用于从粉末供应源运送粉末的装置及方法
【专利摘要】公开了一种用于运送粉末（1）的装置及方法。提供有用于粉末（1）的容器（2），其中，粉末（1）在容器（2）中限定表面（18）。抽吸器件（6）具有用于从表面（18）吸入粉末（1）的抽吸口（7）。运动器件（44）用于产生抽吸口（7）与粉末（1）的表面（18）之间的相对运动（8）。在相对运动（8）期间，粉末（1）被吸入，相对运动（8）的速度（V）能够以存在有恒定的质量流量（M）的方式变化。
【专利说明】用于从粉末供应源运送粉末的装置及方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及用于运送粉末的装置。特别地，本发明的装置包括粉末的容器。在该容器内，粉末限定出表面。该装置的抽吸器件设置有用于从该表面抽吸粉末的抽吸口。
[0002]本发明还涉及一种用于从粉末容器运送粉末的方法。
【背景技术】
[0003]粉末运送装置及方法被用于例如运送一定剂量的细粒粉末，以便进行等离子涂覆处理。为了防止粉末运送装置停顿，应当避免粉末沉积和结聚。
[0004]通过已知的运送装置对具有小于150 μ m的粒度的细粒粉末进行运送会受到与所运送的粉末的质量流量的精度有关的诸多限制。对粒度低于20 μ m并且馈送速率小于IOg/min的粉粒而言，没有技术上理想的解决方案。在低于该粒度的情况下，粉末颗粒之间的粘附力显著增大。粉粒的表面相对于体积急剧增大。边长为Icm的立方体具有0.006m2的表面。然而，由边长为五纳米的粉粒堆叠的相同的体积具有2400m2的表面积。表面粘附力的急剧增大妨碍了这种小粉粒的运送。粉末/气体混合物的结聚可以通过连续地将能量耦合到粉末中，特别是通过保持高流速(其涉及到高的气体或空气消耗)而避免。然而，高容量气流对许多种后续工作过程(诸如举例来说等离子涂覆处理或激光涂覆处理)而言是不利的。此外，高容量气流下的粉末运送需要应用更多的能量。而且，少量的细粉末不能够在气体中被分散。
[0005]德国专利申请DE4423197A1公开了一种用于对呈杆式长状的物品进行喷涂的粉末泵。该粉末泵在前侧装载有粉末入口，粉末通过该入口从朝上敞开的粉末容器被抽吸。随后，粉末通过粉末泵的内管被运送到消耗装置。粉末运送自身通过在粉末泵内产生真空而驱动。真空由设置在粉末入口附近的喷射器喷嘴产生。
[0006]德国专利申请DE102006002582A1公开了一种具有流化单元的粉末运送器。该流化单元设置在粉末运送器的粉末入口管的端部处，并且在粉末入口管的抽吸区域中将流化空气吹入到粉末供应源中使得粉末被流化。这样流化的粉末能够更容易地被抽吸和运送。流化单元设置在粉末入口上方并且与粉末入口同心。因此，围绕引入口形成了流化粉末的屏幕状区域。粉末运送通过压缩空气喷射器来执行，该压缩空气喷射器连接到粉末入口管的与流化单元相反的端部。根据粉末运送器的构造，在粉末入口的正下方没有流化发生。尽管环状流化增强了对粉末的抽吸，但粉末运送缺乏与随着时间的推移所抽吸的粉末的量有关的恒定性。此外，粉末结聚物仅仅被不充分地分解并且在很大程度上通过粉末抽吸口直接抽吸。粉末结聚物会引起问题和误操作，在后续的以涂覆恒定厚度的涂层为目的的涂覆处理中尤其会引起问题和误操作。
【发明内容】
[0007]鉴于上述现有技术，本发明的目的是提供一种用于运送粉末的装置，使得所运送的粉末的量随着时间的推移是恒定的。[0008]这个目的通过具有权利要求1的特征的装置实现。
[0009]本发明的另一目的是提供一种用于运送粉末的方法，使得随着时间的推移所运送的粉末的量符合预定值。
