技术总结
用于TFT玻璃基板薄化工艺预处理的组合物，其特征在于所述组合物由以下组分组成：质量百分比含量10～20％的盐酸(HCl)，质量百分比含量2％～5％的氢氟酸(HF)，质量百分比含量5～10％的羧甲基纤维素钠(CMC‑Na)，质量百分比含量2～3％的聚乙烯吡咯烷酮K90(PVP K90)，质量百分含量10～20％的乙醇及余量的水。
技术研发人员：张杰;沈励;郑建军;姚仕军;夏伟;吴青肖
受保护的技术使用者：天津美泰真空技术有限公司
文档号码：201710013305
技术研发日：2017.01.09
技术公布日：2017.05.31