用于化学气相沉积装置的防跳电结构的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构，所述化学气相沉积装置包括控制单元与通过RF接地导线接地的加热部件，所述加热部件与交流回路相连，所述控制单元具有内连锁回路，所述交流回路上配置有热感应器，该热感应器还与所述内连锁回路相连，RF信号在所述RF接地导线断路后进入所述交流回路并引起所述交流回路的温度变化，所述热感应器根据该温度变化控制所述内联锁回路的通断。本发明采用热感应器来感应RF接地导线异常时交流回路导线产生的热信号，并通过内联锁回路控制化学气相沉积装置，结构简单，可以及时发现RF接地导线故障；采用本发明可以简化化学气相沉积装置的保养检修流程，降低生产成本，提高保养效率。
【专利说明】
用于化学气相沉积装置的防跳电结构
技术领域
[0001]本发明涉及化学气相沉积装置，具体地说是一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构。
【背景技术】
[0002]化学气相沉积(CVD，Chemical Vapor Deposit1n)，是指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。在超大规模集成电路中，很多薄膜都是采用CVD方法制备。
[0003]如图1所示，是一种通过射频(RF)来实现Si02的生成反应的化学气相沉积装置。当RF通过射频发生器I产生，通过匹配网2、配电网3和喷头5到达加热部件7后，会通过与加热部件7相连的一段导线从电容器9接地，图中序号6为被处理的晶圆，序号4表示气源通道。因为加热部件7会产生高达400°C的高温，会致使接地导线老化而导致接触不良，在此情况下，RF会穿透加热部件7进入交流回路8，进而导致化学气相沉积装置跳电甚至交流回路8的电源线烧毁。
[0004]现有技术中，为了防止产生上述故障，采取的应对措施是对加热部件7接地端导线进行定期测量及更换。这种措施存在以下缺点:1、增加了保养内容，影响了保养效率；2、更换备件，提高了生产成本；3、对于突然发生的异常无法及时发现。
【发明内容】
[0005]本发明针对上述问题，提供一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构，该结构可及时发现异常，提高保养效率，降低生产成本。
[0006]按照本发明的技术方案:一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构，所述化学气相沉积装置包括控制单元与通过RF接地导线接地的加热部件，所述加热部件与交流回路相连，所述控制单元具有内连锁回路，所述交流回路上配置有热感应器，该热感应器还与所述内连锁回路相连，RF信号在所述RF接地导线断路后进入所述交流回路并引起所述交流回路的温度变化，所述热感应器根据该温度变化控制所述内联锁回路的通断。
[0007]所述交流回路的温度高于预设温度时，所述热感应器控制所述内联锁回路断开。
[0008]所述热感应器采用热感开关。
[0009]所述热感开关为两个串联连接的热感开关。
[0010]所述控制单元上连接有报警单元，当所述内联锁回路断开时，所述报警单元发出警报。
[0011]所述报警单元采用声音和/或光报警。
[0012]本发明的技术效果在于:本发明采用热感应器来感应RF接地导线异常，RF信号进入交流回路时，交流回路的导线产生热信号，热感应器根据该热信号控制内联锁回路的通断，最终控制化学气相沉积装置的运行，结构简单，可以及时发现RF接地导线故障；采用本发明可以简化化学气相沉积装置的保养检修流程，降低生产成本，提高保养效率。
【附图说明】
[0013]图1为现有技术中的一种化学气相沉积装置的结构示意图。
[0014]图2为本发明的结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明。
[0016]如图2所示，本发明是一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构。
[0017]所述化学气相沉积装置包括加热部件7与控制单元，所述控制单元控制所述化学气相沉积装置的运行，控制单元为现有技术，图2中未示出。加热部件7与交流回路8相连，交流回路8为加热部件7供电。加热部件7上还安装有RF接地导线12，用以使RF信号接地。
[0018]本发明在加热部件7的交流回路8的导线上配置有热感应器11，热感应器11与控制单元的内联锁回路10相连；当RF接地导线12出现导常而断路时，RF信号进入交流回路8使交流回路8的导线发热。当热感应器11检测到的导线温度高于预设温度时，断开内联锁回路10。内联锁回路10断开后将断开信号反馈给控制单元，控制单元控制化学气相沉积装置自动停止输出RF信号。内联锁回路10采用常规技术。
[0019]热感应器11的一个实施例是采用热感开关，当交流回路8的导线发热时，热感开关跳开，从而使内联锁回路10断开。热感开关最好设置有两个，串联连接。
[0020]控制单元上还连接有报警单元，报警单元采用声音和/或光报警。当内联锁回路10断开时，报警单元发出警报，可以使得操作人员及时发现化学气相沉积装置的异常并进行相关的处理动作。
[0021]本发明可以及时发现RF接地导线异常，减少化学气相沉积装置的操作风险。采用本发明，可以简化化学气相沉积装置的保养检修流程，降低生产成本，提高保养效率。
[0022]上文对本发明进行了足够详细的具有一定特殊性的描述。所属领域内的普通技术人员应该理解，实施例中的描述仅仅是示例性的，在不偏离本发明的真实精神和范围的前提下做出所有改变都应该属于本发明的保护范围。本发明所要求保护的范围是由所述的权利要求书进行限定的，而不是由实施例中的上述描述来限定的。
【主权项】
1.一种用于化学气相沉积装置的防跳电结构，所述化学气相沉积装置包括控制单元与通过RF接地导线接地的加热部件，所述加热部件与交流回路相连，所述控制单元具有内连锁回路，其特征是:所述交流回路上配置有热感应器，该热感应器还与所述内连锁回路相连，RF信号在所述RF接地导线断路后进入所述交流回路并引起所述交流回路的温度变化，所述热感应器根据该温度变化控制所述内联锁回路的通断。2.按照权利要求1所述的用于化学气相沉积装置的防跳电结构，其特征是:所述的所述热感应器根据该温度变化控制内联锁回路的通断，具体为，所述交流回路的温度高于预设温度时，所述热感应器控制所述内联锁回路断开。3.按照权利要求1所述的用于化学气相沉积装置的防跳电结构，其特征是:所述热感应器采用热感开关。4.按照权利要求3所述的用于化学气相沉积装置的防跳电结构，其特征是:所述热感开关为两个串联连接的热感开关。5.按照权利要求1所述的用于化学气相沉积装置的防跳电结构，其特征是:所述控制单元上连接有报警单元，当所述内联锁回路断开时，所述报警单元发出警报。6.按照权利要求5所述的用于化学气相沉积装置的防跳电结构，其特征是:所述报警单元采用声音和/或光报警。
【文档编号】C23C16/44GK105839073SQ201510017446
【公开日】2016年8月10日
【申请日】2015年1月13日
【发明人】吴浩
【申请人】无锡华润上华科技有限公司