本发明属于薄膜
技术领域：
，具体涉及一种po面材uv胶带及其制备方法。
背景技术：
：uv胶带是晶圆(wafer，硅半导体集成电路制作所用的硅晶片)加工过程中不可或缺的一种材料，用于将晶圆固定于切割机台上进行切割，当切割完毕后，经由紫外线(uv光线以下称紫外线)照射，此时胶带由极高黏着力急速降低近乎于零，以便于进行下一个制程挑拣。目前中国所使用的uv胶带通常来自日本，其结构包括pvc膜(聚氯乙烯膜)面材、uv胶层和离型保护膜(pet膜)，在使用时为将离型保护膜撕去后黏贴于晶圆背面，当加工完成后，经由紫外线从pvc方向照射，uv胶层的黏着力急速降低近乎于零，以便于挑拣。但是pvc面材的uv胶带含氯较高且很难降解，不能直接焚化或掩埋，造成了极大的环境污染问题。为避免环境污染问题，替代方案是采用环保型的不含卤素的po(聚烯烃树脂)膜作为uv胶带的面材，但是采用po膜作为uv胶带的面材存在以下技术难点：1、uv胶层对po膜的附着力不足，导致晶圆切割时易脱胶；2、uv胶层硬度难以控制；uv胶层过软时，对晶圆的黏着力过高，导致晶圆切割时易残胶，易于与铁环贴合脱离；而uv胶层过硬时易导致离型保护膜粘黏；因此uv胶层的玻化温度以及固化剂的添加量均需严格控制；3、切割晶圆时po膜或uv胶层易震动，进而导致背崩现象；4、po膜扩张不均匀，导致uv胶层经过紫外线照射后无法降低黏着力或降低黏着力的幅度不大；而且纵向及横向扩张不均，还会导致在挑拣晶粒时发生漏挑或断晶。综上，采用环保型的po膜作为uv胶带的面材仍然面临诸多技术难点，急需新的方案解决上述问题。技术实现要素：针对现有技术中uv胶层对po膜附着力不足以及po膜扩张不均匀的技术问题，本发明的目的是提供一种po面材uv胶带。本发明的po面材uv胶带包括由上下依次叠置的面材、uv胶层和pet离型保护膜，其特征在于，所述面材为po膜，其组分及质量份配比为：聚丙烯(c3)10～40份；乙烯含量为45～55wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c5)30～70份；乙烯含量为8～15wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c9)10～40份；乙烯含量为3～7wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c19)0～10份；所述uv胶层的组分及质量份配比为：玻化温度为-20～-30℃的丙烯酸树脂50～100份；环氧树脂交联剂0～5份；碳-碳双键多元不饱和树脂1～50份；光起始剂混合液0.5～10份。需要说明的是，上述po膜与uv胶层的配方之间相互独立，两层材质的组分的质量份数无关联性，即上述的质量份数仅表示po膜内各组分的质量配比关系，或者uv胶层内各组分的质量配比关系。较佳的，po膜的组分及质量份配比为：聚丙烯(c3)20～30份；乙烯含量为45～55wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c5)35～50份；乙烯含量为8～15wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c9)10～35份；乙烯含量为3～7wt％的乙烯-丙烯的共聚物(c19)5～10份。所述的乙烯-丙烯共聚物可以是嵌段共聚物，也可以是无规共聚物。通过控制聚丙烯以及不同混合比的乙烯-丙烯共聚物的配比，可使得制备的po膜横向和纵向的张力更加均匀，同时也可改善其与uv胶层的附着力。较佳的，所述uv胶层的组分及质量份配比为：玻化温度为-20～-30℃的丙烯酸树脂70～90份；环氧树脂交联剂2～4份；碳-碳双键多元不饱和树脂10～30份；光起始剂混合液2～5份。较佳的，丙烯酸树脂为聚丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯-丙烯酸丁酯共聚物或丙烯酸甲酯-丙烯酸异辛酯共聚物。