技术总结
一种电子束物理气相沉积用氧化锆基陶瓷靶材，包含Y2O3及ZrO2，按靶材重100％计，Y2O3含量为6～9wt％；靶材的制备方法包括：分别称所述的原料粉末；将称取的各原料粉末部分在500～700℃下烘干10～12h，获得原始细粉A，平均粒径为10～30nm；将称取的各原料粉末部分在1400～1500℃下烘干1～2h，获得粗颗粒粉末B，平均粒径为400～1500nm；将粗颗粒粉末B及原始细粉A按照质量比为9：1～1:1的比例混合，并添加粗颗粒粉末B和原始细粉A的总质量的1～5％的聚乙烯醇，进行离心喷雾干燥造粒处理，获得球形团聚粉末C；将球形团聚粉末C在80～100℃条件下烘干60～120min，放入氯丁橡胶套中振实；在100～150MPa、10～40min或150～200MPa、5～10min条件下压制成型，获得陶瓷压坯；将陶瓷压坯在1100～1300℃下烧结5～15h，制成靶材。
技术研发人员：何箐;邹晗;吕玉芬;王世兴;王伟平
受保护的技术使用者：中国农业机械化科学研究院;北京金轮坤天特种机械有限公司
文档号码：201610875896
技术研发日：2016.09.30
技术公布日：2017.03.22