专利名称：搬送装置的制作方法
技术领域：
本发明是有关搬送装置的。
背景技术：
譬如，构成彩色液晶表示面板的滤色片，通过在玻璃基板上涂敷红，绿色，浅蓝色的耐蚀剂而被制造。在此制做工序中包括洗涤工序。为了提高洗涤效果，清选过程并用以下两种方法，即使用纯水的软洗涤法和UV/03洗涤法。而此处的UV/03洗涤法是一种紫外线处理方法。即用紫外线使有机物低分子化，及利用通过紫外线照射空气中的氧气而产生的臭氧和活性氧基除去有机物。
图13，是表示用于这样的清洗工序的紫外线处理装置的开放状态的斜视图。在紫外线处理装置50的主体51里面，设置有具备复数的供给辊52的搬送装置53，根据这个能够把装载在供给辊52上的作为处理物的多块玻璃基板(没有图示)朝着图13的箭头方向依次搬送。
以前，在这种的搬送装置53中，采用了在紫外线照射下不易劣化的金属制供给辊52。可是，因为金属制的供给辊52是硬质的，有时在与玻璃基板接触时，易使玻璃板产生擦伤，而产生产品的成品率降低的问题。特别是，如果在必须搬送大型的玻璃基板时，为防止玻璃基板的弯曲，不仅在对产品的质量影响少的两端部，而且在靠近内侧的位置也必须设置供给辊52来支撑玻璃基板，于是，成品率降低的问题变得更大。因此，为了回避这个问题，采用不易产生擦伤的树脂制供给辊52。可是，因树脂制的供给辊52与金属制的相比劣化快，存在必须频繁检查，进行交换的问题。并且，在这个交换作业中必须经过以下的繁杂工序，首先，从搬送装置53取下供给辊轴54，从供给辊52上抽出供给轴54之后，把新的辊轴54插入供给辊52，再安装到搬送装置53。并且，因为此维修作业时间长，造成装置的工作效率下降这样的问题。
发明内容
本发明是针对上述情况而进行的，其目的在于提供一种搬送装置，此搬送装置能完成搬送作业而不损伤被搬送物，而且，容易进行维修作业。
根据为解决上述课题的第1的发明的搬送装置，是一种具备配置了辊的辊轴，而搬送与上述辊相接触的被搬物体的搬送装置，上述辊具备与被搬物体相接触的环状部件，上述环状部件的特征是设有沿直径方向使环状部件分开的分离部。
并且，如果上述辊只由上述环状部件组成情况，当然，也被包含于本发明的第1发明之中。
第2发明，如第1发明所述的搬送装置，其辊具有保持部件，上述保持部件，由第1保持部和可固定于上述第1保持部的第2保持部分割形成，上述环状部件，可被上述第1保持部和上述第2持部相夹而被安装在上述保持部件上。
第3发明，如第1发明所述的搬送装置，上述辊具有保持部件，在上述环状部件及上述保持部件的其中一方，设置有沿轴的方向突出的伸出部，同时，在另一方设置有可嵌入上述伸出部的凹部。
第4发明，如第2发明所述的搬送装置，在上述环状部件及上述保持部件的其中一方，设置有沿轴的方向突出的伸出部，同时，在另一方设置有可嵌入上述伸出部的凹部。
第5发明，如第4发明所述的搬送装置，上述第1保持部件可固定于上述辊轴上，上述环状部件可固定在上述保持部件上，上述伸出部或上述凹部被设置在上述第一保持部件上。
第6发明，如第1发明所述的搬送装置中，上述环状部件的与搬送中的被搬物体相接触的部分，由可避免上述被搬送体由于与上述环状部件接触而造成损伤的适度柔软的材料组成。此处的，作为“可避免上述被搬送体由于与上述环状部件接触而造成损伤的适度柔软的材料”，可列举为如含氟树脂，聚酰亚胺树脂，聚醚酮(PEEK)树脂等的树脂材料。
第7发明，如第1发明所述的搬送装置中，上述分割部的轮廓线上的与搬送中的上述被搬送体相接触的部分，超出包括有上述辊轴旋转轴的平面。环状部件在与被搬送体相接触的情况下，不管环状部件与被搬送体相接触部位多么窄，必定有一定的宽度。因此，即使在譬如，沿直径方向分割环状部件的分割部是圆形等，而由分割面形成的平面不包含辊的旋转轴的情况下，也相当于上述的第7发明。
第8发明，如第2发明所述的搬送装置，其特征是，上述第2保持部，能用螺丝固定在上述第1保持部上。
