技术总结
本实用新型公开了一种蓝宝石单晶电阻生长炉，包含真空炉体，在真空炉体内部包含保温层、加热电极、坩埚、籽晶杆、智能电源系统、热场系统、控制系统；坩埚通过支柱和托板设置在真空炉体的中间，在坩埚的上方设有保温层，加热电极还与真空炉体固定连接并伸出真空炉体之外，在加热电极内设有水循环通道，所述真空炉体上设置有大炉盖和小炉盖，在小炉盖上设置有旋转机构，所述籽晶杆的上端与伺服运动电机连接，籽晶杆的下端伸入坩埚内。本实用新型解决了传统蓝宝石单晶电阻生长炉打开大炉盖时费时费力的问题，用于生长蓝宝石单晶生长。
技术研发人员：姚泰;于永澔;张宇民
受保护的技术使用者：哈尔滨工业大学
文档号码：201621066183
技术研发日：2016.09.20
技术公布日：2017.06.09