专利名称：表面处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种通过升降机构使以纵吊姿势保持的平板状物下降、可浸渍在表面处理槽内的液体中并通过运送机构向运送方向运送平板状物，同时对在表面处理槽内运送中的平板状物实施表面处理的表面处理装置。
在被处理物的表面处理方法中，预先使排列的各处理槽能够顺次运送，将被处理物浸渍在最初的处理槽中，仅实施指定时间的该处理，处理后将被处理物上拉，运送到下一处理槽，在下一处理槽中仅实施指定时间的该处理。具有重复同样程序的间歇方式，和将被处理物浸渍在运送方向上较长的处理槽内，在维持被处理物的浸渍状态下连续运送并进行处理的连续方式。
例如，在被处理物为平板状物的连续方式的表面处理装置中，使平板状物以纵吊姿势直接或间接地安装在运送机构上。平板状物的各面是与运送路线、即运送方向平行的姿势安装的。
在此，当驱动运送机构时，各平板状物维持纵吊姿势地向沿运送路线的运送方向连续地运送。这样，在表面处理槽内的运送(移动)中由供电机构向各平板状物供电。因此，由于能够使各平板状物的表面处理条件均一，所以可实施无分散性的高品质表面处理。
但是，在平板状物(例如印刷电路板…工件W)的厚度(面间尺寸)较薄的物品中，运送速度不同，例如在图9中所示的表面处理槽10内的处理液Q中运送时，如双点划线所示那样平板状物(W)向与运送方向(图9中为垂直纸面的方向)垂直的方向(左右方向)弯曲，产生弯折，进而还有可能发生摇动或振动。
这样，由于处理槽10内的电极之间的距离变动，品质劣化是不可避免的。另外，还有可能因与处理槽内装部件的冲突而发生平板状物的破损或内装部件本身的变形等。
因此，本申请人提出一种装置(例如，特愿2000-38682号)，即如图7、图8所示，在处理槽10内设置了具有在运送路线R的两侧上下方向分离、并向运送(X)方向延伸的状态下张设在导向柱81上的多个缆线(运送导向件)82的运送导向机构80。
这样一来，由于在缆线(运送导向件)82、82之间的间隔Dg(例如16mm)内限制平板状物(工件W)的自由运动，并可在维持该平板状物(W)的纵吊姿势地沿运送路线R进行运送导向，所以能够平稳顺利地运送平板状物(W)。即进行高品质处理。
在上述断续方式和连续方式的任一种情况下，均必须从处理槽10的外部将平板状物(W)浸渍在处理槽内液体Q中，处理结束后又必须将平板状物(W)从处理槽10内液体Q中取出到处理槽10之外。
具体地说，是可以采用升降机构，从高处(大气中)下降，将平板状物浸渍在最初的处理槽10内的液体Q中，并在表面处理结束后，采用升降机构使平板状物从最后的处理槽10内的液体Q中向高处(大气中)上升而取出。
但是，由于要确保在处理槽10内运送中的表面处理的连续性，所以将平板状物(工件W)浸渍在处理槽10中时和从处理槽10中上提时的升降速度与平板状物(例如印刷电路板…工件W)在处理槽10内的运送速度相比为比较高的速度。
这样，在浸渍时的下降工序中，由于平板状物(W)的前端部分(纵吊姿势的下端部分)Wa受到大的液体阻力，所以如图9中的实线所示的平板状物(W)向与X方向垂直的方向弯曲、折曲或摇动，结果平板状物(W)或者与槽内装部件(例如上述的导向柱81、图中未示出的电极等)相冲突，或有可能粘在其上。
而且，在设计成平板状物(W)可突然在运送导向件82、82之间(运送路线R)下降的装置的情况下，由于平板状物(W)的前端部分(纵吊姿势下的下端部分)不Wa进入运送导向件82、82(81、81)内而不能开始运送。
本发明的目的在于提供一种表面处理装置，可防止浸渍在处理槽内时前端弯曲等，并在纵吊姿势的状态下使平板状物一直下降到处理槽内的液体中。
