2内加入lmol/L的氢氧化钠溶液待用，通过数字控制器4设置抛光液的pH值为9.25，上限值和下限值分别为9.3和9.2，密度上限值和下限值分别为1.17g/cm3和1.llg/cm3，过滤部件中与所述进液口 111连通的管道上的过滤器使用孔径为25um的过滤芯，回流管道15上的过滤器使用孔径为SOum的过滤芯，在双面抛光机上完成抛光过程。
[0041]按照CMP工艺结合本实施例1的抛光液桶所获得的蓝宝石触摸面板的参数如下:平均移除量2.2um/H，一次合格率87%以上，面板的Ra小于0.5nm，平整度5um以内，强度测试平均值大于5000N，满足生产需求。
[0042]循环第二磨，加入新抛光液和DIW分别为2L:4L，采用同样的加工参数，在碱液存储装置22内加入lmol/L的氢氧化钠溶液待用，设置抛光液的pH为9.25，上限值和下限值分别为9.3和9.2，密度上限值和下限值分别为1.17g/cm3和1.llg/cm3。蓝宝石触摸面板的参数如下:平均移除量1.8um/H，一次合格率87%左右，面板的Ra小于0.5nm，平整度5um以内，强度测试平均值大于5000N，满足生产需求。
[0043]方案二:
[0044]用100纳米S12抛光液，抛光盘采用无纺布抛光垫粘于上下抛光盘上，下盘转速控制在40-50rpm之间，压力控制在550_600kg之间，温度控制在38°C，抛光时间为3小时，抛光液和DIW的用量5L:10L，在碱液存储装置22内加入lmol/L的氢氧化钠溶液待用，设置抛光液的PH为9.5，上限值和下限值分别为9.45和9.55，密度的上限值和下限值分别为
1.15g/cm3和1.08g/cm3，过滤部件中与所述进液口 111连通的管道上的过滤器使用孔径为25um的过滤芯，回流管道15上的过滤器使用孔径为SOum的过滤芯，在双面抛光机上完成抛光过程。
[0045]按照CMP工艺结合本实施例1的抛光液桶获得的蓝宝石触摸面板的参数如下:平均移除量2.8um/H，一次合格率87%以上，面板的Ra小于0.5nm，平整度5um以内，强度测试平均值大于5000N，满足生产需求。
[0046]循环第二磨，加入新抛光液和DIW分别为2L:4L，采用同样的加工参数，在碱液存储装置22内加入lmol/L的氢氧化钠溶液待用，设置抛光液的pH为9.5，上限值和下限值分别为9.45和9.55，密度的上限值和下限值分别为1.15g/cm3和1.08g/cm3。蓝宝石触摸面板的参数如下:平均移除量2.5um/H，一次合格率87%左右，面板的Ra小于0.5nm，平整度5um以内，强度测试平均值大于5000N，满足生产需求。
[0047]总体来说，本新型抛光液桶能有效提高抛光液的利用效率，抛光液用量减少到33% -40%，加工时间缩短25%以上，制备的大尺寸蓝宝石触摸面板机械加工损伤层基本消除，表面精度高、平整度5微米以内、粗糙度0.5nm以下。
[0048]以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种新型抛光液桶，其特征在于：包括桶体（I)、pH值监控补偿部件以及浓度监控补偿部件； 所述桶体（I)包括圆柱形外壳（11)以及设置在所述圆柱形外壳（11)内部的内胆(12)，所述圆柱形外壳（11)与所述内胆（12)之间形成通道（13)，所述通道（13)的进口和出口均位于所述圆柱形外壳（11)的中上部；所述内胆（12)上设有进液口（111)以及出液口（112)，所述进液口（111)与所述内胆（12)的内腔的上部连通，所述出液口（112)与所述内胆（12)的内腔的下部连通，且所述出液口（112)通过回流泵（14)以及回流管道（15)与所述内胆（12)的内腔的上部连通； 所述PH值监控补偿部件包括pH值感应探头（21)、碱液存储装置（22)以及第一调节开关（23)，所述pH值感应探头（21)设置在所述内胆（12)的内腔的下部内，所述碱液存储装置（22)通过第一管路（24)与所述内胆（12)的内腔连通，所述第一调节开关（23)设置在所述第一管路（24)上； 所述浓度监控补偿部件包括浓度感应探头（31)、抛光液存储装置（32)以及第二调节开关（33)，所述浓度感应探头（31)设置在所述内胆（12)的内腔的下部内，所述抛光液存储装置（32)通过第二管路（34)与所述内胆（12)的内腔连通，所述第二调节开关（33)设置在所述第二管路（34)上。