第9发明，如第8发明的搬送装置，在上述第1保持部或者上述第2保持部上，设置有大直径孔和小径孔相联的安装孔，上述设有安装孔保持部被用贯通于上述安装孔的螺丝固定在另一个保持部上，上述螺丝是由螺丝部，和比上述螺丝部的直径大的头部构成的带头螺丝，上述头部，被容许插通上述大径孔，而且被限制插通上述小径孔。
第10发明，如第1～9发明所述的任意一个发明的搬送装置，被设置在上述环状部材上的上述分割部是一处。
根据第11发明的搬送装置，具备了设有辊的辊轴，在搬送上述与辊相接触的被搬送体的搬送装置中，上述辊与搬送中的上述被搬送体相接触的部分由树脂构成，此由树脂构成的部分，被非树脂部件夹着而固定。
在此情况下，未必把此非树脂零部件分割成二个以上的零部件，在非树脂零部件上形成沟，把上述的由树脂构成的部分嵌入沟内，此种情况也相当于本发明的第11发明。
根据第1的发明，由于环状部件设有分离部，而不必从搬送装置上取下辊轴，就可以在辊轴上安装，拆卸环状部件。由此一来，就容易地进行交换环状部件的作业。
根据第2的发明，环状部件是，被第1保持部和第2保持部夹着配置。此时，为把第2保持部，固定于第1保持部上，比起辊轴，可固定于接近环状部件与被搬送体相接触的部分的位置(参照图5)。因此，可高精度地固定环状部件与被搬送体的接触部位的位置。其结果，可高精度地固定分离部中与被搬送体相接触部分，防止由于分离部两端的位置的偏差而造成的，被搬送体在搬送时的不稳定。如果第2保持部不被固定在第1保持部上，第1和2的保持部的双方都被固定在辊轴上(与第2的发明不同)的情况下，由于2个保持部中都被固定于远离环状部件与被搬送体相接的部分，就不能高精度地固定分离部两端与被搬送体相接的部分。
根据第3或第4发明，环状部件及保持部件的其中一方，设置有沿轴方向突出的伸出部，另一方，设有可嵌入此伸出部的凹部。在这里，环状部件因有分离部，其受热或与被搬送体的干涉等而易产生变形。可是，根据如上所述的构成，由于伸出部被预先嵌于凹部，而限制了环状部件的偏差，环状部件得以在保持其形状的同时且被确实地固定在保持部件上。据此，能防止环状部件的变形而圆滑地搬送被搬送体。
根据第5的发明，第1保持部被游动不能地固定在辊轴上，在此保持部件上镶套有环状部件。根据这样的构成，能把环状部件保持住而不偏离辊轴芯，能圆滑地搬送基板。
根据第6的发明，可不损伤被搬送体而搬送。
第7发明，如第1发明的搬送装置中，上述分离部的轮廓线上的与搬送中的上述被搬送体相接触的部分，超出包括有上述辊轴旋转轴的平面。当环境温度变动等引起环状部件收缩时，在分离部上产生开口。这里如果，把分离部形成于包含辊轴的旋转轴的平面内的话，因为这个开口部朝向垂直于玻璃基板的搬送方向，担心会在搬送被搬送体时产生晃荡。可是，根据第7的发明，因为分离部的轮廓线上的与搬送中的被搬送体相接触的部分，超出了包括有上述辊轴旋转轴的平面，所以被搬送体就总是被分离部两侧的分离边的哪一边所支撑。
因此，根据第7的发明，能回避摇晃而圆滑地搬送被搬送体。
根据第8发明，即使不取下第2保持部，或即使不完全取下螺丝，只要稍微松动螺丝，就可解除由第1和第2保持部对环状部件的固定，进而可交换环状部件。因此，能大幅度缩短交换环状部件所必要的时间。
根据第9的发明，即使不取掉带头螺丝，通过使螺丝头部从大径孔来回穿过，能容易地把第2保持部在第1保持部上的安装，拆卸。由此，可使维修工作变得更加容易。
根据第10的发明，因为设置于环状部件上的分离部是一处，所以，在搬送装置的使用中即使保持部对环状部件的压迫松懈，环状部件也不会从辊轴上脱落。
根据第11的发明，由于辊上由树脂组成的部分被非树脂的零部件所夹持配置，所以即使紫外线等的电磁波照射装置被用于本发明，被紫外线等电滋波所照射的树脂部分被限度到必要而最小，从而抑制由树脂组成的部分的劣化。
图的简单说明第1图，是第1实施形态的清洗装置侧面图。
第2图，是紫外线灰化装置的斜视图。
第3图，是供给辊的斜视图。
第4图，是供给辊的分解斜视图。
第5图，是供给辊的侧断面图。