[0010]根据本发明，粉末仅仅从存储在容器中的粉末的表面被抽吸。粉末也可以从粉末的覆盖层被抽吸或吸出，其中，覆盖层包括粉末表面。特别地，当从由细粒的、不可流动的粉末组成的粉末供应源的下粉末层进行抽吸时，会形成空泡(cavities)，而除了在周围的粉末供应源上作用高强度动作之外无它法能够去除所述空泡。这些空泡导致在粉末运送期间粉末流(以及粉末的质量流速)不均匀。运动器件在对粉末进行抽吸期间提供了抽吸器件的抽吸口与粉末的表面或粉末的覆盖层之间的相对运动。这样，机械能被耦合到需要防止在其覆盖层内形成空泡的粉末中。运动器件用于在对粉末进行抽吸期间驱动抽吸口与粉末的表面之间的相对运动。该相对运动的速度能够变化，使得从第一工作空间被运送到第二工作空间的粉末的预定质量流量得到保持，由此将容器内的粉末输送到基质。
[0011]粉末抽吸技术的选择依赖于粉末颗粒的特定质量和粒度。根据一个实施方式，抽吸器件可以与粉末的表面间隔开。替代性地，抽吸器件可以与粉末的表面接触。并且，如已经在上面描述过的，抽吸器件可以伸入到粉末的覆盖层中。覆盖层内的粉末抽吸优选地尽可能靠近粉末表面执行。抽吸器件的抽吸口与粉末供应源的表面之间的距离的范围优选地为Imm至10mm。同样对粒度的范围为0.01 μ m到100 μ m的细粒粉末而言，靠近粉末的表面对粉末进行抽吸确保了抽吸器件产生的覆盖层中的痕迹是朝向粉末表面敞开的或保持朝向粉末表面敞开。
[0012]如已经提到的，还能够想象到的是引导抽吸器件(实施为例如粉末管嘴或抽吸针)接触粉末表面。当将被运送的粉末非常轻时，可以将抽吸器件弓I导成不直接接触粉末表面。在这种情况下，抽吸器件通常在粉末表面的上方间隔开并且引导成在粉末表面的上方大约
0.2_。因此，在抽吸器件与粉末表面之间不存在直接机械接触。通过抽吸作用，粉末从粉末表面被剥离并且被输送到抽吸器件中。
[0013]所运送的粉末的容积流量可以通过调节抽吸口与粉末供应源之间的相对运动的速度而改变。此外，抽吸器件的几何形状以及抽吸器件的抽吸口的直径对其所运送的粉末的容积流量具有重要影响。从抽吸器件的抽吸口到粉末供应源的表面的优选的距离同样依赖于上述参数。较高的容积流量允许增大距抽吸口的距离，并且由此使得能够在抽吸器件在覆盖层中进行相对运动期间抽吸增大厚度的粉末层。
[0014]允许抽吸器件沿X方向、Y方向和Z方向的所述相对运动的三轴系统对于实施运动器件是特别可行的。需要X/Y运动以便驱动抽吸口与粉末表面或覆盖层内的粉末之间的水平相对运动，而Z轴允许对抽吸口进行竖向调节，以便确保距粉末表面的恒定距离、与粉末表面的连续接触或抽吸器件浸没到覆盖层中的恒定深度。当粉末层已经被抽吸器件完全移除时，抽吸口沿着Z轴的跟进是必要的。
[0015]抽吸器件优选地具有针状的、空心圆筒状本体，该本体具有两个端面。这些端面中的一个端面形成抽吸口，而另一端面优选地通过柔性抽吸管路连接到泵的抽吸侧。粉末通过该泵的压力侧向下游运送以进行后续处理，特别是等离子涂覆处理。
[0016]在粉末供给源中沿着Z轴跟进抽吸口可以通过在与抽吸口相距一定距离处将浮表设置在抽吸器件上而自动化。浮表浮在粉末供应源的表面上并由此适应于粉末供应源的表面形貌。浮动确保了覆盖层内的抽吸口与粉末表面之间的恒定的距离。
[0017]设置第一工作空间与第二工作空间之间的压力差用于将粉末从容器中的粉末的表面运送到基质的表面。用于设置该压力差的一个可能的器件为隔膜泵。
[0018]在该隔膜泵中被运送的粉末通过隔膜泵的隔膜与隔膜泵的驱动装置分隔开。依靠该分隔隔膜，保护了驱动装置不受有害影响，尤其是由细粒粉末造成的有害影响。相反地，细粒粉末与驱动装置分隔并且由此避免了可能的有不利影响的梗塞，特别是避开了驱动装置的润滑剂。隔膜优选地被气动地或机械地偏转。为了运送细粉末，隔膜的振荡频率的范围优选地为IOHz到200Hz而使泵容量的范围为0.1ml到20ml。