技术方案1的发明为一种表面处理装置，通过升降机构使以纵吊姿势保持的平板状物下降，可浸渍在处理槽内的液体中，并可通过运送机构向运送方向运送平板状物，同时对在表面处理槽内运送中的平板状物实施表面处理，其中，设置有纵吊姿势维持机构，该维持机构在通过上述升降机构使以纵吊姿势保持的上述平板状物下降并浸渍在表面处理槽内的液体中之前，使夹持片从该平板状物的与上述运送方向相交叉的方向两侧接近，为了维持该平板状物的纵吊姿势而可夹持该平板状物，同时在该平板状物向上述表面处理槽内的液体中浸渍结束后到该平板状物向上述运送方向上的运送开始为止的期间，两侧的夹持片可与该平板状物相分离。
在本发明中，在例如通过升降机构使经由悬架以纵吊姿势保持在运送机构上的平板状物下降，在使其浸渍在表面处理槽内的液体之前使维持纵吊姿势维持机构动作。
即，使夹持片从与平板状物的运送方向相交叉的方向两侧相接近，夹持该平板状物，这样一来，可将平板状物的纵吊姿势维持一定。在这种状态下，使升降机构下降，则可在维持纵吊姿势的状态下使平板状物下降，并能可靠、稳定地浸渍在表面处理槽内的液体中。即，可防止平板状物向处理槽内浸渍时该平板状物的前端弯曲，并可使平板状物在纵吊姿势下一直下降到处理槽内的液体中。
相反，在向表面处理槽内的液体中浸渍结束后到该平板状物开始向运送方向运送之间，使纵吊姿势维持机构反向动作(上升)，使两侧的夹持片离开该平板状物。这样，可顺利地向运送方向运送平板状物。
即，由于可以防止向处理槽内浸渍时的前端弯曲等，并使平板状物在纵吊姿势下一直下降到处理槽内的液体中，所以能够防止平板状物与槽内部件相冲突或粘在其上，并可迅速地运送并进行表面处理。
技术方案2的发明为一种表面处理装置，其中，上述纵吊姿势维持机构是由向上述上下方向延伸、并在多个上述夹持片在上下方向上分离的状态下分别朝向内侧的姿势安装的一对可动部件，和可将一对可动部件沿着与上述运送方向相交叉的方向分离驱动和接近驱动的分离接近驱动机构形成的。
在本发明中，当使构成纵吊姿势维持机构的分离接近驱动机构接近驱动时，向上下方向延伸的一对可动部件沿与运送方向相交叉的方向接近。这样，可以从与运送平板状物(面)的方向相交叉的方向两侧夹入在以上下方向相分离的状态、且分别朝向内侧的姿势安装在各可动部件上的多个夹持片。因此，能够维持平板状物(面)整体的纵吊姿势。
而且，当使分离接近驱动机构分离驱动时，在上下方向上延伸的一对可动部件沿着与运送方向相交叉的方向分离。这样，在以上下方向相分离的状态、且分别朝向内侧的姿势安装在各可动部件上的多个夹持片从平板状物(面)向与运送方向相交叉的方向两侧避开。即，可容许平板状物(面)向运送方向运送。
因此，除了可具有与技术方案1的发明相同的作用效果之外，还可以全面、自动地维持平板状物(面)的姿势，同时迅速地进行接近、分离驱动。
技术方案3的发明为一种表面处理装置，其中，上述夹持片是在突出于上述可动部件的状态下安装的。
在本发明中，各夹持片是分别在突出于各可动部件的状态下安装的。这样一来，由各夹持片夹持的平板状物(面)保持在不与各可动部件相接触的状态。即，能够确保各夹持片和其夹持的平板状物(面)之间的空间。
因此，在例如本次的平板状物(面)的大小(上下方向的尺寸)小于基本的平板状物(面)的大小(上下方向的尺寸)的情况下，由于不能够以下方的夹持片夹持该平板状物(面)，所以向液体中下降时其下端部弯曲的可能性增加。但是，即使下端部弯曲，由于该弯曲部分可收容在上述空间内，所以可避免平板状物(面)的下端粘在各可动部件上或卷绕在各可动部件的外侧上。
因此，除了可具有与技术方案1和技术方案2的各发明相同的作用效果之外，也可以增加相对于平板状物(面)的大小(上下方向的尺寸)的适应性，良好地保证平板状物(面)的表面品位。