第6图，是显示用搬送装置搬送玻璃基板的情形的侧断面图。
第7～9图，是表示拳击场部木材的交换工作的工序的图。
第10及11图，是第2实施形态的供给辊的分解斜视图。
第12图，是其他的实施形态的供给辊的分解斜视图。
第13图，是表示以前的搬送装置的斜视图。
实施方式<第1实施形态>
以下，参照图1～图9，对具体化了的本发明的搬送装置1的第1实施形态加以详细说明。
本发明的搬送装置1，是一种具备了对液晶显示器用的玻璃基板7(相当于本发明的被搬送体)进行清洗的清洗装置2，搬送玻璃基板7的装置。
如图1所示，清洗装置2由以下装置配置构成。从正面来看是紫外线灰化装置3，其左侧接连有红外线预备加热装置4，在右侧配置有冷却装置5，再在冷却装置5的右侧接连有软洗装置6。
在3，4，5，6的各装置中分别具备搬送装置1，玻璃基板7被沿着如图中箭头所示的方向从左侧向右侧依次搬送，全体形成一个连续清洗线。以下，以紫外线灰化装置3为例进行说明。
紫外线灰化装置3的主体11呈箱状，上面设有开口，并配置有象堵塞那个开口部一样的2张灯收容室12(参照图2)。从主体11的前面来看，位于其左侧的灯收容室12，其左侧缘前后两端部是通过铰链机量由主体11的前面壁部11A以及后面壁部11B所支撑，主体11的上面开口部的左一半可通过此灯收容室12在左方向开关。另一方面，从主体11的前面来看，位于其右侧的灯收容室12，其右侧缘前后两端部是通过铰链机量由主体11的前面壁部11A以及后面壁部11B所支撑，主体11的上面开口部的右一半可通过此灯收容室12在右方向开关。并且，在各灯罩12的前后两端部和主体11的前面壁部11A及后面壁部11B之间，分别设置有众所周知的气动缓冲式的支撑17，通过这个支撑17既有助于灯罩12的开放方向的动作，又可保持住灯罩12的开放状态。
在灯罩12封闭位置时，处于其底部的部分，配置有多根用于紫外线照射的灯13。该灯13是一长的U字形弯曲灯，其长度与此辊式输送机的框壁21间的距离大致等长，不过，其灯头部13A位于主体11的前部，而其玻璃灯管部13B在本体11的后面折返弯曲而成。其灯头部13A被用螺丝固定在灯罩12的固定部14上，玻璃灯管部13B的后端被固定在保持箍15上，而此保持箍15则是用螺丝固定于灯罩12的下面板12A上。与灯头部13A相连的电线群(没有图示)被集束于灯罩12前部，再通过设在灯罩12前端与本体11间的可挠性蛇腹管16而与本体11内的电源装置(图中未表示)相连接。
同时，在灯罩12里面设有未被图示的冷却水路，这个冷却水路的供水管18及排水管19是从位于上述蛇腹管16的反侧的灯罩12的后端引出的，其与本体11内的冷却水供给装置相连接(未图示)。
搬送装置1被组合安装在本体11上。在本体11的内部，设置有2个传输框架壁21，其为一对沿前面壁部11A和后面壁11B平行的框壁。在这个传输框架壁21之间，沿前后方向插有数根圆柱形辊轴22，其各自被轴承(没有图示)所支撑而可旋转。在各辊轴22上，大致按均一螺距安装有复数个传送辊23(相当于本发明的辊)，通过设置在本体11里面的驱动装置驱动辊轴22旋转，而可搬送装载在辊23上的玻璃基板7。
传送辊23，由与玻璃基板7直接接触的环形部件24和把此环形部件24保持于辊轴22上的保持部件27所构成(参照图3～图5)。
环形部件24，由不至于损伤玻璃基板7的软质材料，而且，紫外线照射时不易劣化的材料即聚四氯乙烯(PTFE)树脂所形成，呈平板圆环状，其内经比辊轴22的外径大。在这个环形部件24的一侧，在其内侧全周形成一个向辊轴方向突出的凸缘25(相当于本发明的伸出部)。同时，在环形部件24的任意1处，沿轴的方向切断环而形成一个分离部26，通过对此分离部26扩开，而可完成环形部件24在辊轴22上的安装及拆卸。
保持部件27，整体为不锈钢制成的圆环状物，由被固定在辊轴22上的固定环28(相当于本发明的第1保持部)，及与此固定环28相配，用于平舍近求远固定环形部件24的固定板36(相当于本发明的第2保持部)所组成。