[0019]压力管路内的粉末的不期望的脉动可以通过将抽吸器件连接到为移相操作设立的至少两个隔膜泵而避免或至少减小。隔膜泵的高频率增强了少量的细粒粉末的连续运送。为了增强细粉末的连续的并且低脉动的运送，有利的是通过尽可能短的抽吸管路将每个隔膜泵的抽吸侧连接到抽吸器件。已经发现的是抽吸管路的适合的长度的范围介于Icm至50cm。而且，压力管路的长度应当优选地为至少抽吸管路的10倍以增强低脉动的运送。在抽吸管路和压力管路的内径为2.5mm的测试中，就长度为3m的压力管路而言没有获得低脉动的运送，而使压力管路的长度大于IOm实现了好的结果。在这些测试中，抽吸管路的长度的范围为0.5m至lm。从这些测试中能够得到的结论是，如果每个隔膜泵都将其压力侧连接至压力管路，并且如果这些压力管路的长度超出其直径至少2000倍，则细粉末的运送是均匀的并且脉动是低的。
[0020]为了防止粉末在运送路径中沉积，装置的抽吸器件和/或抽吸管路和/或压力管路优选地联接至振动发生器。在抽吸器件联接至振动发生器的情况下，靠近粉末表面的粉末或覆盖层中的粉末在抽吸口附近被疏松，并且粉末结聚物在被吸入到抽吸器件之前被分解。
[0021]由抽吸器件执行的叠加的振荡运动(诸如举例来说圆形振荡)获得了多个与所抽吸和运送的粉末的量有关的有益效果。由于粉末表面被整平，根据预定质量流速的粉末的质量流速的恒定性能够得到保持。而且，每单位时间由抽吸器件扫掠的表面通过振荡运动增加，由此使粉末表面的形貌中的可能的不连续性得到平衡。两个效果都使得能够保持连续的、预定的粉末馈送速率(即，预定质量流量)。
[0022]在各种振动发生器中，所使用的为例如机械振荡器或压电振荡器。
[0023]细粒粉末的运送能够通过喷射气体而对吸入到抽吸器件和/或抽吸器件的下游管路中的粉末进行流化而改善。该流化气体特别地以范围为11/min到501/min的低容积
流量喷射。
[0024]对增强的粉末流化而言，抽吸器件可以通过空心针来实施。内空心针用作抽吸器件，而流化气体通过围绕该内空心针的外空心针来供应。
[0025]为了确保粉末的预定质量流量从容器到基质得以保持，容器被设置在称量计上。该称量计与控制运动器件或多轴系统的测量和控制电子仪器连接，使得通过调节抽吸器件的相对运动的速度，从粉末的表面到基质的表面的粉末的预定质量流量得到调节或保持。
[0026]覆盖层中的水平相对运动通过运动器件以圆形方式执行。为了使粉末表面的形貌变平，可以提供用于整平粉末表面的装置。该整平装置可以为例如刮耙，该刮耙相对于粉末表面运动并且将粉末从邻近区域推动到由抽吸器件留下的覆盖层中的痕迹中。因此，在360°的圆形相对运动之后，仅需要少量的抽吸器件沿着Z轴的跟进。
[0027]如果由运动器件执行的水平相对运动在覆盖层中呈螺旋状，则可以在没有机械动作作用到邻近于由抽吸器件产生的痕迹的区域上的情况下将整个粉末层从粉末供应源的整个表面移除。
[0028]用于运送粉末的方法包括以下步骤:
[0029]通过抽吸器件的抽吸口从设置在容器内的粉末的表面抽吸粉末；
[0030]在对粉末进行抽吸的同时产生抽吸口与粉末的表面之间的相对运动；
[0031]在对粉末进行抽吸的同时连续地对容器内的粉末的重量进行测量，并且将产生的测量数据传输至测量和控制电子仪器；以及
[0032]设置抽吸口与粉末的表面之间的相对运动的速度，使得来自容器的粉末的预定质
量流量得以获得。
【专利附图】
【附图说明】
[0033]随后，将参照附图对本发明进行更详细的说明。
[0034]图1示出了用于运送细粒粉末的本发明装置的示意性侧视图；
[0035]图2示出了根据图1的用于将细粒粉末运送到等离子涂覆系统的装置；
[0036]图3a示出了抽吸器件相对于粉末供应源的表面的螺旋运动的示图；
[0037]图3b示出了抽吸器件相对于粉末供应源的表面的曲流状运动的示图；
[0038]图3c示出了抽吸器件相对于粉末供应源的表面的线性运动的示图；
[0039]图4a示出了本发明装置执行抽吸器件相对于粉末供应源的表面的圆形运动的另一实施方式的不意性侧视图；
[0040]图4b示出了图4a中提出的装置的俯视图；
[0041]图5示出了用于设置由抽吸器件运送的粉末的瞬时预定质量流量的控制回路的示意性示图。
【具体实施方式】
[0042]图1示出了用于运送细粒的、不可流动的粉末I的装置，该粉末I的粒度的范围为
