一种可调节的镀膜修正板的制作方法
【专利摘要】一种可调节的镀膜修正板，包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆。所述修正板一端与直角螺杆一端连接，直角螺杆另一端安装在钢板带A上，所述钢板带A一端与钢板带B垂直连接，所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。本实用新型结构简单、制作方便，可针对不同型号的元件进行镀膜修正，降低了生产成本，提高了工作效率、产品合格率。
【专利说明】
一种可调节的镀膜修正板
技术领域
[0001]本实用新型涉及镀膜装置，尤其涉及一种可调节的镀膜修正板。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜中，蒸镀源(靶材)正上方的蒸发物浓度最高，导致镀膜基板上的薄膜厚度从中间到边缘出现不一致的现象。目前厚度均匀的薄膜获得，通常是通过基板旋转架和膜厚修正板来解决。在镀膜基板架与蒸镀源之间设置一修正板，通过修正板来遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正上方基板玻璃膜层的厚度。但由于现在的膜厚修正板通常都是固定装在基板旋转架的下方，无法改变修正板的转角，因此，存在的浪费镀膜材料大、产品质量差的缺陷。现有技术中，由于修正板具有固定的形状和结构，因此，一旦改变了镀膜仓中的待镀膜产品，就需要另行制造、安装修正板，如此不但提高了生产成本，而且降低了生产效率，不利于工业生产的进行。
【实用新型内容】
[0003]为了解决现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单、操作方便和可调节的镀膜修正板。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采取如下技术方案:
[0005]—种可调节的镀膜修正板，其特征在于:包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆。所述修正板一端与直角螺杆一端连接，直角螺杆另一端安装在钢板带A上，所述钢板带A—端与钢板带B垂直连接，所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。
[0006]所述钢板带A和钢板带B中间均开有一个矩形洞口。
[0007]所述钢板带A短边一端厚度方向上焊接有转轴，所述转轴长度方向平行于钢板带A长边。
[0008]所述钢板带B短边一端厚度方向上焊有两个螺母，所述两个螺母圆周方向垂直于钢板带B短边。所述钢板带A和钢板带B通过转轴与螺母连接。钢板带B固定不动，转动钢板带A上的转轴，调节修正板与待镀膜基片之间的夹角及钢板带A和钢板带B之间的距离，从而调整修正板对镀膜基件的遮挡面积。
[0009]所述钢板带B安装在镀膜仓内支撑架的螺杆上，所述钢板带B可上下调节，从而调节修正板与待镀膜基板之间的距离，进而调整修正板对镀膜基件的遮挡面积。
[0010]所述修正板短边一端与直角螺杆一端焊接，直角螺杆另一端安装在钢板带A的洞口内，所述直角螺杆可以在钢板带A的洞口内来回移动，当直角螺杆调整至合适位置时，通过螺母对其进行锁紧固定。
[0011]本实用新型结构简单、制作方便，可针对不同型号的元件进行镀膜修正，降低了生产成本，提高了工作效率、产品合格率。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的结构示意图。
[0013]附图中标号说明:1-螺杆，2-钢板带B，3-钢板带B上的洞口，4_螺母，5_转轴，6_钢板带A上的洞口，7-钢板带A，8-螺母，9-直角螺杆，I O-修正板。
【具体实施方式】
[0014]一种可调节的镀膜修正板，包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆。所述修正板一端与直角螺杆一端连接，直角螺杆另一端安装在钢板带A上，所述钢板带A—端与钢板带B垂直连接，所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。
[0015]所述钢板带A和钢板带B中间均开有一个矩形洞口。
[0016]所述钢板带A短边一端厚度方向上焊接有转轴，所述转轴长度方向平行于钢板带A长边。
[0017]所述钢板带B短边一端厚度方向上焊有两个螺母，所述两个螺母圆周方向垂直于钢板带B短边。所述钢板带A和钢板带B通过转轴与螺母连接。钢板带B固定不动，转动钢板带A上的转轴，调节修正板与待镀膜基片之间的夹角及钢板带A和钢板带B之间的距离，从而调整修正板对镀膜基件的遮挡面积。
[0018]所述钢板带B安装在镀膜仓内支撑架的螺杆上，所述钢板带B可上下调节，从而调节修正板与待镀膜基板之间的距离，进而调整修正板对镀膜基件的遮挡面积。
[0019]所述修正板短边一端与直角螺杆一端焊接，直角螺杆另一端安装在钢板带A的洞口内，所述直角螺杆
[0020]可以在钢板带A的洞口内来回移动，当直角螺杆调整至合适位置时，通过螺母对其进行锁紧固定。
[0021 ]安装时，首先将钢板带A和钢板带I B通过转轴和钢板带B上的螺母连接，将带有直角螺杆的修正板安装在钢板带A上，然后将钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。通过移动直角螺杆和螺杆来对遮挡面积进行大幅度调整，通过转动转轴来遮挡面积进行微调。
【主权项】
1.一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:包括修正板、直角螺杆、螺母、钢板带A、钢板带B、转轴、螺杆，所述修正板一端与直角螺杆一端连接，直角螺杆另一端安装在钢板带A上，所述钢板带A—端与钢板带B垂直连接，所述钢板带B安装在镀膜仓内的支撑架上。2.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述钢板带A和钢板带B中间均开有一个矩形洞口。3.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述钢板带A短边一端厚度方向上焊接有转轴，所述转轴长度方向平行于钢板带A长边。4.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述钢板带B短边一端厚度方向上焊有两个螺母，所述两个螺母圆周方向垂直于钢板带B短边。5.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述钢板带A和钢板带B通过转轴、螺母连接，所述钢板带A可以通过转轴转动。6.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述钢板带B可以上下调节。7.根据权利要求1所述的一种可调节的镀膜修正板，其特征在于:所述修正板短边一端与直角螺杆一端焊接，直角螺杆另一端安装在钢板带A的洞口内，所述直角螺杆可以在钢板带A的洞口内来回移动，当直角螺杆调整至合适位置时，通过螺母对其进行锁紧固定。
【文档编号】C23C14/54GK205501404SQ201620298968
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年4月12日
【发明人】刘洪涛
【申请人】新乡市百合光电有限公司