1.一种氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将五氧化二铌粉和铌粉混合均匀，在氧气氛围或空气氛围下于600～800℃煅烧0.5～3h，得到预处理粉体；
将所述预处理粉体在保护气体氛围下于900～1200℃在石墨模具中热压烧结0.5～1h，得到氧化铌靶材，所述氧化铌靶材的化学式为Nb2Ox，4.0≤x≤4.9。
2.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的质量比为9～99:1。
3.如权利要求2所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的质量比为20～80:1。
4.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述热压烧结的压力为25～45MPa。
5.如权利要求1所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述预处理粉体先以300～400℃/h的速率升温至900～1200℃，然后以200～300℃/h的速率降温。
6.如权利要求1～5任一项所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和铌粉混合均匀的步骤具体为：将五氧化二铌粉和铌粉混合球磨，烘干。
7.如权利要求6所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述五氧化二铌粉和所述铌粉的平均粒径均为100～200μm。
8.如权利要求7所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，球磨至所述五氧化二铌粉和所述铌粉的平均粒径均为1～5μm。
9.如权利要求8所述的氧化铌靶材的制备方法，其特征在于，所述球磨的时间为8～12h，所述球磨的转速为250～500r/min。
10.一种氧化铌靶材，其特征在于，采用权利要求1～9任一项所述的氧化铌靶材的制备方法制得。