0.01 μ m到100 μ m。粉末I存储在容器2中。粉末供应源具有覆盖层3，该覆盖层3具有(在图1中没有按比例表示的)20mm的恒定厚度4。在覆盖层3或粉末I的表面18下方存在有粉末供应源的下层5，在开始从粉末供应源抽吸粉末I时，该下层5的厚度比覆盖层3的厚度4大出多倍。
[0043]该装置还包括抽吸器件6，该抽吸器件6具有用于将粉末I抽吸出容器2的抽吸口 7。在所描述的实施方式中，抽吸器件6被设计为空心针。空心针设置在用作运动器件44的多轴系统41上，该运动器件44用于驱动覆盖层3内的抽吸口 7与粉末I之间的沿X方向X和Y方向Y的相对运动8。同样可以想象到的是，抽吸器件6的抽吸口 7被引导成距粉末I的表面18的距离为Omm或距粉末I的表面18有较小的间距。当粉末I的粉粒足够轻而易于从粉末I的表面18所位于的第一工作室51输送到基质36的表面35 (参见图2)所设置于的第二工作室52时，使抽吸口 7在粉末I的表面18上方间隔开一定距离是可行的。粉末I的表面18与基质36的表面35之间存在有压力差Δρ。在这种情况下,粉末I的粉粒从表面18被抽吸。
[0044]在抽吸口 7的相反端，用于以粉末I的质量流量dM/dt供应流化气体10的气体供应源9设置在抽吸器件6上。此外，机械振动发生器11设置在抽吸器件6上。该机械振动发生器11对通过抽吸器件6的粉末I中的粉粒结聚进行分解并且还疏松在抽吸口 7附近的表面18处或覆盖层3中的粉末I。
[0045]用于调节粉末I的表面18与基质36的表面35之间以及第一工作室51与第二工作室52之间的压力差Λρ的器件为例如隔膜泵12。根据本实施方式，该隔膜泵12的抽吸侧13通过抽吸管路14连接至抽吸器件6。在隔膜泵12的压力侧15连接有压力管路16。该压力管路16通向例如图1中未示出的等离子涂覆装置17。该等离子涂覆装置17的功能和操作在图2中更详细地示出并且进行了相关描述。
[0046]通过图1中未不出的多轴系统41,在覆盖层3中以及相对于表面进行的抽吸口 7与粉末供应源之间的相对运动8分别在由隔膜泵12驱动的对粉末I的抽吸期间执行。遍及抽吸口 7没入覆盖层3的水平运动，抽吸口 7的浸没深度介于Imm与IOmm之间。
[0047]图1中示出的装置可以包括若干个抽吸器件6，所述若干个抽吸器件6通过一个或多个多轴系统41而相对于粉末供应源并且在覆盖层3内或相对于粉末I的表面18同时运动。用于产生相对运动8的多轴系统41可以例如通过门架系统(portal system)或机器人的机械臂来实施。
[0048]多轴系统41能够执行例如如图3a至图3c所示的在抽吸器件6与粉末I的表面18之间的相对运动8。为了经过粉末I的整个表面18抽吸完整的粉末层P (参见图1)，相对运动8由沿X方向X和Y方向Y的线性水平运动分量的叠加组成，如能够从图3a至图3c的俯视示意图中观察到的。对粉末层P的移除露出了新的表面F，然后该表面F形成了粉末供应源的表面18。抽吸口 7通过多轴系统41沿Z方向跟进，以便将抽吸口 7定位在向上由新的表面18限定的新的覆盖层3中(与图1进行对比)。随后，抽吸器件6接近细粒粉末I的表面从新的覆盖层3对细粒度粉末I进行抽吸。抽吸器件6可以如何与粉末I间隔开或浸没到粉末I中已经在上文中进行了详细说明。尽管图1和图2示出了将抽吸器件6浸没到粉末I中，但这不应当认为是对本发明的限制。
[0049]图3a示出了在覆盖层3内或相对于粉末I的表面18的水平螺旋状相对运动8，该相对运动8也可以由适当控制的多轴系统41产生。图3b示出了在覆盖层3内或相对于粉末I的表面18的水平曲流状相对运动8。图3c示出了在覆盖层内或相对于粉末I的表面18的水平线性相对运动8，该水平线性相对运动8由多条直线轨迹50组成。所有可能的轨迹50都沿Z方向Z跟进。
[0050]图4a和图4b示出了本发明装置的附加实施方式，本发明装置执行抽吸器件6相对于容器2中的粉末I的表面18的圆形相对运动8(由沿X方向X和Y方向Y的叠加的运动分量组成)。该实施方式的与图1中示出的特征相对应的特征带有相一致的附图标记并且已经在上下文中进行了描述。
