浮动运输设备和浮动运输方法

浮动运输设备和浮动运输方法
【专利摘要】本发明提供一种便宜的运输技术，甚至当通过将多个轨道沿着运输方向对准而构造运输线路时，也可以通过所述运输技术在不接触运输线路的情况下以稳定的方式运输正运输的物体。在轨道(2)的运输表面(20)上形成有：多个压缩气体排气孔(22)，其用于将已经被供给到通风路径的压缩气体喷到运输表面(20)上的基板(5)；和多个螺旋流产生部分(23)，其喷出压缩气体并且产生螺旋流。至少在运输表面(20)上的这样的位置处形成多个螺旋流产生部分(23)，即，所述位置与当基板(5)的前边缘(51a)到达随后的轨道(2)的运输表面(20)的沿着运输方向(A)的后部边缘(21b)时基板(5)的后边缘(51b)相对应，以及与当基板(5)的后边缘(51b)到达轨道(2)的运输表面(20)的沿着运输方向(A)的前部边缘(21a)时基板(5)的前边缘(51a)相对应。
【专利说明】淳动运输设备和淳动运输方法

【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种浮动运输技术，在所述浮动运输技术中正被运输的物体是浮动的 并且在没有接触的情况下被运输。

【背景技术】
[0002] 在生产线和类似物中，已知有浮动运输设备，所述浮动运输设备使正从诸如运输 轨道的运输表面运输的物体浮动并且在没有接触的情况下运输该物体。例如，专利文献1 公开了 一种浮动运输设备，所述浮动运输设备在运输轨道的运输表面上同时执行喷气和吸 气，并且因而可以在使正运输的物体离运输轨道的运输表面的浮动高度稳定的同时运输该 正运输的物体。
[0003] 【引用列表】
[0004] 【专利文献】
[0005] 专利文献1 :日本专利申请特开No. 2008-7319


【发明内容】

[0006]【技术问题】
[0007] 然而，在专利文献1中说明的浮动运输设备中，需要在运输轨道中构造有用于喷 气和吸气的两个系统的通风路径。另外，必需有适用于喷气和吸气的泵。因此，设备的结构 变得复杂，并且从而增加成本。
[0008] 此外，在浮动运输设备中，当正运输的物体的运输距离延伸时，运输轨道总体上沿 着正运输的物体的运输方向连结。在专利文献1中说明的浮动运输设备中，浮动运输线路 通过将两个运输轨道沿着运输方向对准而构造。因而，使沿着运输方向彼此相邻的运输轨 道不接触，并且在运输轨道之间形成有间断部分，即，在运输轨道之间形成有在运输表面上 的空隙（所谓的运输轨道的连结部）。此外，依据浮动运输设备的用法，可以在沿着运输方 向彼此相邻的运输轨道之间设置有空隙，所述空隙用于布置激光划片机和类似物。
[0009] 在运输轨道之间的这种空隙中，难以向正运输的物体喷气。因而，难以出现气膜压 力。因此，当正运输的物体通过穿过运输轨道之间的空隙而从沿着运输方向布置的两个相 邻的运输轨道中的一个运动到另一个时，一旦正运输的物体的边缘定位在空隙上方，则正 运输的物体由于自重而偏转，并且正运输的物体的边缘会与另一个运输轨道的边缘接触。 尤其，用于诸如液晶显示面板和等离子显示面板和类似物的平板显示面板的较大玻璃基板 是非常薄的，并且易于偏转。因而，非常可能的是玻璃基板的边缘当在运输中经过运输轨道 之间的空隙时与随后的运输轨道的边缘接触。
[0010] 鉴于以上情况形成本发明，并且本发明的目的是提供一种在通过将多个运输轨道 对准而构造的浮动运输线路中的浮动运输技术，所述运输轨道具有用于从运输表面沿着运 输方向喷出气体的机构，所述浮动运输技术能够防止正运输的物体与运输轨道碰撞，从而 在没有接触的情况下稳定地运输正运输的物体，并且实现成本降低。 toon]【解决问题的方案】
