专利名称：一种超高纯盐酸的提纯装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及超高纯试剂提纯技术，具体涉及一种超高纯盐酸的提纯装置。
背景技术：
超高纯试剂是电子领域微细加工制作中不可缺少的关键性基础化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蚀刻。超高纯盐酸为强酸性清洗剂，通常与硝酸，过氧化氢配合使用。生产超高纯盐酸的方法主要有两种一是以工业盐酸为原料进行提纯操作；二是以氢气和氯气为原料反应制得氯化氢，再将氯化氢溶解于纯水中，同时严格控制原料的杂质含量。中国专利200410008785. 3公开了一种制备超净高纯试剂酸的精馏装置，包括普通精馏装置中的通用工艺设备，精馏塔在由填料塔在下，刺馏塔在上直接串联而组成，填料塔为分段式，此外，该装置中的吸收槽与质监罐单独设立，整套设备的占用空间较大。此外，吸收槽的作用在于冷却并进一步吸收少量的氯化氢气体，质监罐的目的在与控制产品质量，冷凝器冷凝的盐酸和氯化氢经管道输送至吸收槽的液面下方，吸收槽的出料口距液面下方的管道口很近，易将冷凝下来的盐酸直接排入质监槽中，会造成质监槽中所采集的每批次产品质量不稳定。因此，有必要对现有技术中的盐酸提纯装置进行改进。
实用新型内容本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种产品质量稳定可靠、占用空间小的超高纯盐酸的提纯装置。为实现上述目的，本实用新型的技术方案是超高纯盐酸提纯装置包括预热器和与储罐相连通的高位槽，所述预热器包括内管和套设在所述内管周围的外管，所述高位槽的出料口与所述外管的进料口相连接，所述外管的出料口与蒸馏釜相连通，所述蒸馏釜的底部设置有与稀盐酸罐相连通的高沸点物出料口，所述蒸馏釜的上部依次设置有相通的填料塔和刺馏塔，刺馏塔顶部的出料口与所述内管的进料口相连接，所述内管的出料口与冷凝器相连接，所述冷凝器的出料口与混合罐的进料口相连接，所述混合罐的出料口与成品罐相连接，所述混合罐的进料口设置在混合罐的低端，所述混合罐的出料口高度大于混合罐的进料口高度。其中，所述混合罐内设置有盐酸比重计和温度计。其中，所述蒸馏釜的高沸点物出料口连接有与稀盐酸储罐相连通的出料管，所述出料管为U形管，所述出料管的最高点与所述蒸馏釜中盐酸的液面齐平。其中，所述内管的进料口与所述外管的出料口设置在所述预热器的一端，所述内管的出料口和所述外管的进料口设置在所述预热器的另一端。其中，所述填料塔内填充有石英环。其中，所述蒸馏釜、填料塔和刺馏塔为石英玻璃材质。本实用新型的优点和有益效果在于该装置中混合罐的进料口高度低于出料口高度，冷凝器流出的盐酸和氯化氢首先到达混合罐底部，由于氯化氢气泡的搅拌作用，混合罐内的盐酸浓度更均匀，当罐内液面处的温度计和盐酸比重计达到预设数值时，将液面处的盐酸首先导入成品罐中，该装置不仅减少了占用空间，而且产品质量稳定可靠。
图I是本实用新型超高纯乙酸丁酯的提纯装置的结构示意图。图中I、储罐；2、高位槽；3、预热器；4、内管；5、外管；6、蒸馏釜；7、填料塔；8、刺懼塔；9、冷凝器；10、混合iig ;11、成品iig ;12、稀盐
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式
作进一步描述。以下实施 例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。如图I所示，本实施例为一种超高纯盐酸提纯装置，包括预热器3和与储罐I相连通的高位槽2，预热器3包括内管4和套设在内管4周围的外管5，高位槽2的出料口与外管5的进料口相连接，外管5的出料口与蒸馏釜6相连通，蒸馏釜6的底部设置有与稀盐酸罐12相连通的高沸点物出料口，蒸馏釜6的上部依次设置有相通的填料塔7和刺馏塔8，刺馏塔8顶部的出料口与内管4的进料口相连接，内管4的出料口与冷凝器9相连接，冷凝器9的出料口与混合罐10的进料口相连接，混合罐10的出料口与成品罐11相连接，混合罐10的进料口设置在混合罐10的低端，混合罐10的出料口高度大于混合罐10的进料口高度。