一种石墨烯生长制备设备的制作方法

文档序号:12235936阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石墨烯生长制备设备,其特征在于:包括生长沉淀仓(1),冷却仓(2);生长沉淀仓(1)与冷却仓(2)内设有传输带(3),传输带(3)上放置基底(4),基底(4)上放置石墨烯材料(5);所述的生长沉淀仓(1)内设有加热装置,冷却仓(2)进行冷却。

2.根据权利要求1所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:所述的加热装置为若干根加热棒(6),若干根加热棒(6)纵向布置,相互之间平行放置。

3.根据权利要求1所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:所述的生长沉淀仓(1)还设有进风管(7);进风管(7)布置在传输带(3)上方。

4.根据权利要求3所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:所述的生长沉淀仓(1)顶部还有设有抽风设备(8)。

5.根据权利要求1所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:所述的冷却仓(2)内设有冷却设备(9);冷却设备(9)分别布置在冷却仓(2)的侧壁与顶端。

6.根据权利要求1所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:所述的生长沉淀仓(1)开启加热装置进行石墨烯生长。

7.根据权利要求6所述的石墨烯生长制备设备,其特征在于:关闭加热装置进行石墨烯沉淀。

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