技术方案4的发明为一种表面处理装置，其中，上述夹持片为向上述运送方向延伸的细长状，同时是以上述运送方向的上游侧位置高、且下游侧位置低的倾斜姿势安装在上述可动部件上的。
在本发明中，当使可动部件接近时，向运送方向延伸的细长状各夹持片可从其两侧夹持纵吊姿势的平板状物(面)。由于各夹持片是以运送方向上游侧的位置高、下游侧的位置低的倾斜姿势安装在可动部件上的，所以在液体外(液体内)可避免将平板状物(面)夹持在同一水平线上。
另外，在液体中，当各夹持片分离并在其后向运送方向运送平板状物(面)时，即使平板状物(面)上弯曲的下端部跨在某一夹持片上，但由于随着下端部向下游侧移动可避开该夹持片(离开)，所以该下端部不会咬入夹持片。
因此，除了可具有与技术方案1至技术方案3的各发明相同的作用效果之外，还能够可靠地夹持平板状物(面)并确保平板状物(面)的顺利运送。
技术方案5的发明为一种表面处理装置，其中，上述分离接近驱动机构是由包含一端部上可自由转动地连结有上述可动部件，另一端部连结在驱动源上，同时可以中央支点为中心转动的连杆机构形成的。
在本发明中，通过使连结在另一端部上的驱动源分离驱动，可使连杆机构(连杆)以中央支点为中心向分离方向转动。这样，可转动地连结在连杆一端部上的可动部件向离开平板状物(面)的方向移动。即，使各夹持片离开平板状物(面)，解除夹持。
另一方面，当通过接近驱动连结在连杆的另一端部上的驱动源，使连杆以中央支点为中心向接近方向转动时，可转动地连结在其一端部上的可动部件向接近平板状物(面)的方向移动。即，由各夹持片从两侧夹持平板状物(面)。
另外，在使连杆(连杆机构)以中央支点为中心转动的情况下，由于可动部件、即各夹持片从上方(下方)向下方(上方)位移，并沿圆的轨迹离开、接近平板状物(面)，所以与各夹持片从直角方向与平板状物(面)离开、接近的情况相比，可以使各夹持片轻轻地与平板状物(面)相接触，并且分离接近驱动机构的结构也简单。
因此，除了可具有技术方案2至技术方案4的各发明相同的作用效果之外，还可以在顺利地夹持的同时实现分离接近驱动机构的结构简单化和低成本。
根据技术方案1的发明，由于是这样一种表面处理装置，即，设置有使平板状物下降，在浸渍到表面处理槽内的液体中之前，可使夹持片从与该平板状物的运送方向相交叉的方向两侧相互接近、夹持，在表面处理槽内的液体中浸渍结束后到开始向运送方向运送该平板状物的期间，可使两侧的夹持片与平板状物相分离地形成的纵吊姿势维持机构，所以可防止向处理槽内浸渍时的前端弯曲等，并可使平板状物以纵吊姿势一直下降到处理槽内的液体中。因此，可防止平板状物与槽内装部件相冲突或粘在其上，并且可迅速地进行运送和表面处理。
根据技术方案2的发明，由于纵吊姿势维持机构是由向上下方向延伸、并在多个夹持片在上下方向上分离的状态下分别朝向内侧的姿势安装的一对可动部件，和可将一对可动部件沿着与上述运送方向相交叉的方向分离驱动和接近驱动的分离接近驱动机构形成的，所以除了具有与技术方案1的发明相同的效果之外，还可以全面、自动地维持平板状物(面)的姿势，并进行迅速的接近分离驱动。
根据技术方案3的发明，由于夹持片是在突出于可动部件的状态下安装的，所以除了具有与技术方案1和技术方案2的各发明相同的效果之外，还可以增加对平板状物(面)的大小(上下方向的尺寸)的适应性，可良好地保证平板状物(面)的表面品位。
根据技术方案4的发明，由于夹持片为向运送方向延伸的细长状，同时是以运送方向的上游侧位置高、且下游侧位置低的倾斜姿势安装在可动部件上的，所以除了具有与技术方案1至技术方案3的各发明相同的效果之外，还可以可靠地夹持平板状物(面)并确保顺利地运送平板状物(面)。