在本实施例中，混合罐10内设置有盐酸比重计和温度计。在本实施例中，蒸馏釜6的高沸点物出料口连接有与稀盐酸储罐I相连通的出料管，出料管为U形管，出料管的最高点与蒸馏釜6中盐酸的液面齐平。在本实施例中，内管4的进料口与外管5的出料口设置在预热器3的一端，内管4的出料口和外管5的进料口设置在预热器3的另一端。在本实施例中，填料塔7内填充有石英环。在本实施例中，蒸馏釜6、填料塔7和刺馏塔8为石英玻璃材质。将工业盐酸自储罐I抽到高位槽2，加预处理试剂，搅拌、静止。然后将预处理好盐酸原料液自高位槽2底部流出，进入预热器3预热后，泡点料进入石英质蒸馏釜6，蒸馏釜6再次加热，逸出氯化氢气体和剩余为组分不变的20%盐酸恒沸物被汽化先经精馏塔的上部石英环填料塔7，再经串联的刺馏塔8，反复进行部分冷凝回流、部分气化，气、液两相在塔内反复密切接触，进行质交换；得到纯化并与原料液进行逆流热交换；刺馏塔8顶部的馏出物经预热器3预冷后进入冷凝器9冷凝为液体；调节进料开关，使通过混合罐10内的盐酸比重计和温度计控制比重控制在预定的数值，然后被导入成品罐11，另一部分组分不变的20%盐酸恒沸物冷却后进入稀盐酸罐12。从原料液自高位槽2流出到盐酸自动进入成品罐11均发生在一个密封系统中，冷凝器9中循环使用的冷却介质自成系统除外，储罐I、混合罐10和成品罐11的排空管通入尾气吸收槽中的碱液液面下，然后直接室外高位放空。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型 的保护范围。
权利要求1.一种超高纯盐酸的提纯装置，所述提纯装置包括预热器和与储罐相连通的高位槽，所述预热器包括内管和套设在所述内管周围的外管，所述高位槽的出料口与所述外管的进料口相连接，所述外管的出料口与蒸馏釜相连通，所述蒸馏釜的底部设置有高沸点物出料口，所述蒸馏釜的上部依次设置有相通的填料塔和刺馏塔，刺馏塔顶部的出料口与所述内管的进料口相连接，所述内管的出料口与冷凝器相连接，其特征在于，所述冷凝器的出料口与混合罐的进料口相连接，所述混合罐的出料口与成品罐相连接，所述混合罐的进料口设置在所述混合罐的低端，所述混合罐的出料口高度大于混合罐的进料口高度。
2.根据权利要求I所述的超高纯盐酸的提纯装置，其特征在于，所述混合罐内设置有盐酸比重计和温度计。
3.根据权利要求2所述的超高纯盐酸的提纯装置，其特征在于，所述蒸馏釜的高沸点物出料口连接有与稀盐酸储罐相连通的出料管，所述出料管为U形管，所述出料管的最高点与所述蒸馏釜中盐酸的液面齐平。
4.根据权利要求3所述的超高纯盐酸的提纯装置，其特征在于，所述内管的进料口与所述外管的出料口设置在所述预热器的一端，所述内管的出料口和所述外管的进料口设置在所述预热器的另一端。
5.根据权利要求4所述的超高纯盐酸的提纯装置，其特征在于，所述填料塔内填充有石英环。
6.根据权利要求5所述的超高纯盐酸的提纯装置，其特征在于，所述蒸馏釜、填料塔和刺馏塔为石英玻璃材质。
专利摘要本实用新型公开了一种超高纯盐酸的提纯装置，包括预热器和与储罐相连通的高位槽，预热器包括内管和套设在内管周围的外管，高位槽的出料口与外管的进料口相连接，外管的出料口与蒸馏釜相连通，蒸馏釜的底部设置有高沸点物出料口，蒸馏釜的上部依次设置有相通的填料塔和刺馏塔，刺馏塔顶部的出料口与内管的进料口相连接，内管的出料口与冷凝器相连接，冷凝器的出料口与混合罐的进料口相连接，混合罐的出料口与成品罐相连接，混合罐的进料口设置在混合罐的低端，混合罐的出料口高度大于混合罐的进料口高度。该装置不仅减少了占用空间，而且产品质量稳定可靠。
文档编号C01B7/07GK202785640SQ20122028072
公开日2013年3月13日 申请日期2012年6月14日 优先权日2012年6月14日
发明者周耀庆 申请人:江阴苏龙微电子材料有限公司