[0051]本发明装置的此处示出的实施方式包括旋转驱动器20，圆筒状容器2能够通过该旋转驱动器20绕其旋转轴线21旋转。然而，在多数情况下，可以省去旋转驱动器20。
[0052]在Z方向Z上，高度可调节抽吸器件6设置在框架22的水平悬臂24上。抽吸口7面向粉末I的表面18，并且能够伸入到覆盖层3内，或者如图4a所示仅接触粉末I的表面18。
[0053]同样在图4a和图4b中示出的实施方式的情况下，抽吸器件6可以通过相关联的运动器件44沿Z方向Z跟进。
[0054]图2示出了本发明装置的应用示例。隔膜泵12的压力侧15通过压力管路16连接至射束发生器31，该射束发生器31用于通过电弧放电产生束状等离子束32。粉末/气体混合物在射束发生器31的出口 34的馈入区域中通过喷嘴33喷射到等离子束32中。细粒粉末I通过等离子束32作为涂覆层37沉积在基质36的表面35上。射束发生器31具有用于产生等离子束32的内杆状电极38。内杆状电极38由套壳电极39包围并且相对于套壳电极39电绝缘。工作气体40从相反于喷嘴33定位的开口流经套壳电极39。
[0055]抽吸口 7至粉末I的表面18之间的在覆盖层3的内部的距离或抽吸口 7相对于粉末I的表面18的距离可以通过还能够沿Z方向驱动的多轴系统41调节。
[0056]图5示出了示意性设备23，通过该设备23能够调节由抽吸器件6运送的粉末I的预定质量流量dM/dt。容纳有粉末I的容器2放立在称量计42上。通过在对粉末I进行抽吸期间连续称量容器中的粉末I的质量M，能够确定每单位时间所提取的粉末I的量。由称量计获得的测量数据随后被传输至测量和控制电子仪器43。在称量计42与测量和控制电子仪器43之间提供有运算放大器26。称量计42连接到测量和控制电子仪器43，测量和控制电子仪器43连接多轴系统41，使得能够控制相对运动8的速度V，从而粉末I从其表面18至基质36的表面35的预定质量流量dM/dt得到保持。测量和控制电子仪器43接收的质量流量dM/dt随时间变化的实际值I (所运送的质量M相对于时间T的一阶导数)。质量流量的变化d2M/d2t是所运送的质量M相对于时间T的二阶导数。测量和控制电子仪器43执行实际值I与设置值S之间的比较。隔膜泵同样向测量和控制电子仪器43提供关于其状态的信息。用于相对运动8的速度V的控制量Vs通过实际值I与设置值S之间的比较得出。
[0057]这样确定的控制量Vs用于在对粉末I的抽吸保持不中断的同时控制和调整驱动(在抽吸器件6或抽吸口 7与粉末I的表面18之间进行的)相对运动8的运动器件44。基于控制量Vs的值，相对运动8的速度V得到调节，使得瞬时预定质量流量dM/dt得到保持。
[0058]附图标记列表
[0059]
【权利要求】
1.一种用于运送粉末(I)的装置，包括: 用于所述粉末(I)的容器(2)，其中，所述容器(2)中的所述粉末(I)限定表面(18);以及 抽吸器件(6)，所述抽吸器件(6)具有用于从所述表面(18)抽吸所述粉末(I)的抽吸口(7)， 其特征在于， 设置有用于在对所述粉末(I)进行抽吸期间产生所述抽吸口(7)与所述粉末(I)的所述表面(18 )之间的相对运动(8 )的运动器件(44 )，其中，所述相对运动(8 )的速度(V)是可变的以保持预定质量流量(dM/dt)。
2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)与所述粉末(I)的所述表面(18)间隔开。
3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)接触所述粉末(I)的所述表面(18)。