根据技术方案5的发明，由于分离接近驱动机构是由包含一端部上可自由转动地连结有可动部件，另一端部连结在驱动源上，同时可以中央支点为中心转动的连杆机构形成的，所以除了具有与技术方案2至技术方案4的各发明相同的效果之外，还可以顺利地夹持，同时实现分离接近驱动机构的结构简单化和降低成本。
图1为用于说明本发明的实施形式所涉及的电镀处理装置的俯视图。
图2为根据图1中箭头线②-②的侧视图。
图3为根据图1中箭头线③-③的主视图。
图4为用于说明纵吊姿势维持机构(分离接近驱动机构)的放大图。
图5为用于说明纵吊姿势维持机构(分离接近驱动机构)的接近(夹持)状态的视图。
图6为用于说明纵吊姿势维持机构(分离接近驱动机构)的分离(夹持解除)状态的视图。
图7为用于说明本发明和以往例中运送导向机构的俯视图。
图8为用于说明本发明和以往例中运送导向机构的侧视图。
图9为用于说明以往例中问题处的主视图。
以下，参照附图对本发明的实施形式加以详细说明。
本表面处理装置如图1～图4所示，表面处理槽10A、10B设有可相关配设的纵吊姿势维持机构50，通过升降机构30使以纵吊姿势保持的平板状物(工件W)下降，并在浸渍于表面处理槽10A、10B内的液体Q中之前，使夹持片57、57从与该工件W的X方向相交叉的方向两侧相互接近，以便为了维持其纵吊姿势而可夹持工件W，并在工件W浸渍到表面处理槽10A、10B后到开始向X方向运送工件W的期间，可使两侧的夹持片57、57与该工件W相分离。
本表面处理装置的基本结构、功能是可通过升降机构30使以纵吊姿势保持的平板状物(在本实施形式中为印刷线路板…上述的工件W)下降并浸渍在表面处理槽10A、10B内的液体中，通过运送机构20将工件W向X方向运送，同时对在表面处理槽10(10A、10B)内运送中的工件W实施表面处理。即，本表面处理装置的结构为可在印刷线路板上实施电镀的电镀处理装置。
在图1中，沿从图中省略的左方向右方直线延伸，在右端以圆弧折返，从右方向左方直线延伸，在图中省略的左端以圆弧折返的轨迹(形状)的运送路线R配设有多个表面处理槽10。工件W向沿运送路线R的运送(X)方向运送。
在此，由于在前侧的前处理槽(例如酸性脱脂处理槽)的始端部(图中左侧)投入工件W并使其浸渍在该液体Q中，所以该槽为浸渍投入槽10A。在该浸渍投入槽10A内的液体中向X方向运送的工件W通过液密封部(图中省略)，原封不动地在配设于右侧的折返部上的表面处理槽(例如水洗处理槽)10内运送，在终端部从该表面处理槽10中向上方提出。
然后，在表面处理槽(例如电解镀铜处理槽)的始端部(图中右侧)将工件W再次投入，并使其浸渍在该液体Q中，该槽为浸渍投入槽10B。这样，在各浸渍投入槽10A、10B中设有纵吊姿势维持机构50。
在图2中，运送机构20包括向X方向延伸的运送导向部件21、通过运送马达24使运送导向部件21向X方向仅进退动作(往复移动)指定间距的往复移动部件22、和安装在该往复移动部件22上的止回式推进器23，构成可沿悬架导向部件25每次指定间距地进给(间歇运送…连续运送的一形态)悬架(非推进部46)40的推进型运送机构。
升降机构30如图2、图4所示，包括升降体(升降机)31，升降机构(链条、链轮等)33和升降马达34等，通过使可上下移动地安装的升降体(升降机)31升降，可使悬架导向部件25从图3中的左侧位置和右侧的下降位置之间升降。
升降体31通过多个辊轮31R可上下移动地安装在兼作与图3中的横架部件37一起构成装置机构部的支柱部件的导向支柱35(确切地说为平行安装的导向杆36)上。
在这种升降体31上，如图4所示，一体地设有悬臂部件32，并在悬臂部件32上一体地设有用于保持悬架40的保持部32A。这样，在该保持部上，于上方设有支承辊轮32B，于下方安装有悬架导向部件25。