固定环28，具有与辊轴22的外径大体相等的内径，及比环形部件24小一圈的外径。此固定环28的一侧面，是用于安装环形部件24的安装面29。在此安装面29上，沿直径外侧，切削掉与环形部件24厚度相等的部分而形成台阶部30。
同时，在台阶部30的内侧领域，形成有一圈可嵌入环形部件24的凸缘25的沟槽31(相当于本发明的凹部)。使沟槽部31与凸缘25整合的同时，把上述环形部件24镶在这台阶部30上。
同时，在沟槽部31稍稍内侧的所定位置，形成有螺丝孔33，以使能把固定板36用带头螺丝32固定在孔32上。这个螺丝孔33，被开在同一圆周上的等间隔的3处。
在固定环28的安装面29的反面，径向的内侧，形成有一周向辊轴方向突出的筒部34。辊轴22被紧密地嵌入这个筒部34的内部，藉此，固定环28被同芯固定在辊轴22上，且不会在直径方向发生游动。在这个筒部34的长手方向的大体上处于中央的位置，开了一个贯通的固定螺丝用孔35，通过在这固定螺丝孔35中装入固定螺丝(没有图示)拧紧，固定环28则被固定在辊轴22上，作为一个整体而旋转。
另一方面，固定板36，被做成一具有与固定环28大体上相等的外径的平板圆环。固定板36的内径，比辊轴22的外径略大，以使在固定环28上安装或拆卸固定板36时沿轴方向易于滑动。在这个固定板36上，与固定环28的螺丝孔33相对应的位置，形成有带头螺丝32插通用的安装孔37。这个安装孔37，被做成大小圆孔相联的烧瓶形。大孔37A的直径比带头螺丝32的头部32A稍大；小孔37B的直径既比带头鱼螺丝32的螺丝部32B大，又比头部32A小。
固定板36是按如下方法固定在固定环28上的，首先使安装孔37的小孔37B与固定环28的螺丝孔33相对应而把固定板36予装在固定环28的安装面29上，再把带头螺丝32通过小孔37B拧在螺丝孔33上固定。这样一来，环形部件24，就由固定板36和固定环28夹住，而保持不脱落。
其次，就上述构成的本实施形态的作用及效果加以说明。
如果用本实施形态的清洗装置2来洗涤玻璃基板7时，在搬送装置1的输送辊23上面载上玻璃基板7驱动驱动装置。于是，通过辊轴22的旋转驱动，被固定在辊轴22上而可一体化转动的输送辊23就旋转。由此，载于输送辊23上的玻璃基板7如图1所示被从左面搬送到右面。并且，在玻璃基板通过各装置3，4，5，6的内部期间，玻璃基板7被依次进行处理。即，玻璃基板7通过红外线预备加热装置4里面的时候被加热处理，接着被搬送到紫外线灰化装置3里面进行耐蚀剂的灰化处理。然后，被搬送到冷却装置5里面冷却，再搬送到软洗装置6里面湿式洗净。
此时，因为金属制的保持部件27比环形部件24直径小，而不与玻璃基板7接触，只有软质的环形部件24与玻璃基板7接触(参照图6)。由此回避了玻璃基板7被输送辊23所损伤。
同时，环形部件24，被固定环28，及可被固定于固定环28上的固定板36夹着配置。此时，为把固定板36固定在固定环28上，比起辊轴22，更可固定于接近环形部件24与玻璃基板7相接触的部分(参照图5)。因此，可精度很好地固定环形部件24与玻璃基板7接触部分的位置。其结果，可很精确地固定分离部26的两端中与玻璃基板7接触的部分，能防止由于分离部26的两端的位置的偏差造成的搬送时的玻璃基板7振动。
同时，由于环形部件24具有分离部26，而易受热或基材的干涉产生变形。可是，因为在环形部件24上设置有凸缘25，此凸缘25被镶嵌在固定环28的沟槽31上，所以环形部件24相对于固定环28的运动被限制，而使得环形部件24既保持了其形状又被确实地固定在保持部件27上。因而，能防止环形部件24的变形，而圆滑地搬送玻璃基板7。
特别是，因为环形部件24被嵌在不可游动地固定于辊轴22的固定环28的一侧，所以能防止环形部件24相对于辊轴22的芯偏差。同时，凸缘25及沟槽31是被形成于全周上，而使得环形部件24确实保持圆环形状。据此，可防止搬送玻璃基板7的时候的振动。