4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)插入到所述粉末(I)的覆盖层(3)中。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，所述运动器件(44)包括用于驱动所述抽吸口(7)与所述粉末(I )的所述表面(18)之间的所述相对运动的多轴系统(41)。
6.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)具有空心圆筒状本体，所述空心圆筒状本体具有两个正面，其中，所述两个正面中的一个正面形成所述抽吸口(7)。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中，第一工作空间(51)中的所述粉末Cl)的所述表面(18)与第二工作空间(52)中的基质(36)的表面(35)之间的压力差(Λρ)能够得到保持，由此所述粉末(I)能够被运送至所述第二工作空间(52)。
8.根据权利要求7中任一项所述的装置，其中，存在有至少一个用于产生所述压力差(Δρ)的隔膜泵(12)。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)和/或抽吸管路(7)和/或压力管路(16)与振动发生器(11)连接。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的装置，其中，所述抽吸器件(6)包括流化气体(10)的气体入口(9)。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的装置，其中，所述容器(2)设置在称量计(42)上，所述称量计(42)连接至用于控制多轴系统(41)的测量和控制电子仪器(43)，使得所述粉末(I)的从所述粉末(I)的所述表面(18)到所述基质(36)的所述表面(35)的所述预定质量流量(dM/dt)能够通过所述相对运动(8)的所述速度(V)得到保持。
12.一种用于运送粉末(I)的方法，包括以下步骤: 通过抽吸器件(6 )的抽吸口( 7 )从设置在容器(2 )内的所述粉末(I)的表面(18 )抽吸粉末(I); 在对所述粉末(I)进行抽吸的同时产生所述抽吸口(7)与所述粉末(I)的所述表面(18)之间的相对运动(8)； 在吸取所述粉末(I)期间连续地对所述容器(2)内的所述粉末(I)的重量进行连续测量，并且将产生的测量数据传输至测量和控制电子仪器(43);以及 设置所述抽吸口(7)与所述粉末(I)的所述表面(18)之间的所述相对运动(8)的速度 (V)，以使得所述粉末(I)以预定质量流量(dM/dt)离开所述容器(2 )。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述容器(2)中的所述粉末(I)的质量(MtMA瞬时变化通过称量计(42 )进行测量，并且所述测量和控制电子仪器(43 )对所述速度(V)进行控制以设置来自所述容器(2)的所述粉末(I)的所述预定质量流量(dM/dt)。
14.根据权利要求12至14所述的方法，其中，第一工作室(51)中的所述粉末(I)的所述表面(18)与第二工作室(52)中的基质(36)的表面(35)之间的压力差(Λ p)被保持，由此所述粉末(I)被运送至所述基质(36 )。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述压力差(Λp)通过至少一个隔膜泵(12)产生。
16.根据权利要求12至15中任一项所述的方法，其中，所抽吸的粉末(I)通过馈入流化气体(10)而在所述抽吸器件(6)和/或设置在所述抽吸器件(6)的下游的管路中被流化。
【文档编号】B05B12/08GK103476511SQ201280018660
【公开日】2013年12月25日 申请日期:2012年3月13日 优先权日:2011年4月15日
【发明者】斯蒂芬·内特斯黑姆 申请人:莱茵豪森等离子有限公司