悬架40包括图4所示的悬架本体43，安装在该悬架本体43上的被保持部44和非推进部46，以及安装在其下部一侧的夹具45，可与悬臂部件32(升降体31)的升降运动同时升降地保持在安装于悬臂部件32前端一侧上的保持部32A(32B)上，并且可通过夹具45将平板状物(W)夹持在纵吊姿势。
在X方向上分离地保持的多个悬架40构成运送机构20，并且通过多个推进器23的每一间距同步的进给动作在向图2中所示的X方向上延伸的悬架导向部件25上连续地运送(在X方向上间歇、按间距运送)。此时，图4中C型的被保持部44与和升降体31(悬臂部件32)为一体的支承辊轮32B相分离。即，解除与上升机构30的卡合。
在电解镀铜处理槽10B中，可由供电机构(图中省略)通过悬架40向夹持保持在该悬架40上的工件W供电。在电解镀铜处理槽10B内的电极(图中省略)上也供电有对置极性。
在此，纵吊姿势维持机构50如图4所示，包括框体51，可动部件55，夹持片57，分离接近驱动机构60和驱动源(驱动液压缸68)，通过升降机构30使以纵吊姿势保持在悬架40上的平板状物(W)下降，并在浸渍到浸渍投入槽10A、10B内的液体Q中之前，使夹持片57、57从与工件W的X方向相交叉的方向两侧相互接近，以便为了维持纵吊姿势而夹持工件W。参照图6(A)～(C)所示的接近状态(夹持状态)。
纵吊姿势维持机构50在工件W向浸渍投入槽10A、10B内的液体Q中的浸渍结束后到开始向X方向运送该工件W的期间，可使两侧(左右)的夹持片57、57与该工件W相分离。参照图5(A)～(C)所示的分离状态(夹持解除状态)。
框体51由图4中所示的左右一对支柱部件52构成，通过悬臂部件72，与构成上下动作装置70的一部分的升降机71的上下运动同时上下动作地安装在升降机71上。该升降机71可在导向支柱(敷设有滑动导向件)35上滑动地被引导，通过上下动作机构73而上下动作。
在本实施形式中，用于驱动上下运动机构73的动力源(上下动作马达)兼作升降机构30的升降马达34。
另外，框体51也可以设计成通过升降机构30升降(上下)。这样一来，可将上下动作装置70用于例如电镀槽导轨的上下用(专用)。
左右一对可动部件55、55可通过分离接近驱动机构60沿与X方向相交叉的方向(在本实施形式中为垂直方向(图4中的左右方向))分离、接近地安装在各支柱部件52、52上。各可动部件55上，通过本实施形式中用于确保(确立)空间S的突出保持部件56、56安装有多个夹持片57、57(参照图5、图6)。
这种分离接近驱动机构60是由图4中所示的左右一对连杆机构61(包含连杆63)和形成驱动源的驱动液压缸68构成的。
连杆机构61的结构为，中间部包括通过上方支承销62可转动地连结在支柱部件52上的上方连杆(连杆)63，该上方连杆63的一端部63A通过连结销63AP可转动地连结在可动部件55的上端部上，而另一端部63B可转动地连结在驱动液压缸68上。
另外，为了提高动作稳定性，设置有根端部通过下方支承销63可转动地连结在支承部件52上，而另一端部66A通过连结销66AP可转动地连结在可动部件55的下端部上的下方连杆66。即，连杆机构61进行与平行四边形的连杆机构相同的动作。
这样一来，在图4中左侧所示的接近状态(夹持状态)中，由于若通过左侧的驱动液压缸(驱动源)68将另一端部63B向下方推入，则上方连杆63以上方支承销62为中心左转，所以可使连结在一端部63A上的可动部件55上升，并可向图4中左方移动。即，能够使多个夹持片57与工件W相分离。另外，下方连杆66从动于上方连杆63。
因此，如图5所示，若使左右的驱动液压缸(驱动源)68、68同时向分离方向(下方)动作，则能够使安装在左右的可动部件55、55上的多个夹持片57、57同时离开工件W(夹持解除)。