较佳的，环氧树脂交联剂化学分子式为：本发明利用环氧树脂交联剂与丙烯酸树脂缩聚交联反应，使得胶料网状交连，并产生羟基官能团，可以与po膜间的范德瓦尔力大幅提高，使附着力与内聚力大幅增强，进而使用本发明的uv胶带时能加工出超薄微成品晶圆。较佳的，所述的碳-碳双键多元不饱和树脂是指单一分子含多个尤其是指6个及以上碳-碳双键的多元不饱和树脂，可有效增加光交连反应，进而有效提高uv胶层的uv照射反应性，照射后黏着力可降低至10～30g/20mm，便于使用时晶圆的挑拣。而现有技术中多采用3个碳-碳双键的不饱和树脂，胶带降黏差；照射紫外线后黏着力约50g/20mm，完全无法挑拣。较佳的，所述光起始剂混合液的组分及质量份配比为：2-羟基-2-甲基苯基丙酮1～30份；(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦0～10份；2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮0～10份。上述三种组分的质量份也仅表示上述光起始剂混合液的组分之间的质量配比关系。进一步的，所述光起始剂混合液的组分及质量份配比为：2-羟基-2-甲基苯基丙酮5～20份；(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦0.5～2份；2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮5～8份。较佳的，所述光起始剂混合液的吸收波长为265nm～410nm。较佳的，所述pet离型保护膜、uv胶层和po膜的厚度比为28～29：7.5～8.5：63～65。本发明的目的还在于提供所述po面材uv胶带的一种制备方法，其特征在于，所述方法包括：步骤s1、按组分及质量份配比，将聚丙烯和乙烯-丙烯共聚物(c5)、(c9)、(c19)混合，采用流延法制备po膜；步骤s2、po膜通过电晕处理装置进行电晕处理；步骤s3、电晕后的po膜输送至uv胶层导向辊，通过uv胶层导向辊在po膜的表面涂敷按组分及质量份配比配好的uv胶层，然后导入烘箱中进行干燥处理；步骤s4、干燥处理后，涂覆有uv胶层的po膜传送至压胶辊，同时，将pet离型保护膜与涂覆有uv胶层的po膜进行压合处理，形成所述po面材uv胶带。较佳的，步骤s2中，所述uv胶层涂覆在po膜表面的厚度为8μm-25μm。较佳的，步骤s1中，电晕处理控制所述po膜表面张力为42达因以上。本发明的积极进步效果：1、本发明采用更加环保的po膜代替pvc膜作为uv胶带的面材，所述的po膜由聚丙烯和乙烯-丙烯共聚物混合制得，不仅具有较佳的张力强度，同时伸长率远远高于现有的pvc面材，且纵向及横向的伸长率相当接近，扩张具有良好的均匀性，可有效避免uv胶层经过紫外线照射后无法降低黏着力或降低黏着力的幅度不大的现象。尤其是采用c3、c5、c9、c19等聚丙烯混合，经过流延之生产方式做成薄膜，其物性为纵向张力强度1300g、横向张力强度1400g；纵向伸长率800％、横向伸长率960％。2、本发明的uv胶层中，采用玻化温度为-20～-30℃的丙烯酸树脂，可改善胶层过软或过硬的缺点，避免晶圆背面残胶与铁环贴合脱离、切割晶圆之背崩及间格纸沾黏。采用环氧树脂交连剂共聚合的胶料，烃基高5％以上，使胶料网状交连、与po薄膜间的凡德瓦尔力大幅提高，使附着力与内聚力大幅增强，可改善晶圆切割时的脱胶问题，进而能加工出超薄微成品晶圆。采用单一分子含多个碳-碳双键的多元不饱和树脂，可有效增加光交连反应。采用吸收波长为265nm～410nm光起始剂混合液，使聚烯烃薄膜遮蔽紫外线吸收波段的效应降低，使胶带降黏效果大幅提升，使挑拣率为100％。具体实施方式以下将结合具体实施例对本发明作进一步的说明。实施例1～4按以下步骤制备po面材uv胶带步骤s1按表1所述的配方将聚丙烯(c3)、乙烯-丙烯的共聚物c5(乙烯含量为50wt％)、c9(乙烯含量为10wt％)、c19(乙烯含量为5wt％)等购自日本三菱公司的聚丙烯原料混合，采用流延法制备po膜。