新型镀膜容器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种新型镀膜容器，包括坩埚和衬锅；所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚内，其特征在于：所述衬锅的上开口具有向内延伸的突起部。通过调整衬锅的上开口的突起部，在保证镀膜的均匀性和厚度的情况下，使得蒸镀源在镀膜过程中降低其蒸发角度，从而降低其材料耗用。
【专利说明】
新型镀膜容器
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种真空蒸发设置，具体为一种新型镀膜容器。
【背景技术】
[0002]蒸镀法是属于一种物理气相沉积的真空镀膜技术。通常是将蒸镀源的材料直接放在坩祸里或者放置于衬锅之中，再将衬锅放在坩祸之中(如图1所示)，通过对材料进行施加热能，使材料从固态转化为气态的原子、原子团或分子，然后凝聚在到待镀膜的基片表面形成薄膜，该技术广泛应用于太阳能薄膜、半导体晶片、平板显示、光学晶片等多个领域。衬锅是蒸镀设备所使用的重要元件之一。
[0003]现有的真空镀膜机主要是利用电子枪将蒸镀材料进行加热，并将蒸镀材料蒸发到光学元件表面形成薄膜。现有的蒸镀材料一般直接放在坩祸内，也有用衬锅装载再放在坩祸里。其蒸发薄膜的厚度主要决定于蒸镀源的蒸发速率和时间，并与源与基片的距离有关。对于大面积或较大量的镀膜，常采用旋转基片或多蒸镀源的方式以保证膜厚厚度的均匀性。从蒸镀源到基片的距离应小于蒸汽分子在残余气体中的平均自由程。因此在保证均匀性的情况下，基片与源的距离固定不变。镀膜机台在镀膜时会有一蒸发角度，蒸发角度对于不同的蒸镀源、不同镀膜参数会存在一定的差异。黄金在LED制作中消耗非常大，而在镀膜过程中黄金会变成液体其蒸发面积大于其余金属源，所以其蒸发角度也会大于其余金属蒸发角度。
[0004]目前LED蒸镀的成本主要在于贵重金属如黄金的耗量部分，通过设计新的衬锅可以使黄金的蒸发角度降低，从而降低消耗的黄金。
【实用新型内容】
[0005]针对上述技术问题，本实用新型公开一种新型镀膜容器，包括坩祸和衬锅;所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩祸内，其特征在于:所述衬锅的上开口具有向内延伸的突起部。
[0006]优选地，所述向内延伸的突起部呈环形状。
[0007]优选地，所述向内延伸的突起部宽度为Imm?10_。
[0008]优选地，所述衬锅的上开口外径为40?60mm。
[0009]优选地，所述衬锅的上开口内径为15?30mm。
[0010]优选地，所述衬锅的高度为20mm?30mm。
[0011]优选地，所述衬锅的材料为石英玻璃或钼或妈或无氧铜高恪点金属。
[0012]优选地，所述蒸镀源的材料为铬或铂或钛或银或铝或金或前述组合
[0013]与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果:通过在衬锅的上开口设置向内延伸的突起部，在保证镀膜的均匀性和厚度的情况下，降低蒸发材料的蒸发角度，使得单位时间内蒸发出来的材料下降，从而降低材料的使用耗量。此外，通过设计不同的宽度的突起部，还可以用以调整蒸发角度。本实用新型部分极易设计，生产过程管控简单，便于产业化生产。
【附图说明】
[0014]图1为现有的光学镀膜容器的结构剖视图。
[0015]图2为本实用新型所述新型光学镀膜容器的结构剖视图。
[0016]图不说明:1:1甘祸;2:衬锅;3:关起部。
【具体实施方式】
[0017]以下结合实施例来进一步解释本发明，但实施例并不对本发明做任何限定。
[0018]下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。
[0019]如图2所示，本实用新型公开一种新型镀膜容器，包括坩祸I和衬锅2;衬锅2内盛放蒸镀源(图中未示出)并放置在所述坩祸3内衬锅2的上开口具有向内延伸的突起部3。
[0020]具体地，蒸镀源的材料可以选用铬或铂或钛或银或铝或金，本实施例优选金;衬锅的上开口外径Rl为40?60mm，优选49mm，上开口内径R2为15?30mm，优选25mm，高度H为20mm?30mm，优选27mm。衬锅选用导热系数较高、耐高温并且不与镀膜材料发生化学反应的材料，可以诸如石英玻璃或钼或钨或无氧铜高熔点金属。突起部3从衬锅2的内侧壁，沿上开口向内延伸形成，为了保证镀膜的厚度均匀性，优选规则周期分布，本实施例优选突起部3呈环形状，宽度0为1111111~10111111，优选51111]1。
[0021]通过在衬锅上开口设置突起部，可以在保证镀膜的均匀性和厚度前提下，使得贵重金属如黄金的镀膜角度变小，减少了在镀膜过程中源的耗量，从而降低镀膜成本。经试验比对，采用本实用新型的镀膜容器，其相同厚度的膜层，蒸镀源的材料耗量下降了 10%左右，蒸发角度缩小6°左右。通过设计不同宽度的突起部，用以调整蒸发角度。
[0022]本实用新型部分极易设计，生产过程管控简单，便于产业化生产。
[0023]尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。
【主权项】
1.新型镀膜容器，包括坩祸和衬锅;所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩祸内，其特征在于:所述衬锅的上开口具有向内延伸的突起部。2.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述向内延伸的突起部呈环形状。3.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述向内延伸的突起部宽度为Imm?1mmο4.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述衬锅的上开口外径为40?60mm ο5.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述衬锅的上开口内径为15?30mm ο6.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述衬锅的高度为20~30_。7.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述衬锅的材料为石英玻璃或钼或妈或无氧铜高恪点金属。8.根据权利要求1所述的新型镀膜容器，其特征在于:所述蒸镀源的材料为铬或铂或钛或银或招或金。
【文档编号】C23C14/24GK205501401SQ201620113307
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月4日
【发明人】廖齐华, 郭明兴, 邓有财, 冯岩, 许亚红, 张家豪
【申请人】厦门三安光电有限公司