全部为30度以上时，未发生工件的飞出。另外，这些数据均为未形成网眼区域的研磨用托架上产生条纹状图案时的数据。由于在具有网眼区域的托架中不易产生波浪，所以其效果更佳。
另外，在本申请中，上述大致方形包括倒角方形或倒圆方形，只要是一边中有一部分为直线状即可。
作为具有网眼区域的研磨用托架的制造方法，除了上述的选择性蚀刻的方法之外，也可通过喷镀法、电铸法和汽相淀积法而直接选择性地形成托架。
如上所述，根据本发明，通过形成网眼区域及开口，可吸收、分散研磨用托架在研磨中承受的应力，同时可确保研磨用托架的刚性并增加柔性。因此即使在对应于薄工件而采用厚度较薄的研磨用托架的情况下也不易产生板面的波浪等变形，可降低因材料本身的机械特性或在板面上形成的工件保持孔所引起的变形，所以可无障碍地研磨加工很薄的工件，同时可防止工件的飞出或加工精度恶化。
工业上应用的可能性本发明适用于在研磨薄板状工件时作为研磨用托架、表面研磨装置及板面研磨方法使用。
权利要求
1．一种研磨用托架，由板面上具有工件保持孔的板状材料构成，用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨，其特征在于在上述工件保持孔之外的板面上设置有排列了由小开口构成的网眼的网眼区域。
2．根据权利要求1所述的研磨用托架，上述网眼区域是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
3．一种研磨用托架，由板面上具有工件保持孔的板状材料构成，用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨，其特征在于在上述工件保持孔之外的板面上设置排列了由小开口构成的网眼的网眼区域，同时在上述工件保持孔以外及上述网眼区域以外的板面上设置有开口。
4．根据权利要求3所述的研磨用托架，上述网眼区域及上述开口是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
5．根据权利要求1至4中任一项所述的研磨用托架，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上。
6．根据权利要求1至4中任一项所述的研磨用托架，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上，上述网眼区域中存在于上述网眼之间的网线宽度大致为一定。
7．根据权利要求1至6中任一项所述的研磨用托架，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料。
8．根据权利要求1至6中任一项所述的研磨用托架，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
9．根据权利要求1至6中任一项所述的研磨用托架，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状。
10．根据权利要求1至6中任一项所述的研磨用托架，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
11．一种表面研磨装置，包括由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，其特征在于在上述工件保持孔以外的板面上设置有排列了由小开口构成的网眼区域。
12．根据权利要求11所述的表面研磨装置，上述网眼区域是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
13．一种表面研磨装置，包括由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，其特征在于在上述工件保持孔以外的板面上设置排列了由小开口构成的网眼区域，同时在上述工件保持孔以外及上述网眼区域以外的板面上设置有开口。
14．根据权利要求13所述的表面研磨装置，上述网眼区域及上述开口是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
15．根据权利要求11至14中任一项所述的表面研磨装置，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上。
16．根据权利要求11至14中任一项所述的表面研磨装置，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上，上述网眼区域中存在于上述网眼之间的网线宽度大致为一定。
17．根据权利要求11至16中任一项所述的表面研磨装置，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料。
18．根据权利要求11至16中任一项所述的表面研磨装置，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
19．根据权利要求11至16中任一项所述的表面研磨装置，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状。
20．根据权利要求11至16中任一项所述的表面研磨装置，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
21．一种表面研磨方法，其特征在于将第1工件保持在研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工，之后，将初始厚度小于上述第1工件的第2工件保持在上述研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工，其中，上述研磨用托架为由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，并在上述工件保持孔以外的板面上设置有排列了由小开口构成的网眼区域。
22．根据权利要求21所述的表面研磨方法，上述网眼区域是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
23．一种表面研磨方法，其特征在于将第1工件保持在研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工，之后，将初始厚度小于上述第1工件的第2工件保持在上述研磨用托架上，对工件表面进行研磨加工，其中，上述研磨用托架为由板面上具有工件保持孔的板状材料构成、用于在工件保持在上述工件保持孔内的状态下对工件表面进行研磨的研磨用托架，并在上述工件保持孔以外的板面上设置排列了由小开口构成的网眼区域，同时在上述工件保持孔以外及上述网眼区域以外的板面上设置有开口。
24．根据权利要求23所述的表面研磨方法，上述网眼区域及上述开口是只以规定宽度避开上述板状材料的外缘及上述工件保持孔的开口边缘部地形成的。
25．根据权利要求21至24中任一项所述的表面研磨方法，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上。
26．根据权利要求21至24中任一项所述的表面研磨方法，上述网眼以蜂窝网状的形态排列在上述板面上，上述网眼区域中存在于上述网眼之间的网线宽度大致为一定。
27．根据权利要求21至26中任一项所述的表面研磨方法，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料。
28．根据权利要求21至26中任一项所述的表面研磨方法，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
29．根据权利要求21至26中任一项所述的表面研磨方法，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状。
30．根据权利要求21至26中任一项所述的表面研磨方法，上述板状材料为沿特定方向轧制加工的轧制材料，上述网眼具有沿与上述特定方向大致正交的方向延长的形状，上述工件保持孔大致为方形，上述工件保持孔的开口边缘部中各边部的延长方向均与上述特定方向相交叉。
31．根据权利要求21至30中任一项所述的表面研磨方法，上述第1工件及第2工件的初始厚度为100μm以下。
全文摘要
本发明提供这样一种技术,在板面上形成分别配置在工件保持孔102之间、共计4个网眼区域103。这种网眼区域103是为了以规定宽度避开形成有外齿101的外缘部或工件保持孔102的开口边缘部而在其内侧分别形成适当的形状。因此,在采用具备工件保持孔的研磨用托架进行表面研磨的情况下,可无障碍地对很薄的工件进行研磨,同时可减少因托架变形所引起的加工精度降低或工件损伤等事故。
文档编号B24B37/04GK1290202SQ99802877
公开日2001年4月4日 申请日期1999年8月4日 优先权日1998年12月14日
发明者河手隆志 申请人:精工爱普生株式会社