1.一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,其特征在于:
包括坩埚本体(1),坩埚本体(1)的内表面上设置有涂层(2),坩埚本体(1)的底部开设有若干个圆锥形凹坑(3),所述坩埚本体(1)的外侧设置有石墨护板(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,其特征在于:
所述石墨护板(4)包括坩埚底板(5)和若干个石墨片(6),坩埚底板(5)上开设有圆形凹槽,石墨片(6)沿圆周方向均匀的卡设在圆形凹槽中,相邻的石墨片(6)间存在缝隙。
3.根据权利要求2所述的一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,其特征在于:
所述相邻石墨片(4)间的缝隙距离为0.5~2mm。
4.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,其特征在于:
所述涂层(2)为氮化硅涂层。
5.根据权利要求2所述的一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,其特征在于:
所述石墨片(6)的外侧设置有石墨卡环(7)。