[0012] 为了解决上述问题，在根据本发明的浮动运输设备中，在包括运输表面的运输轨 道上，所述运输表面具有用于向正运输的物体喷出气体的多个排气孔，在运输表面上的这 样的位置处设置有至少一个螺旋流产生装置，即，所述位置是当正运输的物体的沿着运输 方向的一个边缘已经经过运输表面的沿着运输方向的一个边缘时与正运输的物体的沿着 运输方向的另一个边缘相对应的在运输表面上的位置。螺旋流产生装置通过喷出气体和产 生螺旋流而产生负压。
[0013] 例如，本发明是一种浮动运输设备，所述浮动运输设备使正运输的物体从运输轨 道的运输表面浮动并且在没有接触的情况下沿着运输方向运输正运输的物体，所述浮动运 输设备包括：
[0014] 多个排气孔，所述多个排气孔形成在运输表面上以朝向正运输的物体喷出气体； 和
[0015] 至少一个螺旋流产生装置，所述至少一个螺旋流产生装置设置在运输表面上的这 样的位置处，即，所述位置是当正运输的物体的沿着运输方向的一个边缘已经经过运输表 面的沿着运输方向的一个边缘时与正运输的物体的沿着运输方向的另一个边缘相对应的 在运输表面上的位置，并且所述至少一个螺旋流产生装置通过喷出气体和产生螺旋流而产 生负压。
[0016] 【本发明的有利效果】
[0017] 在本发明中，当正运输的物体通过穿过运输轨道之间的空隙而从沿着运输方向布 置的两个相邻的运输轨道中的一个运动到另一个时，一旦正运输的物体的沿着运输方向的 一个边缘定位在空隙上方，则正运输的物体由于自重而偏转。由此，产生使正运输的物体的 沿着运输方向的另一个端部远离运输表面的方向（浮动方向）运动的力。然而，该力由于 螺旋流产生装置在与正运输的物体的另一个边缘相对应的在运输表面上的位置处所产生 的螺旋流而通过负压消除，并且正运输的物体的沿着运输方向的另一个边缘被拉向运输表 面。这样，能够防止正运输的物体通过自重而导致偏转，并且防止正运输的物体的沿着运输 方向的边缘和运输轨道的沿着运输方向的边缘之间碰撞。
[0018] 此外，在本发明中，通过喷出气体以产生螺旋流和产生负压，正运输的物体被拉向 运输轨道的运输表面。因而，在用于喷出气体以使正运输的物体从运输表面浮动的压缩气 体排气孔与用于喷出气体以将正运输的物体的边缘拉到运输表面的螺旋流产生装置之间 可以共用通风路径和用于供气的泵。因此，根据本发明，能够提供一种浮动运输技术，甚至 当浮动运输线路通过将多个运输轨道沿着运输方向对准而构造时，所述浮动运输技术也能 够防止正运输的物体与运输轨道碰撞，从而在没有接触的情况下稳定地运输诸如基板的正 运输的物体，并且实现成本降低。

【专利附图】

【附图说明】
[0019] 图1是根据本发明的实施例的基板运输设备1的示意性构造视图；
[0020] 图2 (A)是在轨道2的运输表面20上的螺旋流产生部分23的形成部分的放大图， 并且图2 (B)是图2㈧中所示的螺旋流产生部分23的A-A剖视图；
[0021] 图3是用于解释通过将基板运输设备1的多个轨道2沿着基板运输方向A对准而 构造的基板运输线路6的不例的视图；和
[0022] 图4(A)和4(B)是用于解释基板5的状况的视图，所述基板5是从运输表面20浮 动和在没有接触的情况下在基板运输线路6上方运输。

【具体实施方式】
[0023] 以下，将参照【专利附图】

【附图说明】本发明的一个实施例。
[0024] 图1是根据实施例的基板运输设备1的示意性构造视图。