即，可从夹持片57、57之间将表面处理结束后的工件W取出，或将新的(为处理)工件W插入夹持片57、57之间。
另一方面，在图4中右侧所示的分离状态(夹持解除状态)中，由于若由右侧的驱动液压缸(驱动源)68将另一端部63B向上方抬起，则上方连杆63以上方支承销62为中心左转，所以可使连结在一端部63A上的可动部件55下降，并可向图4中的左方移动。即，可使多个夹持片57接近工件W。在这种情况下，下方连杆66也从动于上方连杆63。
因此，如图6所示，由于若使左右的驱动液压缸(驱动源)68、68同时向接近方向(上方)动作，则可由安装在左右的可动部件55、55上的多个夹持片57、57同时夹持(接近)工件W，所以此后即便使工件W下降，使其浸渍在表面处理槽10内的液体Q中，也可以防止该工件W发生弯曲。
这样，各夹持片57是在通过突出保持部件56在突出于可动部件55的状态、且在上下方向上分离配设的状态下安装的。因此，对平板状物(面)的大小(上下方向的尺寸)的适应性强，可良好地保证平板状物(面)的表面品位。
而且，即使不能由最下的夹持片57夹持的平板状物(面)的下端部(或平板状物(面)的一部分(上下方向的夹持片57、57之间的部位))弯曲，由于弯曲部可收容在突出的突出保持部件56和可动部件55之间确立的空间S内，所以可防止该弯曲部之间贴附在可动部件55上。
另外，各夹持片57为向运送(X)方向延伸的细长状，同时以X方向的上游侧位置高，而下游侧位置低的倾斜姿势安装在可动部件55上。
这样一来，即使假设发生不能由最下的夹持片57夹持的平板状物(面)的下端部弯曲，并且该弯曲部跨在某一夹持片57之上，在其后使平板状物(面)向X方向移动时，该弯曲部自动地从向下方倾斜的夹持片57向上方离开。换句话说，不会随着平板状物(面)向X方向的移动而以更强的力咬入(骑上)。即，可确保更加顺利地运送平板状物(面)。
在这种实施形式的表面处理装置中，在图1中所示的浸渍投入槽10A的始端部的上方，通过升降机构30使以纵吊姿势保持的工件W下降，在使其浸渍到该表面处理槽10内的液体中之前，分离驱动纵吊姿势维持机构50的分离接近驱动机构60，使可动部件55、55为图5所示的分离状态。
在该可动部件55、55之间，以图3左侧所示的状态保持有由加载装置(图中省略)加载并由升降机构30保持的悬架40。在悬架40上以纵吊姿势保持有工件W。
在此，接近驱动分离接近驱动机构60，使可动部件55、55如图6所示地相互接近。即，可由对应的多个夹持片57从其两面夹持工件W。即，可限制工件W的自由运动并可维持纵吊姿势为一定。
此后，使升降机构30和上下运动装置70同步运行，使悬架40与悬臂部件32一起下降，并使框体51和升降机71(悬臂部件72)一起向下方移动。即上下关系从图3中左侧所示的状态向右侧所示的状态转移。这理解为可设计成如上所述地通过升降机构30使框体51升降(上下)。
此时，虽然薄工件W在浸渍投入槽10A内的液体Q中以较高的速度移动，但通过纵吊姿势维持机构50的纵吊姿势维持功能，不会发生工件W因液体阻力而产生的例如图9中双点划线所示的弯曲。因此，由于能够可靠、稳定地浸渍在表面处理槽10A内的液体中，所以可防止工件W与槽内装部件(例如液体加热组件)发生干涉。
在浸渍后，至开始向X方向运送工件W之间，分离驱动分离接近驱动机构60，使各可动部件55、55如图5所示地分离。即，使对应的多个夹持片57离开工件W，解除从其两面的夹持。可容许工件W自由运动。
之后，使运送机构20动作，使悬架40向X方向仅运送(前行)一个间距。此时，悬架40的非保持部44从升降机构30一侧的保持部32A向X方向移动。
因此，使升降机构30和上下运动装置70同步运行，使悬臂部件32上升，框体51和升降机71(悬臂部件72)一起向上方移动。即上下关系从图3中右侧所示的状态向左侧所示的状态转移。
