一种单晶炉用蝶阀清理装置及单晶炉的制作方法

本实用新型涉及硅单晶炉技术领域。

背景技术：

单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，纯度可达到99.9999999％以上，可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域处于新材料发展的前沿。

半导体级硅单晶炉是单晶硅产业链中重要的晶体生长设备，目前，世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种：一种是区熔法，另一种是直拉法，其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点，一直是半导体硅衬底制备的主要手段。

在采用直拉法的单晶炉中，对生长的硅晶体的环境要求在真空下进行，且环境中不能存在杂质。现有技术中的单晶炉中，抽真空用的真空泵中常常连接蝶阀实时控制炉内真空度，但在抽真空过程中，硅晶体生长环境中的挥发物会随着抽真空附着到蝶阀阀板上，此挥发物长时间在蝶阀上，会影响蝶阀的使用寿命。而蝶阀的两端由于均为密封结构，故即便有杂质或挥发物附着在阀板上，也难以清理。

技术实现要素：

实用新型目的：提供一种单晶炉用蝶阀清理装置，用以方便清理单晶炉内的蝶阀。

本实用新型另外提供一种包含该蝶阀清理装置的单晶炉。

技术方案：为达到上述目的，本实用新型单晶炉用蝶阀清理装置可采用如下技术方案：

一种单晶炉用蝶阀清理装置，包括蝶阀、连接于蝶阀两端的两个管体，还包括十字形四通管，其中该四通管包括第一开口、第二开口、第三开口、第四开口；第一开口与第二开口相背，第三开口与第四开口相背；第一开口连接其中一个管体，第二开口与第三开口上安装有盲板法兰。

有益效果：本实用新型的蝶阀清理装置中通过在四通管的第二开口与第三开口上安装盲板法兰以预设对蝶阀清理的开口，在抽真空工作状态中，盲板法兰固接在第二开口与第三开口上以保持整体的密封状态，当在设备维护状态，可以打开盲板法兰以对蝶阀进行清理，其中第二开口由于与第三开口分别朝向垂直的两个方向，故可以从两个方向对蝶阀进行清理，避免出现清理死角。

进一步的，所述第二开口与第三开口上均设置中心支架，所述盲板法兰通过卡钳螺钉连接于该中心支架上，盲板法兰与中心支架之间设置第一密封圈。

进一步的，所述第一开口与所述其中一个管体之间通过法兰连接，且该法兰连接之间设置第二密封圈形成密封。

进一步的，所述蝶阀为法兰蝶阀，其蝶阀两端同样设有中心支架，管体通过六角头螺栓安装在该蝶阀两端的中心支架上。

本实用新型还提供了一种单晶炉的技术方案，具体为：

一种包含上述蝶阀清理装置的单晶炉，该单晶炉还包括抽真空泵，所述抽真空泵连接第四开口。

有益效果，该单晶炉内采用了本实用新型提供的蝶阀清理装置可以方便对蝶阀进行清理，有利于提高单晶炉内蝶阀的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型中单晶炉用蝶阀清理装置的结构示意图。

具体实施方式

实施例一

本实施例一提供一种单晶炉用蝶阀清理装置的实施例。

请参阅图1所示，本实用新型公开一种单晶炉用蝶阀清理装置，包括蝶阀1、连接于蝶阀1两端的两个管体，分别为第一管体2、第二管体3，在本实施方式中，该第一管体2与第二管体3均为变径管，且变径管连接蝶阀1的一端为口径小的一端。还包括十字形四通管4，其中该四通管4包括第一开口41、第二开口42、第三开口43、第四开口44；且第一开口41与第二开口42相背，第三开口43与第四开口44相背。即第一开口41的朝向与第三开口43、第四开口44的朝向垂直，同样的，第二开口42的朝向与第三开口43、第四开口44的朝向垂直。第一开口41连接第一管体2。该四通管3的第二开口42与第三开口43上可拆卸的安装有盲板法兰。具体的安装方式为，所述第二开口42上设置中心支架61，第三开口43上设置中心支架62，所述安装在第二开口42上的盲板法兰51通过卡钳螺钉7连接于该中心支架61上，安装在第三开口43上的盲板法兰52通过卡钳螺钉7连接于该中心支架62上。盲板法兰与中心支架之间设置第一密封圈(未标号)以在固接时形成密封。通过第二开口42与第三开口43上安装盲板法兰51、52以预设对蝶阀清理的开口，在抽真空工作状态中，盲板法兰51、52固接在第二开口42与第三开口43上以保持整体的密封状态，当在设备维护状态，可以打开盲板法兰51、52以对蝶阀1进行清理，其中第二开口42由于与第三开口43分别朝向垂直的两个方向，故可以从两个方向对蝶阀1进行清理，避免出现清理死角。

所述第一开口41与第一管体2之间通过法兰连接，且该法兰连接之间设置第二密封圈(未图示)形成密封。

且，本实施方式中，所述蝶阀1为法兰蝶阀，其蝶阀1两端同样设有中心支架11，第一管体2、第二管体3分别通过六角头螺栓安装在该蝶阀两端的中心支架11上。第二管体3还连接一个弯头31，该弯头31延伸并与单晶炉内需要抽真空的腔室密封连接。

实施例二

本实施例提供了一种包含实施例一中的蝶阀清理装置的单晶炉。

该单晶炉内还包括用以抽真空的抽真空泵，该真空泵密封的连接四通管4的第四开口44。

当单晶炉在进行拉晶工作状态时，第二开口42、第三开口43均分别通过盲板法兰51、52密封使整个抽真空通道形成密封。当在设备维护状态，可以打开盲板法兰51、52以对蝶阀1进行清理。

另外，本实用新型的具体实现方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。