因为设置于环形部件24上的分离部26是一处，而具有以下优点。即在搬送装置使用中即使固定板36对环形部件24的压迫松懈，也不会导致环形部件24从辊轴22上脱落。
由于环形部件24受热或紫外线等的影响而在比较早期发生劣化，按以下的方法进行交换。
首先，稍微松开带头螺丝32，转动固定板36至带头螺丝32的头部32A与安装孔37的大孔37A相一致的位置(图7参照)。在此状态下，滑动固定板36让带头螺丝32的头部32A通过大孔37A，从固定环28脱开(参照图8)。接着，从固定环28上取下环形部件24。并且，扭开环形部件24的分离部26，扩展至分离边26A，26B的间隙使辊轴22能通过，使辊轴22从此空隙通过，取下环形部件24(参照图9)。
此后，经与拆卸相反的次序，把新的环形部件24，安装到保持部件27上。即，扩开环形部件24的分离部26，使辊轴22从这里进到圆环内，而把环形部件24安装到辊轴22上。其次，让沟槽31与凸缘25相一致，把环形部件24镶嵌在固定环28上。接着，让带头螺丝32的头部32A从大孔37A通过，把固定板36滑向固定环28，使之与安装面29相接触。并且，转动固定板36使带头螺丝32的螺丝部32B进入到小孔37B的位置，使固定板36保持在不会脱落。最后，通过拧紧带头螺丝32，而把环形部件24由固定板36和固定环28相夹固定。
如上所述，因为在环形部件26上形成有分离部26，就可不必从搬送装置1上取下辊轴22，而只进行环形部件24的安装，拆卸作业。同时，因为设置于固定板36上的安装孔37呈烧瓶状，就不必从固定环28上取下带头螺丝32，而可以在固定环28上进行安装或拆卸固定板36的作业。
根据如上的本实施形态，与玻璃基板7直接接触的环形部件24由软质树脂做成，而且通过在这个环形部件24上设置分离部26，使得交换工作容易进行。因此，能搬送玻璃基板7而使之不损伤，而且，能容易进行维修工作。
再者，根据本实施形态，因为树脂的环形部件24，被不锈钢的固定环28和不锈钢的固定板36所夹持配置，而使环形部件24上的被紫外线等的电磁波所照射的部分被限制在最小限度，而抑制了环形部件24的劣化。
而且，在本实施形态中，虽然以具备紫外线灰化装置3的搬送装置1为例进行了说明，不过，其他的装置4，5，6上的搬送装置也具有同样的构成，也会收到同样的作用效果。
同时，在本实施形态中，通过输送辊23的转动而搬送玻璃基板7，不过，如果玻璃基板7是被辊以外的动力搬送，辊只是被用于玻璃基板7的位置调整，同样可得到本发明的效果(第2实施形态，以及其他的实施形态也同样)。
<第2实施形态>
以下，参照图10及图11，对本发明的第2实施形态加以说明。
第1实施形态和本实施形态的不同点在于，分离部41被设置成斜向于环形部件40的轴方向。
由于环境温度的变动，环形部件40产生收缩时，有时造成分离部41产生开口。这里，如果象第1实施形态一样地把分离部41设置成沿环形部件40的轴方向，因为这个开口部分朝向与玻璃基板7的搬送方向相垂直的方向，则担心玻璃基板7在搬送时会产生振动。可是，如果把分离部41设置成斜向于环形部件40的轴向，则总会有两分割边41A，41B中的其中至少一个在支撑着玻璃基板7。因为这个缘故，可回避振动而圆滑地搬送玻璃基板7。
<其他实施形态>
本发明的技术范围，并不仅限于上述的实施形态，下面所记载的内容也包含于本发明的技术的范围内。另外，本发明的技术范围，涉及到均等的范围。
(1)上述实施形态中，虽在环形部件24上只设有一处分离部26，不过，如图12所示，分离部42也可设置在2处，或者，设有3处以上也可以。这样的构成适合用于，特别是，环形部件43由PEEK树脂等比较硬的材质构成，若不加上大力量就拧不动的情况。
(2)上述实施形态中，虽在固定环28的一侧设置有沟槽31，不过，也可以在固定板一侧设置凹部。同时，也可以在保持部件一侧设置有突出部，在环形部件一侧设置凹部。并且，也可以在保持部件和固定板的双方都设置凹部或突出部，在环形部件的两侧设置可与上述部件相嵌合的突出部或凹部。