[0025] 如图1中所示，根据本实施例的基板运输设备1包括：轨道2,所述轨道2设有运 输表面20,所述运输表面20用于在没有接触的情况下运输基板5 (参见图3)，所述基板5 例如是用于平板显示面板的较大玻璃基板，所述平板显示面板例如是液晶显示面板和等离 子显示面板；泵3,所述泵3供给压缩气体；和管4,所述管4连接到泵3的压缩气体排气孔 (未不出）和轨道2的供气孔（未不出）。
[0026] 这里，在轨道2内形成有连接到供气孔的通风路径（未示出），并且在轨道2的运 输表面20上形成有：多个压缩气体排气孔22,其连接到通风路径；和多个螺旋流产生部分 23(参见图2)，其包括以下将说明的连接到通风路径的螺旋流排气孔26。在图1中和在以 下将说明的图3中，应注意到，为了简化附图起见，仅用符号示出压缩气体排气孔22的一部 分和螺旋流产生部分23的一部分。
[0027] 在轨道2的运输表面20上，在沿着轨道2的纵向方向的两个边缘21a和21b的侧 部上的区域（压缩气体排气区域）29中的每个中，形成多个压缩气体排气孔22。这些压缩 气体排气孔22中的每个都朝向运输表面20的垂直线方向敞开，并且朝向正在运输表面20 上运输的基板5喷出供给到通风路径的压缩气体a(参见图4(A)和4(B))。如在以下将说 明的图4中所示，在两个轨道2 (2A，2B)以预定的空隙d沿着基板运输方向A对准的情况下， 每个压缩气体排气区域29沿着基板运输方向A(轨道2的纵向方向）的宽度被设定成小于 在基板5的宽度Η和空隙d的宽度之间的差，以便当基板5经过轨道2A上的螺旋流产生区 域28上方时使基板5的前边缘51a或后边缘51b可以经过空隙d。
[0028] 在通过定位在轨道2的运输表面20上的两个边缘21a、21b的侧部上的压缩气体 排气区域29所夹持的区域（螺旋流产生区域）28中，形成多个螺旋流产生部分23。通过在 供给到通风路径的压缩气体E中形成螺旋，这些螺旋流产生部分23中的每个都产生螺旋流 b(参见图 2(A)、图 4(A)和 4(B))。
[0029] 图2 (A)是在轨道2的运输表面20上的螺旋流产生部分23的形成部分的放大图， 并且图2(B)是在图2(A)中所示的螺旋流产生部分23的A-A剖视图。
[0030] 如图2中所示，螺旋流产生部分23包括：圆柱形凹部分24,其形成在轨道2的运 输表面20上；和螺旋流排气孔26,其形成在凹部分24的周边内表面25上，并且沿着凹部 分24的周边内表面25的切线方向喷出压缩气体E。
[0031] 螺旋流排气孔26连接到通风路径。从泵3通过通风路径供给的压缩气体E从螺 旋流排气孔26沿着凹部分24的周边内表面25的切线方向喷出到凹部分24的内部，从而 沿着凹部分24的周边内表面25形成螺旋。这样，产生螺旋流b。然后，在凹部分24的周边 内表面25的开口侧上设置有锥形27,以便容易在轨道2的运输表面20和正运输的基板5 之间从凹部分24喷出包含在螺旋流中的气体。
[0032] 此外，在轨道2的运输表面20上的区域28中，以分布的方式布置有产生沿着顺时 针方向的螺旋流的螺旋流产生部分23和产生沿着逆时针方向的螺旋流的螺旋流产生部分 23。由此，消除了由于作用在基板5上的螺旋流而产生的力矩，所述基板5在没有接触的情 况下在轨道2的运输表面20上方运输。
[0033] 在本实施例中，注意到，在轨道2的运输表面20上直接形成螺旋流产生部分23的 凹部分24和螺旋流排气孔26。然而，螺旋流产生部分23可以通过在轨道2的运输表面20 上嵌入芯片而形成，所述芯片包括圆柱形室和喷嘴，所述喷嘴形成为沿着圆柱形室的内周 边方向的切线方向喷出气体。
