一种单晶炉自平衡式上传动系统的制作方法

文档序号:16797369发布日期:2019-02-01 19:57阅读:520来源:国知局
一种单晶炉自平衡式上传动系统的制作方法

本实用新型涉及单晶炉室自平衡传动技术领域,具体涉及一种单晶炉自平衡式上传动系统。



背景技术:

硅单晶的生长需要进行提拉和旋转操作,单晶炉设备中提供此功能的部件为上传动部件,因为单晶的提拉轴为一根很细的钢丝绳或钨绳,整个上传动部件旋转时,相对旋转轴的重量如果不均衡,会产生动不平衡的震动,影响钢丝绳的稳定性,所以在设计时都要对上传动部件进行动平衡配重,传统的配重形式都为选取软轴最重要的一个位置作为配重位置,因为单晶炉在运行过程中软轴需要进行提升,上传动部件内存在一的运动部件卷丝轮,随着软轴的升降卷丝轮需要左右移动,卷丝轮位置的变化带来整体重量配比的变化,所以传统的配重形式无法达到整个过程的动平衡,只能为选定的一点的动平衡。



技术实现要素:

有鉴于此,本实用新型的主要目的是提供一种单晶炉自平衡式上传动系统。

本实用新型采用的技术方案是:

一种单晶炉自平衡式上传动系统,包括卷丝轮、丝杠、滑动轴、平衡配重块、花键轴以及动力组件,所述花键轴安装在箱体上,所述动力组件配置在花键轴的左端,丝杠与所述花键轴右端通过键同心连接,卷丝轮套装在花键轴上,花键轴可以带动卷丝轮进行旋转,且卷丝轮可以在花键轴上进行滑动,所述自平衡配重块与丝杠同轴紧固连接,以及自平衡配重块与滑动轴滑动连接,整体配重块安装在箱体上。

作为一种优选,所述卷丝轮与铜螺母通过螺纹齿连接,铜螺母固定在箱体上不可移动可以旋转。

作为一种优选,所述丝杠和滑动轴固定在支撑密封法兰上。

作为一种优选,所述卷丝轮的导程为4mm,重量为A公斤,所述丝杠的导程为2mm,自平衡配重块的重量为2A公斤,且卷丝轮和丝杠的旋向相反。

本实用新型提供一种单晶炉自平衡式上传动系统,保证卷丝轮在长晶过程中不管移动到任何位置,上传动部件相对旋转中心都是动平衡的。通过此机构,保证了上传动部件任意位置的动平衡效果,为晶体生长打下一个良好的基础。

附图说明

以上所述仅是本实用新型专利方案概述,为了更清楚说明本实用新型的技术手段,以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。

图1为本实用新型的结构示意图;

其中,附图标记以及标记对应的名称如下。

1.卷丝轮,2.丝杠,3.滑动轴,4.自平衡配重块,5.支撑密封法兰,6.花键轴,7.铜螺母,8.整体配重块,9.动力组件,10.旋转中心,11.箱体。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型,在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型,但并不作为对本实用新型的限定。

参照图1,本实用新型具体公开了一种单晶炉自平衡式上传动系统,花键轴6安装在箱体11上,动力组件9配置在花键轴6的左端,丝杠2与花键轴6右端通过键同心连接,卷丝轮1套装在花键轴6上,花键轴6可以带动卷丝轮1进行旋转,卷丝轮1可以在花键轴6上进行滑动,铜螺母7与卷丝轮1通过螺纹齿连接,铜螺母7固定在箱体11上不可移动可以旋转,自平衡配重块4与丝杠2同轴紧固连接,自平衡配重块4与滑动轴3滑动连接,丝杠2和滑动轴3固定在支撑密封法兰5上,整体配重块8安装在箱体11上,所有零部件随箱体11进行旋转,旋转轴为旋转中心10。

在本实用新型中,优选取卷丝轮1处于最右端,自平衡配重处于最左端,整体零部件安装完成后进行动平衡配重,调整整体配重块8的重量和位置,使此位置时上传动的旋转动平衡为合理值。卷丝轮1的导程为4mm,重量为A公斤,设置丝杠2的导程为2mm,自平衡配重块4的重量为2A公斤,设置卷丝轮1和丝杠2的旋向为相反的。

当动力组件9驱动花键轴6进行旋转时,卷丝轮1也进行旋转,因为卷丝轮1与固定的铜螺母7通过螺纹齿连接,所以卷丝轮1向左运动一个距离X,因花键轴6与丝杠2通过键进行连接,此时丝杠2同时旋转驱动自平衡配重块4向右移动一个距离X/2,卷丝轮1和自平衡配重块4移动的距离和自身重量成一个正比关系,所以在左右方向上它们两个的和重心没有变化,上传动其余部件都为不可移动的,所以整体的重心没有变化,对整体动平衡合理值没有产生影响,以此类推,卷丝轮1在长晶过程中不管移动到任何位置,上传动部件相对旋转中心10都是动平衡的。通过此机构,保证了上传动部件任意位置的动平衡效果,为晶体生长打下一个良好的基础。

以上对本实用新型实施例所公开的技术方案进行了详细介绍,本文中应用了具体实施例对本实用新型实施例的原理以及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只适用于帮助理解本实用新型实施例的原理;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型实施例,在具体实施方式以及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

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