一种自动高温扩散装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种自动高温扩散装置，包括预热仓，所述气缸通过连接杆连接有贯穿预热仓和炉管的固定架，且所述固定架的上部和下部内腔分别设有进气管和排气管，该自动高温扩散装置通过气缸连接的连接杆带动固定架，以实现预热仓和炉管可以同时实现温度扩散，以便于达到设备的需求，固定架上下部内腔设有的进气管和排气管可以随着固定架移动，进气管和排气管右侧设有的进气孔和排气孔也可以同时进行工作，且排气孔还可以排出预热仓内腔的杂质，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害，使得气体可以通过排气管上的排气孔快速排放，本装置优势明显，值得以后推广使用。
【专利说明】
一种自动高温扩散装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及高温扩散技术领域，具体为一种自动高温扩散装置。
【背景技术】
[0002]高温减压扩散炉，与传统的高温常压扩散炉相比，具有产量高、工艺片均匀性好、晶格缺陷少、化学品和特气损耗大幅减少、维护周期长等优点，现有的都是将石英管口加工成法兰状，通过将耐高温耐腐蚀氟橡胶密封圈安装到石英门上的燕尾槽后，将装有密封圈的石英门与石英管的法兰端面贴紧形成一个密封结构，这种结构中用来保护密封圈的局部低温的隔热设计容易使液态磷源扩散工艺中的石英管口冷凝偏磷酸，影响工艺质量。而且这种设计虽然能保证反应腔处于密封状态时密封圈处于使用温度范围，在扩散的同时会造成资源的浪费，不能加以利用，且不能实现自动化，为此，我们提出自动高温扩散装置。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种自动高温扩散装置，以解决上述【背景技术】中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种自动高温扩散装置，包括预热仓，所述预热仓的内腔设有炉管，所述炉管的内腔中部安装有加热仓，所述加热仓的内腔上端安装有石英舟，所述石英舟的上端安装有硅片，所述预热仓的外侧安装有气缸，所述气缸通过连接杆连接有贯穿预热仓和炉管的固定架，所述固定架呈C字型，且所述固定架的上部和下部内腔分别设有进气管和排气管，所述进气管的右侧设有进气孔，所述进气孔位于硅片的正上方，所述排气管的右侧设有排气孔，所述预热仓的内腔底端一侧设有出气口。
[0005]优选的，所述出气口的外侧设有风罩，风罩的表面设有滤网。
[0006]优选的，所述固定架与预热仓和炉管的结合处均设有密封圈。
[0007]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:该自动高温扩散装置通过气缸连接的连接杆带动固定架，以实现预热仓和炉管可以同时实现温度扩散，以便于达到设备的需求，固定架上下部内腔设有的进气管和排气管可以随着固定架移动，进气管和排气管右侧设有的进气孔和排气孔也可以同时进行工作，且排气孔还可以排出预热仓内腔的杂质，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害，使得气体可以通过排气管上的排气孔快速排放，本装置优势明显，值得以后推广使用。
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型结构不意图。
[0009]图中:I气缸、2进气管、3连接杆、4排气管、5固定架、6排气孔、7进气孔、8硅片、9石英舟、10加热仓、11预热仓、12炉管、13出气口。
【具体实施方式】
[0010]下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0011 ]请参阅图1，本实用新型提供一种技术方案:一种自动高温扩散装置，包括预热仓11，所述预热仓11的内腔设有炉管12，所述炉管12的内腔中部安装有加热仓10，所述加热仓10的内腔上端安装有石英舟9，所述石英舟9的上端安装有硅片8，所述预热仓11的外侧安装有气缸I，所述气缸I通过连接杆3连接有贯穿预热仓11和炉管12的固定架5，所述固定架5呈C字型，且所述固定架5的上部和下部内腔分别设有进气管2和排气管4，所述进气管2的右侧设有进气孔7，所述进气孔7位于硅片8的正上方，所述排气管4的右侧设有排气孔6，所述预热仓11的内腔底端一侧设有出气口 13。
[0012]进一步的，所述出气口13的外侧设有风罩，风罩的表面设有滤网，可以更有效率的对内腔的杂物进行处理，并且方便日后的打扫与清理，提供了便捷。
[0013]进一步的，所述固定架5与预热仓11和炉管12的结合处均设有密封圈，避免在工作的时候造成温度的消散，还为了保证设备的密封性，使得整个装置更加具有完整性，且性能效果更加完美。
[0014]该自动高温扩散装置通过气缸I连接的连接杆3带动固定架5，以实现预热仓11和炉管12可以同时实现温度扩散，以便于达到设备的需求，固定架5上下部内腔设有的进气管2和排气管4可以随着固定架5移动，进气管2和排气管4右侧设有的进气孔7和排气孔6也可以同时进行工作，且排气孔6还可以排出预热仓11内腔的杂质，有利于提高设备的正常运行率，同时也有利于降低偏磷酸对人体的危害，使得气体可以通过排气管4上的排气孔6快速排放，本装置优势明显，值得以后推广使用。
[0015]尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
【主权项】
1.一种自动高温扩散装置，包括预热仓(11)，其特征在于:所述预热仓(11)的内腔设有炉管(12)，所述炉管(12)的内腔中部安装有加热仓(10)，所述加热仓(10)的内腔上端安装有石英舟(9)，所述石英舟(9)的上端安装有硅片(8)，所述预热仓(11)的外侧安装有气缸(I)，所述气缸(I)通过连接杆(3)连接有贯穿预热仓(11)和炉管(12)的固定架(5)，所述固定架(5)呈C字型，且所述固定架(5)的上部和下部内腔分别设有进气管(2)和排气管(4)，所述进气管(2)的右侧设有进气孔(7)，所述进气孔(7)位于硅片(8)的正上方，所述排气管(4)的右侧设有排气孔(6)，所述预热仓(11)的内腔底端一侧设有出气口( 13)。2.根据权利要求1所述的一种自动高温扩散装置，其特征在于:所述出气口(13)的外侧设有风罩，风罩的表面设有滤网。3.根据权利要求1所述的一种自动高温扩散装置，其特征在于:所述固定架(5)与预热仓(11)和炉管(12)的结合处均设有密封圈。
【文档编号】C30B31/16GK205529149SQ201620330824
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月19日
【发明人】蔡伦
【申请人】温州巨亮光伏科技有限公司