[0034] 图3是用于解释通过将基板运输设备1的多个轨道2沿着基板运输方向A对准而 构造的基板运输线路6的不例的视图。
[0035] 如图3中所示，基板运输线路6总体上通过根据基板5的宽度h布置多个线路而 构造，所述多个线路通过将具有与基板运输线路6沿着基板运输方向A的线路长度相对应 的数量的轨道2对准而构造。例如，因为布局的便利性等，在沿着基板运输方向A彼此相邻 的轨道2的边缘21a和21b之间设置有空隙d。因而，在基板运输线路6上出现轨道2的运 输表面20上的间断部分，并且在该位置处不能向基板5喷出压缩气体。
[0036] 此外，如图3中所示，至少在轨道2A的运输表面20上的位置处和在轨道2B的运 输表面20上的位置处，形成多个螺旋流产生部分23,所述在轨道2A的运输表面20上的位 置是当正运输的基板5的前边缘51a到达在随后的轨道2B的运输表面20的沿着基板运输 方向A的后侧上的边缘（后部边缘）21b时与基板5的后边缘51b相对应的在轨道2A的运 输表面20A的位置（图4 (A))，并且所述在轨道2B的运输表面20上的位置是当正运输的 基板5的后边缘51b到达在轨道2A的运输表面20的沿着基板运输方向的前侧上的边缘 (前部边缘）21a时与基板5的前边缘51a相对应的在轨道2的运输表面20B上的位置（图 4 (B))。此外，多个压缩气体排气孔22形成在运输表面20上的区域29的整个表面，除了螺 旋流产生部分23的形成区域28以外。
[0037] 图4(A)和4(B)是用于解释基板5的状况的视图，所述基板5是从运输表面20浮 动和在没有接触的情况下在基板运输线路6上方运输。
[0038] 如图4(A)中所示，在基板5通过从形成在轨道2A的运输表面20上的多个压缩气 体排气孔22喷出的压缩气体而从轨道2A的运输表面20浮动的同时，基板5在没有接触的 情况下沿着基板运输方向A运输。然后，当基板5的前边缘51a经过轨道2A的前部边缘21a 并且到达在轨道2A的前部边缘21a和随后的轨道2B的后部边缘21b之间的空隙时，基板 5的前边缘51a由于基板5的自重而偏转，并且倾向于落入空隙d中，从而与轨道2B碰撞。 因而，基板5的后边缘51b倾斜以沿着远离轨道2A的运输表面20的方向（浮动方向）运 动。这里，基板5的后边缘51b的一侧通过螺旋流b的中心部分的负压P被拉向轨道2A的 运输表面20,所述负压P由多个螺旋流产生部分23产生，所述多个螺旋流产生部分23形成 在轨道2A的运输表面20上的面对基板5的后边缘51b的位置处。这样，基板5的前边缘 51a的一侧被升高。由此，能够防止基板5的前边缘51a由于自重而掉落，并且防止基板5 与轨道2B碰撞。
[0039] 以下，如图4B中所示，当基板5的后边缘51b经过轨道2A的前部边缘21a并且到 达在轨道2A的前部边缘21a和随后的轨道2B的后部边缘21b之间的空隙d时，基板5的 后边缘51b的一侧由于基板5的自重而偏转，并且倾向于落入空隙d中。因而，基板5的前 边缘51a倾向于倾斜，从而沿着远离随后的轨道2B的运输表面20的方向运动。这里，基板 5的前边缘51a通过螺旋流b的中心部分的负压P被拉向随后的轨道2B的运输表面20,所 述负压P由多个螺旋流产生部分23产生，所述多个螺旋流产生部分23形成在轨道2B的运 输表面20上的面对基板5的前边缘51a的位置处。这样，基板5的后边缘51b的一侧被升 高。由此，防止基板5的后边缘51b由于自重而掉落，并且防止基板5与轨道2B碰撞。