2.根据权利要求I所述的新型抛光液桶，其特征在于：所述pH值感应探头（21)为TONGKA PH305 ;所述浓度感应探头（31)为TQ-886振动式密度计，其测量范围为0-3g/cm3，其测量精度为O.Olg/cm3;所述第一调节开关（23)为PH自动补偿泵，所述第二调节开关(33)为密度自动补偿泵。
3.根据权利要求1-2任意一项所述的新型抛光液桶，其特征在于：还包括数字控制器(4)，所述回流泵（14)、pH值感应探头（21)、第一调节开关（23)、浓度感应探头（31)以及第二调节开关（33)均与所述数字控制器（4)连接。
4.根据权利要求3所述的新型抛光液桶，其特征在于：所述数字控制器（4)上设有显示屏（41)、报警指示灯（42)以及用于设定参数的键盘（43)。
5.根据权利要求3所述的新型抛光液桶，其特征在于：还包括温度监控补偿部件，所述温度监控补偿部件包括温度传感器（51)以及冷热介质循环管（52)，所述温度传感器（51)设置在所述内胆（12)的内腔的下部内，所述冷热介质循环管（52)包括第一组单管（521)以及第二组单管（522)，所述第一组单管（521)的入口端与外界冷热介质储存器连通，其出口端与所述通道（13)的进口端连通，且所述第一组单管（521)上设有热介质流通阀门(523)以及冷介质流通阀门（524);所述第二组单管（522)的入口端与所述通道（13)的出口端连通，其出口端与外界冷热介质储存器连通；所述温度传感器（51)、热介质流通阀门(523)以及冷介质流通阀门（524)均与所述数字控制器（4)连接。
6.根据权利要求5所述的新型抛光液桶，其特征在于：还包括过滤部件，所述过滤部件包括两组过滤器（61)，一组所述过滤器￠1)设置在与所述进液口（111)连通的管道上，另一组所述过滤器￠1)设置在与所述回流管道（15)连通的管道上，且位于所述出液口（112)与所述回流泵（14)之间。
7.根据权利要求6所述的新型抛光液桶，其特征在于：设置在与所述进液口（111)连通的管道上的所述过滤器￠1)的过滤芯的孔径为25um，设置在与所述回流管道（15)连通 的管道上的所述过滤器（61)的过滤芯的孔径为80um。
【专利摘要】本实用新型提供一种新型抛光液桶，包括桶体、pH值监控补偿部件和浓度监控补偿部件；桶体包括内胆；pH值监控补偿部件包括pH值感应探头、碱液存储装置和调节开关，pH值感应探头设置在内胆的内腔内，碱液存储装置通过调节开关与内胆的内腔连通；浓度监控补偿部件包括浓度感应探头、抛光液存储装置和调节开关，浓度感应探头设置在内胆的内腔内，抛光液存储装置通过调节开关与内胆的内腔连通。本实用新型整体结构精简；通过pH值监控补偿部件既可实时监控抛光液的pH值，又能调节抛光液溶胶的表面电荷，提高抛光液的利用率；通过浓度监控补偿部件，既可以实时监控抛光液的浓度，又能确保抛光液中纳米级别溶胶粒子的浓度，提高抛光效率。
【IPC分类】B24B57-02, B01D36-02
【公开号】CN204431065
【申请号】CN201420766095
【发明人】周群飞, 饶桥兵, 文彪
【申请人】蓝思科技股份有限公司
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2014年12月8日