技术特征：
技术总结
本发明属于黑硅技术领域，具体涉及一种湿法黑硅制备方法所述制备方法按照如下步骤：步骤1，将硅片表面涂覆刻蚀液，静置加热反应10‑30min；步骤2，将刻蚀后的硅片放入蒸馏水中超声反应20‑40min，取出后烘干；步骤3，将步骤2中的硅片放入硝酸银和硝酸铜混合液中超声反应10‑15min，加入氢氟酸浸泡1‑3h，得到沉积硅片；步骤4，将沉积硅片放入氢氟酸与双氧水的混合溶液中，微波反应2‑4h，得到刻蚀硅片；步骤5，将刻蚀硅片表面清洗干净，得到黑硅。本发明解决了现有技术工艺复杂的问题，大大降低了工艺难度，减少了添加剂的使用，不仅增加了工作效率，也提高了产品稳定性。
技术研发人员：朱姚培;王磊;蒋健;唐磊;陈桂宝
受保护的技术使用者：江苏荣马新能源有限公司
技术研发日：2018.01.26
技术公布日：2018.07.13