[0040] 以上，已经说明了本实施例。
[0041] 在本实施例中，如图4(A)和4(B)中所示，基板5的一个边缘（前边缘51a或后边 缘51b)的一侧被拉向轨道2的运输表面20,由此基板5的另一个边缘（后边缘51b或前 边缘51a)被升高。因而，能够防止在基板运输线路6上方正运输的基板5的前边缘51a或 后边缘51b由于自重而掉落到在基板运输线路6上的轨道2的运输表面20上的间断部分 (在沿着基板运输方向A相邻的轨道2之间所形成的空隙d)中，并且防止所述基板5与轨 道2B碰撞。此外，在本实施例中，从泵3供给到轨道2中的通风路径的压缩气体从在轨道 2的运输表面20上的压缩气体排气孔22朝向在轨道2的运输表面20上方的基板5喷出， 并且还从螺旋流产生部分23的螺旋流排气孔26喷出，从而形成螺旋流b。在螺旋流b的中 心部分中出现的负压P将基板5拉向轨道2的运输表面20。因而，压缩气体排气孔22和螺 旋流产生部分23可以共用轨道2中的通风路径（未示出）和泵3。因此，根据本实施例，甚 至当轨道2的运输表面20的间断部分存在于基板运输线路6上时，也能够防止基板5与运 输轨道2碰撞，从而在没有接触的情况下稳定地运输基板5,并且抑制基板运输设备1的成 本。
[0042] 此外，在本实施例中，螺旋流产生部分23通过在轨道2的运输表面20上设置圆柱 形凹部分24并且通过在凹部分24的周边内表面25上设置螺旋流排气孔26而形成，所述 螺旋流排气孔26用于沿着凹部分24的周边内表面25的切线方向喷出压缩气体E。这样， 能够借助简单的构造产生将基板5拉向轨道2的运输表面20的负压P。
[0043] 此外，在本实施例中，产生沿着顺时针方向的螺旋流的螺旋流产生部分23和产生 沿着逆时针方向的螺旋流的螺旋流产生部分23共同存在于轨道2的运输表面20上。因而， 能够消除由于作用在基板5上的螺旋流而产生的力矩，所述基板5在没有接触的情况下在 轨道2的运输表面20上方正运输。因此，能够在没有接触的情况下以更加稳定的方式运输 基板5。
[0044] 在本实施例中，在螺旋流产生部分23布置成使得当基板5的前边缘51a到达螺旋 流产生部分23上方的位置时基板5的后边缘51b定位在压缩气体排气孔22上方的情况 下，基板5的前边缘51a通过螺旋流b的中心部分的负压P被拉向运输表面20,并且基板5 的后边缘51b由于从排气孔22喷出的压缩气体a而倾斜以沿着远离运输表面20的方向运 动。然而，甚至在该情况下，在螺旋流产生部分23中，包含在螺旋流中的气体e (参见图4) 在基板5和轨道2的运输表面20之间从凹部分24的周边流出。因而，能够防止基板5的 前边缘51a被拖曳而与运输表面20接触。
[0045] 此外，实施例举例说明了以下情况，即，用于较大玻璃基板的基板5是正运输的物 体，所述较大玻璃用于诸如液晶显示面板和等离子显示面板的平板显示面板。然而，不但能 够有利地运输基板，而且能够运输易于偏转的正运输的片状物体。
[0046] 【工业适用性】
[0047] 本发明可以广泛地应用于各种浮动运输设备，所述浮动运输设备使正运输的物体 浮动并且在没有接触的情况下运输正运输的物体。
[0048] 【附图标记列表】
[0049] 1 :基板运输设备
[0050] 2 :轨道
[0051] 3 :泵
[0052] 4 :管
[0053] 5 :基板
[0054] 6 :基板运输线路
[0055] 20 :运输表面
[0056] 21a :运输表面的前部边缘
[0057] 21b :运输表面的后部边缘
[0058] 22 :压缩气体排气孔
