一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚的制作方法

文档序号:12521353阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型记载了一种用于生产多晶硅铸锭的石英坩埚,包括坩埚本体,坩埚本体的内表面上设置有涂层,坩埚本体的底部开设有多个圆锥形凹坑,所述坩埚本体的外侧设置有石墨护板。在本实用新型中,涂层的设置不仅可以阻止硅液与坩埚之间的化学反应还有利于脱模,使石英坩埚的重复使用成为可能。石墨护板的设置能够避免生产过程中石英坩埚破裂导致硅液流出而出现炉体烧坏的危险。坩埚本体底部开设的圆锥形凹坑,使坩埚本体不仅能满足正常的多晶硅铸锭需要,而且能控制坩埚底部硅熔体中晶核产生的位置及数量,促使其定点快速优先成核,使其能够按照一定的规律均匀分布,从而有利于晶粒生长空间的充分合理利用,易于形成粗大、均一的晶粒。

技术研发人员:张冠纶;曹韵国;常青;孙纤
受保护的技术使用者:通威太阳能(成都)有限公司
文档号码:201620688191
技术研发日:2016.06.30
技术公布日:2016.12.28

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