专利名称：多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔的制作方法
技术领域：
本实用新型属于化工行业的多晶硅生产过程中配套设备，即多晶硅生产干 法尾气回收四氯化硅淋洗塔。
背景技术：
在多晶硅生产过程中，还原炉排出的尾气，含有较高的四氯化硅，而四氯 化硅是合成有机硅的主要原料，如果将多晶硅生产干法的尾气直接排掉，则是 一种浪费，因此在化工行业中采用了尾气回收四氯化硅的方法，现在常用的是 鼓泡淋洗法，但这种方法仍存在着设备较大且回收率较低的不足，故需加以改 进。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种回收效率高且设备小的多晶硅生产干法尾气 回收四氯化硅淋洗塔。
本实用新型的技术方案如图1所示，淋洗塔1顶部设有出气口 2，下部侧面 设有进气口3，底部设有出液口4，在淋洗塔l的内部上方设有多层喷淋管5， 喷淋管5上安有螺旋喷头6，各层喷淋管5的喷头6下方，设有鲍尔环7，各喷 淋管5伸出淋洗塔1与液泵8出口端用圆管连接，液泵8的进口端与出液口 4 用圆管连接。 .
本实用新型采用液泵8使四氯化硅液体在塔内进行强制循环，促进气液优 质充分交换，这样能使塔的高度和直径縮小的情况下，吸收效率却提高了 50 70% 。
图1多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔结构示意图；图中l-淋洗塔，2-出气口， 3-进气口， 4-出液口， 5-喷淋管，6-喷头，7-鲍尔环，8-液泵。
具体实施方式
本实用新型按上述方案实施，喷淋管2设置3 5层，每根喷淋管上安有螺 旋十字喷头4 6个，喷头安装的个数是根据塔的内径来决定的，各喷淋管下方 设有鲍尔环层，层厚约250毫米，使气体与液体有充分的接触面，达到气液优 质充分交换的目的，这样吸收效率便能大大提高。
本实用新型塔高约5米，直径约0.8米，较现常用的鼓泡淋洗法使用的设备縮小 了近一半，为充分利用生产场地提供了有利条件。 '
权利要求1.一种多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔，由出气口(2)、进气口(3)、出液口(4)、喷淋管(5)、喷头(6)、鲍尔环(7)、液泵(8)组成，其特征是在淋洗塔(1)的顶部设有出气口(2)，下部侧面设有进气口(3)，底部设有出液口(4)，淋洗塔(1)内部上方设有多层喷淋管(5)，喷淋管(5)上安有喷头(6)，各层喷淋管(5)的喷头(6)下方设有鲍尔环(7)，喷淋管(5)伸出淋洗塔(1)与液泵(8)出口端圆管连接，液泵(8)的进口端与出液口(4)圆管连接。
专利摘要一种多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔，有进气口、出气口，底部设有出液口，淋洗塔内上方设有多层喷淋管，喷淋管上安有多个喷头，在喷头下方设有鲍尔环，喷淋管伸出淋洗塔，由圆管与液泵出口端连接，淋洗塔的出液口用圆管与液泵进水口端连接。本实用新型采用液泵8使四氯化硅液体强制循环，促进气液优质充分交换，使吸收效率提高50～70％。本实用新型与现常用的鼓泡淋洗法设备相比，体积缩小了近一半，为充分利用生产场地提供了有利条件。
文档编号C01B33/00GK201309832SQ20082022332
公开日2009年9月16日 申请日期2008年12月11日 优先权日2008年12月11日
发明者沈晓明 申请人:张家港市华菱化工机械有限公司