[0059] 23 :螺旋流产生部分
[0060] 24:凹部分
[0061] 25:凹部分的周边内表面
[0062] 26 :螺旋流排气孔
[0063] 27 :锥形
[0064] 28 :螺旋流产生区域
[0065] 29 :压缩气体排气区域
[0066] 51a :基板的前边缘
[0067] 51b :基板的后边缘
【权利要求】
1. 一种浮动运输设备，所述浮动运输设备使正运输的物体从运输轨道的运输表面浮动 并且在没有接触的情况下沿着运输方向运输所述正运输的物体，所述浮动运输设备包括： 多个排气孔，所述多个排气孔形成在所述运输表面上以朝向正运输的物体喷出气体； 和 至少一个螺旋流产生装置，所述至少一个螺旋流产生装置设置在所述运输表面上的这 样的位置处，即，所述位置与当所述正运输的物体的沿着所述运输方向的一个边缘已经经 过所述运输表面的沿着所述运输方向的一个边缘时所述正运输的物体的沿着所述运输方 向的另一个边缘相对应，并且所述至少一个螺旋流产生装置通过喷出气体和产生螺旋流而 产生负压。
2. 根据权利要求1所述的浮动运输设备，其中， 所述至少一个螺旋流产生装置还设置在所述运输表面上的这样的位置处，即，所述位 置与当所述正运输的物体的沿着所述运输方向的前边缘已经经过所述运输表面的沿着所 述运输方向的前部边缘时所述正运输的物体的沿着所述运输方向的后边缘相对应。
3. 根据权利要求1或2所述的浮动运输设备，其中， 所述至少一个螺旋流产生装置还设置在所述运输表面上的这样的位置处，即，所述位 置与当所述正运输的物体的沿着所述运输方向的后边缘已经到达所述运输表面的沿着所 述运输方向的后部边缘时所述正运输的物体的沿着所述运输方向的前边缘相对应。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的浮动运输设备，其中， 所述螺旋流产生装置包括： 形成在所述运输表面上的圆柱形凹部分；和 螺旋流排气孔，所述螺旋流排气孔形成在所述凹部分的周边内表面中，从而朝向所述 凹部分的周边内表面的切线方向喷出气体。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的浮动运输设备，其中， 所述螺旋流产生装置包括： 多个单向螺旋流产生装置，所述多个单向螺旋流产生装置产生沿着一个方向盘旋的螺 旋流；和 多个反向螺旋流产生装置，所述多个反向螺旋流产生装置以混合的方式产生沿着与所 述一个方向相反的方向盘旋的螺旋流。
6. -种浮动运输方法，所述浮动运输方法用于使正运输的物体从运输轨道的运输表面 浮动并且在没有接触的情况下沿着运输方向运输正运输的物体，其中 ： 从形成在所述运输表面上的多个排气孔喷出气体，并且将所述气体施加在所述正运输 的物体上，从而使所述正运输的物体从所述运输表面浮动；和 在运输表面上的这样的位置处产生气体的螺旋流，即，所述位置与当所述正运输的物 体的沿着所述运输方向的一个边缘已经经过所述运输表面的沿着所述运输方向的一个边 缘时所述正运输的物体的沿着所述运输方向的另一个边缘相对应，并且所述正运输的物体 的沿着所述运输方向的后边缘通过由所述螺旋流所产生的负压而被拉向所述运输表面。
【文档编号】B65G51/03GK104066664SQ201280067934
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2012年11月9日 优先权日:2012年2月14日
【发明者】安田贵裕, 角田耕一, 池田俊之, 小泽秀夫 申请人:奥依列斯工业株式会社