这样一来，使运送机构20动作，可向X方向一间距一间距地运送悬架40，并可在表面处理槽(酸性脱脂处理槽…10A)对工件W的两面进行酸性脱脂处理。运送速度与浸渍中的下降速度相比较低，同时在上部通过夹具45保持在悬架40上的状态下、并且在X方向上向最先的夹具45的方向牵引工件W的状态下，工件W不会弯曲或折曲。
该工件一直被运送到下一处理槽10的终端部，在此处通过升降机构30的下降动作，运送机构20的间距运送动作和升降机构30的上升动作向该处理槽10的上方提起。之后，由图中未示出的例如交接机构向浸渍投入槽10B上交接。
这样，在浸渍投入槽(电解镀铜处理槽)10B中进行与浸渍投入槽10A相同的浸渍。在该槽内设有运送导向机构80，但由于工件是由纵吊姿势维持机构50的纵吊姿势维持功能维持纵吊姿势的，所以可顺利地导入其运送导向件81、81(82、82)之间。
而且，由于限制了在运送导向机构80内运送中的工件W的自由运动，所以可将与槽内两侧配设的电极之间的间隔、即极间间隔保持一定，可稳定地进行电解(电镀)处理。即能够可靠、高效地生产高品质的印刷线路板，大幅度提高成品率。
权利要求
1.一种表面处理装置，通过升降机构使以纵吊姿势保持的平板状物下降，可浸渍在处理槽内的液体中，并可通过运送机构向运送方向运送平板状物，同时对在表面处理槽内运送中的平板状物实施表面处理，其特征为，设置有纵吊姿势维持机构，该维持机构在通过上述升降机构使以纵吊姿势保持的上述平板状物下降并浸渍在表面处理槽内的液体中之前，使夹持片从与该平板状物的上述运送方向相交叉的方向两侧接近，为了维持该平板状物的纵吊姿势而可夹持该平板状物，同时在该平板状物向上述表面处理槽内的液体中浸渍结束后到该平板状物向上述运送方向上的运送开始之间，两侧的夹持片可与该平板状物相分离。
2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征为，上述纵吊姿势维持机构是由向上述上下方向延伸、并在多个上述夹持片在上下方向上分离的状态下分别朝向内侧的姿势安装的一对可动部件，和可将一对可动部件向与上述运送方向相交叉的方向分离驱动和接近驱动的分离接近驱动机构形成的。
3.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征为，上述夹持片是在突出于上述可动部件的状态下安装的。
4.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征为，上述夹持片为向上述运送方向延伸的细长状，同时是以上述运送方向的上游侧位置高、且下游侧位置低的倾斜状态安装在上述可动部件上的。
5.根据权利要求2至4中任一项所述的表面处理装置，其特征为，上述分离接近驱动机构是由包含一端部上可自由转动地连结有上述可动部件，另一端部连结在驱动源上，同时可以中央支点为中心转动的连杆的连杆机构形成的。
全文摘要
提供一种表面处理装置,可防止平板状物浸渍到表面处理槽内时其前端弯曲等,并可使平板状物以纵吊姿势一直下降到处理槽内的液体中。设置有通过升降机构使平板状物下降,在浸渍到表面处理槽内的液体中之前,可使夹持片从与该平板状物的运送方向相交叉的方向两侧相互接近、夹持,在表面处理槽内的液体中浸渍结束后到开始向运送方向运送该平板状物的期间,可使两侧的夹持片与平板状物相分离地形成的纵吊姿势维持机构。
文档编号B65G49/04GK1376625SQ01121238
公开日2002年10月30日 申请日期2001年6月1日 优先权日2001年3月23日
发明者五百部益次郎, 安斋文夫 申请人:日本爱铝美克斯株式会社