卧式石墨烯卷对卷连续生长设备的制作方法

文档序号:12635001阅读:来源:国知局

技术特征:

1.卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,包括真空上料室(1)、高温工艺腔室(7)、真空取料室(8)、驱动装置;所述真空上料室(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(2),所述真空取料室(8)内设置有石墨烯基底收料辊(9)以及收料导向辊(10);所述真空上料室(1)和真空取料室(8)均设置有真空泵;所述石墨烯生长基底放料辊(2)以及石墨烯基底收料辊(9)均通过驱动装置,驱动转动;所述高温工艺腔室(7)上设置有快速加热装置(5);

其特征在于:所述高温工艺腔室(7)一端与真空上料室(1)连接且连通,另一端与真空取料室(8)连接且连通;所述高温工艺腔室(7)的两端均设置有匀流隔热装置(6)以及快速冷却装置(4);

所述真空上料室(1)内设置有用于检测石墨烯生长基底(16)张力的张力检测装置(3),所述真空取料室(8)内设置有用于冷却检测石墨烯生长基底(16)的冷却装置(11),所述冷却装置位于石墨烯基底收料辊(9)与收料导向辊(10)之间。

2.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述驱动装置包括第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(13);所述第一驱动装置(12)与石墨烯生长基底放料辊(2)传动连接;所述第二驱动装置(13)与石墨烯基底收料辊(9)传动连接。

3.如权利要求2所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述石墨烯生长基底放料辊(2)具有的转轴穿过真空上料室(1),且通过离合器(14)与第一驱动装置(12)传动连接;所述石墨烯基底收料辊(9)具有的转轴穿过真空取料室(8),且通过离合器(14)与第二驱动装置(13)传动连接。

4.如权利要求3所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述石墨烯生长基底放料辊(2)的转轴与真空上料室(1)之间设置有真空动密封装置(15);所述石墨烯基底收料辊(9)的转轴与真空取料室(8)之间设置有真空动密封装置(15)。

5.如权利要求2、3或4所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述第一驱动装置(12)以及第二驱动装置(15)均采用减速电机。

6.如权利要求5所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:还包括处理器,所述处理器分别与张力检测装置(8)以及第一驱动装置电连接,且所述处理器、张力检测装置(8)以及第一驱动装置(12)形成反馈闭环。

7.如权利要求2、3或4所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述处理器分别与速度检测装置(11)以及第二驱动装置(13)电连接,且所述处理器、速度检测装置(11)以及第二驱动装置(13)形成反馈闭环。

8.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述快速冷却装置(4)与高温工艺腔室(7)可拆卸连接。

9.如权利要求1所述的卧式石墨烯卷对卷连续生长设备,其特征在于:所述匀流隔热装置(6)包括至少两层隔热板(61)以及支撑柱(62),所述支撑柱(62)设置在相邻两层隔热板(61)之间;所述隔热板(61)上设置有中心通孔(63),所述隔热板(61)上设置有均匀分布的透气孔,所述相邻两层隔热板(61)上的透气孔错位分布。

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