一种晶棒材料合成的固定结构的制作方法

文档序号:17962212发布日期:2019-06-19 01:55阅读:219来源:国知局
一种晶棒材料合成的固定结构的制作方法

本实用新型属于晶棒固定技术领域,具体涉及一种晶棒材料合成的固定结构。



背景技术:

晶棒材料合成的传统工艺为将半导体材料放入密闭的石英管内抽成真空,将石英管固定在熔炼管架内,然后推入熔炼合成炉进行高温摇摆熔炼,得到需要的半导体合成材料。

材料熔炼时温度高、时间长,石英管不容易固定,经常会造成石英管与熔炼管架碰撞损坏,高温材料会直接从破裂的石英管落入熔炼合成炉,造成材料报废。为此提出一种晶棒材料合成的固定结构来解决上述问题很有必要。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种晶棒材料合成的固定结构,以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种晶棒材料合成的固定结构,包括固定座和卡套,所述固定座的两侧固定有竖板,所述竖板上的螺纹孔内旋拧有螺纹杆,所述螺纹杆的末端与稳定夹套转动连接,所述稳定夹套与竖板之间固定有伸缩杆,所述竖板的上端固定有横板,所述竖板上固定有螺纹套筒,所述螺纹套筒内穿过有紧固螺纹柱,所述紧固螺纹柱插接于固定架上,所述紧固螺纹柱上位于固定架的两侧设置有限位块,所述固定架安装于卡套的上端,所述卡套内部固定有保温罩,所述卡套的下端固定有插接板,所述插接板插接于插接槽上,所述插插接槽开设于固定台上,所述固定台上位于插接槽之间开设有凹槽,所述凹槽内设置有石英管。

进一步地所述固定座上设置有夹持槽,所述固定座的底部为中空结构,且中空部与凹槽连通。

进一步地所述卡套盖接于石英管上,所述保温罩贴合于石英管上,所述稳定夹套套接与石英管的两端。

进一步地所述稳定夹套上远离石英管的一面固定有连接块,所述连接块与螺纹杆通过螺纹杆末端的转动球体转动连接。

进一步地所述固定台安装于固定座上,所述固定座通过夹持槽与熔炼炉夹固定。

进一步地,所述凹槽的两侧壁面为向外凹陷的圆弧面,所述凹槽的表面覆盖有保温层。

本实用新型的技术效果和优点:该晶棒材料合成的固定结构,通过将石英管放于固定台上的凹槽内,在石英管的两侧竖板上通过稳定夹套固定两侧,在石英管上方通过卡套的插接板插接于插接槽中固定,从四周对石英管进行固定,达到石英管与熔炼管架不会碰撞损坏的效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型稳定夹套的结构示意图;

图3为本实用新型卡套的结构侧视图;

图4为本实用新型固定台的结构俯视图。

图中:1固定座、2固定台、3螺纹杆、4竖板、5横板、6紧固螺纹柱、7 螺纹套筒、8稳定夹套、9石英管、10限位块、11固定架、12卡套、13夹持槽、 14伸缩杆、15连接块、16保温罩、17插接板、18插接槽、19凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-图4所示的一种晶棒材料合成的固定结构,包括固定座1和卡套12,所述固定座1的两侧固定有竖板4,所述竖板4上的螺纹孔内旋拧有螺纹杆3,所述螺纹杆3的末端与稳定夹套8转动连接,所述稳定夹套8与竖板4之间固定有伸缩杆14,所述竖板4的上端固定有横板5,所述竖板5上固定有螺纹套筒7,所述螺纹套筒内穿过有紧固螺纹柱6,所述紧固螺纹柱6插接于固定架11上,所述紧固螺纹柱6上位于固定架11的两侧设置有限位块10,所述固定架11安装于卡套12的上端,所述卡套12内部固定有保温罩 16,所述卡套12的下端固定有插接板17,所述插接板17插接于插接槽18上,所述插接槽18开设于固定台2上,所述固定台2上位于插接槽18之间开设有凹槽19,所述凹槽19内设置有石英管9。

具体的,所述固定座1上设置有夹持槽13,所述固定座1的底部为中空结构,且中空部与凹槽19连通。使得熔炼炉的热量更快的通过中空部传递至石英管上进行熔炼。

具体的,所述卡套12盖接于石英管9上,所述保温罩16贴合与石英管9 上,保温罩16贴合于石英管9上进行保温,所述稳定夹套8套接于石英管9的两端,固定石英管9的两端。

具体的,所述稳定夹套8上远离石英管9的一面固定有连接块15,所述连接块15与螺纹杆3通过螺纹杆3末端的转动球体转动连接。连接块15配合伸缩杆14使得在转动螺纹杆3时稳定夹套8保持不动,且同时可以横向移动。

具体的,所述固定台2安装于固定座1上,所述固定座1通过夹持槽13与熔炼炉夹固定。

具体的,所述凹槽19的两侧壁面为向外凹陷的圆弧面,设置圆弧面的侧壁使得凹槽19能与石英管9贴合紧密不会留空,起到较好的支撑承托作用,所述凹槽19的表面覆盖有保温层。设置保温层对石英管9进行保温,加快熔炼。

将石英管9放于固定台2的凹槽19内,两侧竖板4上的螺纹杆3,使稳定夹套8由两侧向内移动套接于石英管9的两端,横向固定石英管9;在横板5上的螺纹套筒7内转动紧固螺纹柱6使得卡套12向下移动,卡套12的插接板插接于固定台2上的插接槽18内,保温罩16与石英管贴合,纵向固定石英管9,通过横向和纵向对石英管9进行固定,使石英管9在摇摆熔炼时不会脱落熔炼固定架,且不会发生碰撞。

最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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