表1实施例1-4的po膜的配方原料实施例1实施例2实施例3实施例4c330份20份25份30份c540份35份35份50份c930份35份35份10份c190份10份5份10份本发明po膜在生产时采用c3、c5、c9、c19等聚丙烯原料混合，纵向及横向的伸长率达到相当接近。以实施例1为进行机械性能测试，同时以国内市售pvc面材以及日本琳德科pvc面材作为对比，测试结果如表2所示，由表2可知，本发明的po膜的具有较佳的张力强度，同时伸长率远远高于现有的pvc面材，且纵向及横向的张力和伸长率相当接近。表2实施例1-4的po膜的机械性能步骤s2po膜通过电晕处理装置进行电晕处理；电晕处理控制所述po膜表面张力为42达因以上。步骤s3电晕后的po膜输送至uv胶层导向辊，通过uv胶层导向辊在po膜的表面涂敷按组分及质量份配比配好的uv胶层，然后导入烘箱中进行干燥处理。实施例1～4的uv胶层的配方及性能如表3所示。表3实施例1-4的uv胶层的配方及性能实施例1实施例2实施例3实施例4丙烯酸树脂80份75份75份80份多元不饱和树脂20份25份25份20份光起始剂3份3份3份3份环氧树脂交连剂2份5份3份-胶层厚度20μm10μm20μm20μm照光前黏着力1200gf/20mm300gf/20mm500gf/20mm800gf/20mm照光后黏着力≦10gf/20mm≦0gf/20mm≦0gf/20mm≦0gf/20mm其中，丙烯酸树脂为聚丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯-丙烯酸丁酯共聚物或丙烯酸甲酯-丙烯酸异辛酯共聚物。其中，环氧树脂交联剂化学分子式为：其中，多元不饱和树脂是指单一分子含多个尤其是指6个及以上碳-碳双键的多元不饱和树脂，可有效增加光交连反应，进而有效提高uv胶层的uv照射反应性，照射后黏着力可降低至10～30g/20mm，便于使用时晶圆的挑拣。其中，光起始剂的配方如表4所示。表4实施例1-4的光起始剂的配方步骤s4干燥处理后，涂覆有uv胶层的po膜传送至压胶辊，同时，将pet离型保护膜与涂覆有uv胶层的po膜进行压合处理，形成所述po面材uv胶带。优选的，pet离型保护膜、uv胶层和po膜的厚度比为28～29：7.5～8.5：63～65；在本发明的具体实施方案中，对po膜进行电晕处理后可以有效的将uv胶层附在po膜表面，且没有时效性，有效的增加了uv胶带的质量和使用寿命；另外，该技术方案还减少了处理剂工序，在节约成本的同时也减少了环境污染，其中，因uv胶层中含有环氧树脂交连剂，所以可以使uv胶层和po膜间的范德瓦尔力大幅提高，使附着力与内聚力大幅增强。综上所述，本发明uv胶带通过特殊的生产、加工和配比，采用玻化温度为-20～-30℃的丙烯酸树脂可以改善胶层过软或过硬的缺点，避免晶圆背面残胶与铁环贴合脱离；本发明利用环氧树脂交联剂与丙烯酸树脂缩聚交联反应，使得胶料网状交连，并产生羟基官能团，可以与po膜间的范德瓦尔力大幅提高，使附着力与内聚力大幅增强(国内同类产品采用丁基丙烯酸胶料，聚氨酯硬化剂，烃基小，胶料呈线状无网状交连、与聚氯乙烯薄膜间的凡德瓦尔力低，附着力与内聚力低，只能加工出较大尺寸的成品晶圆)；本发明采用光起始剂混合液，使po膜遮蔽紫外线吸收波段的效应降低，使胶带降黏效果大幅提升，使挑拣率为100％；同时，本发明加工技术方案增设对po膜电晕处理，可以有效的增强uv胶层、po膜的粘附力，具有降低加工成本、减少污染等特点。以上对本发明进行了详细的介绍，文中应用了具体的实例对本发明进行阐述，这是为了便于该
技术领域：
的普通技术人员能理解和应用本发明。熟悉本领域的人员可以容易地对这些实施例做出各种修改，并应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于这里的实施例，本领域技术人员根对于本发明做出的改进和修改都应该在保护范围之内。当前第1页12