(3)上述实施形态中，凸缘25及沟槽31，虽被设置在环形部件24及固定环28的全周上，不过，只在圆周上的一部分设置也可以。
(4)上述实施形态中，在固定环28的一侧设置有带头螺丝32，在固定板36一侧设有安装孔37，不过，也可以在固定环一侧设置安装孔，在固定板一侧设置带头螺丝。
(5)上述实施形态中，虽然环形部件24由PTFE树脂形成，不过，用其他树脂也可以。可很好使用的树脂材料具体如，作为聚酰亚胺树脂的sepura(登记商标)，高密度聚乙烯(UPE)等。并且，被用于内部为高温的红外线预热装置4的搬送装置时，最好使用具有出色耐热性能的PEEK树脂。也可以使用混入纤维等，实行退火处理，架桥等改质处理的树脂。
(6)上述实施形态中，保持部件27由不锈钢制成，不过，也可以采用铝，陶瓷等。
(7)把输送辊安装在辊轴上，各辊轴上辊的位置在沿轴方向互相错开也可以。这样一来，就可以避免由于被搬送物总是在特定的位置与输送辊相接触而造成的擦伤。
产业利用可能性如上所述，根据本发明的搬送装置，有用与作为搬送被搬物体的装置，特别适用于，当被搬物体为玻璃等易受伤物体的情况，及对被搬送物进行紫外线处理的工序。
权利要求
1.一种具有带辊的辊轴，搬送与上述辊相接触的被搬送体的搬送装置，所述的辊，具有与搬送中的上述被搬送体相接触的环形部件，在上述环形部件上设有沿直径方向分断的分离部。
2.根据权利要求1所记载的搬送装置，所述的辊具有保持部件，上述保持部件，由第1保持部和，能固定在此第1保持部上的第2保持部分割形成，上述环形部件，被上述第1保持部和上述第2保持部夹持而被安装在上述保持部件上。
3.根据权利要求1所记载的搬送装置，上述环形部件及上述保持部件中的一侧，设有沿轴的方向伸出的突出部，同时在另一侧，设置有上述突出部嵌入可能的凹部。
4.根据权利要求2所记载的搬送装置，在上述环形部件及上述保持部件的其中一方，设有沿轴的方向伸出的突出部，同时在另一方，设置有上述突出部嵌入可能的凹部。
5.根据权利要求4所记载的搬送装置，上述第1保持部，可固定在上述辊轴上，上述环形部件，可固定在上述保持部件上，把上述突出部或者上述凹部设置在上述第1保持部上。
6.根据权利要求1所记载的搬送装置，上述环形部件上，与搬送中的上述被搬送体相接触的部分，由软质材料构成，此软质材料具有可避免上述被搬送体与上述环形部件接触时造成的损伤。
7.根据权利要求1所记载的搬送装置，上述分离部的轮廓线上，与搬送中的上述被搬送体相接的部分，不收敛在包含了上述辊轴的回转轴的平面内。
8.根据权利要求2所记载的搬送装置，上述第2保持部，可用螺丝固定在上述第1保持部上。
9.根据权利要求8所记载的搬送装置，在上述第1保持部或第2保持部上，设有大孔和小孔连接而成的安装孔，在设置有上述安装孔的保持部上，通过贯通上述安装孔的螺丝把另一保持部固定在其上，上述螺丝，是由螺丝部和比此螺丝部直径大的头部构成的带头螺丝，上述头部，被上述大径孔容许插穿，而且被上述小径孔限制插通。
10.根据权利要求1-9任意一项所记载的搬送装置，设在上述环形部件上的上述分离部为一处。
全文摘要
提供一种搬送装置，其可不损伤基材而完成搬送，而且容易进行维修。在输送辊(23)上具有与玻璃基板(7)直接接触的环形部件(24)，和把这个环形部件(24)固定在辊轴(22)上的保持部件(27)，环形部件(24)由软质材料形成。并且，由于环形部件(24)上设有分离部，而不必从搬送装置(1)取下辊轴(22)，就能在辊轴(22)上进行环形部件(24)的安装和拆卸。因此，可无损伤地搬送玻璃基板(7)，而且容易进行维修作业。
文档编号B65G39/04GK1652986SQ0381059
公开日2005年8月10日 申请日期2003年5月12日 优先权日2002年5月14日
发明者坂元弘实, 花阪胜康 申请人:日本电池株式会社