一种单晶炉侧排气装置的制作方法

本实用新型属于单晶硅生产领域，尤其是涉及一种单晶炉侧排气装置。

背景技术：

单晶炉生产运行过程中，在炉体内部必须保证一定的真空，才能保证单晶硅的生长，同时必须通入氩气进行保护，这样就必须保证连续不断的进行抽真空，由于单晶炉中多晶硅原料有部分飞溅，被抽人真空系统，其一旦进入真空泵，会影响真空泵的正常运行，甚至造成真空泵的损坏，就必须对进入真空泵的气体进行过滤净化，传统的过滤器虽然能起到过滤作用，但是清理维修不方便，特别是内过滤胆的拆卸清理很不方便。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种单晶炉侧排气装置，能够实现过滤更多更小的杂质，减少真空泵油的用量，延长真空泵的使用寿命，提高单晶炉内真空度，提高生产成品率。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种单晶炉侧排气装置，包括：过滤罐、真空泵和收集罐，所述真空泵设置在过滤罐的出口，所述收集罐设置在过滤罐下方，并且过滤罐相通，

所述过滤罐包括过滤罐盖、内筒、滤网、毛刷和传动机构，所述过滤罐盖设置在过滤罐上，所述内筒周向均布在所述过滤罐内，所述滤网固定在内筒上，所述毛刷设置在内筒中，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口。

进一步的，所述传动机构包括齿圈、第一齿轮和第二齿轮，所述齿圈固定在所述过滤罐盖上，所述第一齿轮和第二齿轮均转动连接在所述过滤罐盖上，所述第二齿轮围绕第一齿轮设置，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述第二齿轮与齿圈啮合，所述毛刷设置在第二齿轮上。

进一步的，过滤罐盖上设有安全充气阀。

进一步的，所述过滤罐与过滤罐盖采用磁流体密封。

进一步的，所述滤网为蜂窝状纤维纸。

进一步的，所述内筒由铝合金制成。

相对于现有技术，本实用新型所述的单晶炉侧排气装置具有以下优势：

本实用新型所述的一种单晶炉侧排气装置结构简单，进气管气体进入过滤器后所有的杂质被过滤，需要清理时，可以由毛刷自动清理，节省了大量的维修时间和间隙，缩短了单晶炉由于清理真空过滤器需要停炉等待的时间，大大提高了单晶炉的利用效率，同时一氧化硅还能收集起来，经济效益显著。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的结构示意图。

图2为本实用新型实施例所述传动机构示意图。

附图标记说明：

1-进气口；2-过滤罐盖；3-毛刷；4-内筒；5-真空泵；6-收集罐；7－齿圈；8-第一齿轮；9-第二齿轮。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

一种单晶炉侧排气装置，包括：过滤罐、真空泵5和收集罐6，所述真空泵5设置在过滤罐的出口，所述收集罐6设置在过滤罐下方，并且过滤罐相通，所述过滤罐包括过滤罐盖2、内筒4、滤网、毛刷3和传动机构，所述过滤罐盖2设置在过滤罐上，过滤罐盖2上设有安全充气阀，所述过滤罐与过滤罐盖2采用磁流体密封，所述内筒周向均布在所述过滤罐内，所述滤网固定在内筒上，所述滤网为蜂窝状纤维纸，所述毛刷2设置在内筒4中，过滤罐体的下面设有出气口，过滤罐体的侧面设有进气口1。所述传动机构包括齿圈7、第一齿轮8和第二齿轮9，所述齿圈固定在所述过滤罐盖2上，所述第一齿轮8和第二齿轮9均转动连接在所述过滤罐盖2上，所述第二齿轮9围绕第一齿轮8设置，所述第一齿轮8与第二齿轮9啮合，所述第二齿轮9与齿圈7啮合，所述毛刷3设置在第二齿轮9上。所述内筒4由铝合金制成，所述内筒4设有6-8个。

本实用新型所述的一种单晶炉侧排气装置在排气时可以对气体进行过滤，同时过滤的同时可以清洁滤网，清洁滤网时，只需通过电机驱动第一齿轮8转动，就能驱动第二齿轮9带动毛刷转动，对内筒4上的滤网进行清洁，大大提高了单晶炉的利用效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。