导辊设备的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种导辊设备，其包括：传递单元、多个第一辊、第二辊、带、以及第二辊移动单元。传递单元支撑传递对象并且沿着传递方向对传递对象进行传递。所述多个第一辊布置在传递对象的侧向侧部处、沿着传递方向间隔开、并且沿着传递方向引导传递对象。第二辊在传递对象的侧向侧部处布置在邻近的第一辊之间。带卷绕在邻近的第一辊之中的关于传递方向布置在第二辊后方的第一辊以及第二辊两者上。第二辊移动单元使第二辊在靠近传递对象的方向和离开传递对象的方向之间往复运动。
【专利说明】导辊设备
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种导辊设备，并且更具体地，涉及一种在相对的侧部处引导传递对象使得传递对象能够沿着传递方向正常地传递的导辊设备。
【背景技术】
[0002]当制造诸如平面显示板之类的显示基板时，执行例如淀积、清洗、干燥、蚀刻、曝光等各种工艺以在基板上形成图型。此外，大多数这种工艺在用于执行对应工艺的工艺室中执行，并且因此，必须对基板进行传递以进入相应的工艺室中或当在对应的工艺室中的工艺完成时进行传递以从该工艺室中取出基板。
[0003]作为目前在基板传递设备中使用的基板传递方法，存在用于传递水平地支撑的基板的水平传递方法、用于传递竖向地支撑的基板的竖向传递方法、以及用于传递倾斜地支撑的基板的倾斜传递方法等。
[0004]在基板的传递过程中，如果基板正常地传递，则基板沿着传递方向成直线地行进。然而，由于基板传递设备的不平衡的旋转力、基板传递设备的有缺陷的平整度等，基板可能并不沿着传递方向成直线地行进。因此，为了给基板不沿着传递方向成直线地行进的情形做准备，在基板的相对侧部处安装导辊设备以引导基板的直线传递，从而使基板能够正常地传递。
[0005]图1为示出了传统的导辊设备的示例的视图。
[0006]参照图1，传统的导辊设备包括沿着传递方向Al以预定距离间隔开的多个导辊20，并且每个导辊20能够不借助动力自由地旋转。如果传递对象10在沿着传递方向Al移动时稍微歪斜地行进并且与导辊20相撞，则导辊20进行旋转以使传递对象10能够朝向相反的方向前进，从而再次沿着传递方向Al对传递对象10进行传递。
[0007]然而，如图1的(b)中所示，如果传递对象10相对于传递方向Al过度歪斜地行进并且与导辊20相撞，则出现导辊20不再进行旋转并且传递对象10被卡在导辊20中且被导辊20停止的问题。为了解决该问题，工人必须手动地控制导辊20以使传递对象10能够正常地传递。
[0008]因此，如果传递对象被卡在导辊中并且不再沿着传递方向传递，由于必须停止工艺设备，故而降低了产品的生产效率，并且由于外力过度地施加到所传递的传递对象上，传递对象可能受到损坏。
【发明内容】
[0009]因此，本发明设想解决上述问题，并且本发明的方面是提供一种导辊设备，其除了包括用于引导传递对象的正常传递的辊以外，还包括能够在靠近传递对象的方向上移动的辊，从而在即使当传递对象相对于传递方向过度歪斜地行进时，仍然防止传递对象被卡在辊中并且防止传递对象不沿着传递方向传递。
[0010]根据本发明的方面，提供一种导辊设备，包括:传递单元，其沿着传递方向对传递对象进行传递；多个第一辊，其布置在传递对象的侧向侧部处、沿着传递方向间隔开、并且沿着传递方向引导待传递的传递对象；第二辊，其在传递对象的侧向侧部处布置在邻近的第一辊之间；带，其卷绕在邻近的第一辊之中的关于传递方向布置在第二辊后方的第一辊以及第二辊两者上；第二辊移动单元，其使第二辊在靠近传递对象的方向和离开传递对象的方向之间往复运动；第一辊旋转驱动器，其对第一辊进行旋转以使卷绕在第一辊和第二辊上的带旋转，其中，当传递对象被卡在带中且被带停止时的第一辊旋转驱动器的转矩定义为基准转矩，并且导辊设备还包括:转矩传感器，其检测第一辊旋转驱动器的转矩；以及控制器，在由转矩传感器检测的转矩大于等于基准转矩的情况下，控制器对第二辊移动单元进行控制以使第二辊在离开传递对象的方向上移动，并且随后使第二辊在靠近传递对象的方向上移动。
[0011 ] 导辊设备还可包括进入传感器，其检测传递对象的进入，其中，在进入传感器检测到传感对象的进入后，第二辊由第二辊移动单元在靠近传递对象的方向上移动。
[0012]导辊设备还可包括弹簧构件，其安装在第二辊中并且沿着横向于传递方向的方向朝向传递对象弹性地迫压第二辊，从而在当传递对象与第二辊或带相撞时吸收震动。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]通过下文中结合附图对示例性实施方式的说明，本发明的上述的和/或其他的方面将变得明显且更易于理解，在附图中:
[0014]图1为示出了传统导辊设备的示例的视图；
[0015]图2为示出了根据本发明的实施方式的导辊设备的视图；
[0016]图3为示出了由图2的导辊设备的第一辊旋转驱动器进行旋转的第一辊、第二辊和带的视图；
[0017]图4为说明了当传递对象不沿着传递方向传递时图2的导辊设备的第二辊的操作的视图；以及
[0018]图5为示出了图2的导辊设备的弹簧构件的视图。
【具体实施方式】
[0019]下面，将参照附图描述根据本发明的导辊设备的实施方式。
[0020]图2为示出了根据本发明实施方式的导辊设备的视图；图3为示出了由图2的导辊设备的第一辊旋转驱动器进行旋转的第一辊、第二辊和带的视图；图4为说明了当传递对象不沿着传递方向传递时图2的导辊设备的第二辊的操作的视图；以及图5为示出了图2的导辊设备的弹簧构件的视图。
[0021]参照图2至图5，在该实施方式中的导辊设备100包括传递单元110、多个第一辊120、第二辊130、带140、第二辊移动单元(未示出)、第一辊旋转驱动器(未示出)、控制器(未示出)、进入传感器160以及弹簧构件170，该导辊设备100在相对侧部引导传递对象以使传递对象能够沿着传递方向正常地进行传递。
[0022]传递单元110支撑传递对象10的底部并且沿着传递方向Al对传递对象10进行传递。传递单元110可包括马达、沿着传递方向Al布置的滚珠丝杠和直线运动引导单元等，马达供给用于旋转滚珠丝杠的旋转动力。传递单元110可根据马达的旋转方向沿着传递方向Al对传递对象10进行传递，或者在必要时沿着与传递方向Al相反的方向对传递对象10进行传递。
[0023]在本说明书中，传递对象10既可以指在没有基板托盘的情况下进行传递的基板本身，也可以指容纳在基板托盘中的基板。
[0024]沿着传递方向Al引导待传递的传递对象10的多个第一辊120布置在传递对象10的侧向侧部处并且沿着传递方向Al间隔开。第一辊120可由不损坏传递对象10并且不使传递对象10产生静电的材料制成。例如，第一辊120可由聚醚醚酮(PEEK)等制成。
[0025]第一辊120关于竖向地穿透中央部的旋转轴可旋转地安装。
[0026]第二辊130在传递对象10的侧向侧部处布置在邻近的第一辊120之间。类似地，第二辊130可由不损坏传递对象10并且不使传递对象10产生静电的材料制成。例如，第二辊130可由聚醚醚酮(PEEK)等制成。第二辊130关于竖向地穿透中央部的旋转轴可旋转地安装。
[0027]第二辊130可沿着传递方向Al安装在所有的邻近的辊120之间。替代性地，第二辊130可间断地安装成:在一些区域中，第二辊130安装在邻近的第一辊120之间；但在其他一些区域中，第二辊130不安装在邻近的第一辊120之间。
[0028]带140卷绕在第一辊120和第二辊130上，并且与第一辊120和第二辊130 —起旋转。如图2中所示，带140卷绕在邻近的第一辊120之中的关于传递方向Al位于第二辊130后方的第一棍120上。
[0029]类似地，带140可由不损坏传递对象10且不使传递对象10产生静电的材料制成。
[0030]第二辊移动单元(未示出)使第二辊130沿着横向于传递对象的传递方向Al的方向、在靠近传递对象的方向BI上或在离开传递对象的方向B2上往复运动。
[0031]在第二辊130在靠近传递对象的方向BI上移动的状态下，将第一辊120的旋转轴与第二辊130的旋转轴连接的虚拟线倾斜于传递方向Al。另一方面，在第二辊130在离开传递对象的方向B2上移动的状态下，将第一辊120的旋转轴与第二辊130的旋转轴连接的虚拟线与传递方向Al大致平行。
[0032]第二辊移动单元可由气动缸、结合有滚珠丝杠和旋转马达的结构体、线性马达或类似的直线驱动单元实现。这种直线驱动单元可由具有本领域普通技术的人员容易地构造而成，并且因此将省略对其的详细说明。
[0033]第二辊移动单元可构造成单独地移动相应的第二辊130，或将这多个第二辊130全部一起移动。
[0034]第一辊旋转驱动器(未示出)对第一辊120进行旋转并且因此使卷绕在第一辊120和第二辊130上的带140旋转。第一辊旋转驱动器可包括马达和动力传输单元，马达供给用于使第一辊120旋转的旋转动力，动力传输单元用于将旋转动力从马达传输至第一辊120。这种构造能够由具有本领域普通技术的人员容易地实现，并且因此将省略对其的详细说明。
[0035]第一辊旋转驱动器可构造成单独地旋转相应的第一辊120，或同时旋转多个第一辊 120。
[0036]控制器(未示出)对第二辊移动单元进行控制，从而在传递对象10被卡在带140中的状态下、当即使第一辊120旋转而传递对象10仍未在传递方向Al上传递而是被停止时，正常地对传递对象10进行传递。
[0037]第一辊旋转驱动器设置有用于检测第一辊旋转驱动器的转矩的转矩传感器(未示出)。在传递对象10不与带140相撞的状态下，不存在干涉带140的旋转的因素，并且因此，带140能够以第一辊旋转驱动器的额定转矩旋转。然而，如图4的(a)中所示，在传递对象10与带140相撞并且被卡在带140中且被带140停止的状态下，带140的旋转受到干涉，并且因此，第一辊旋转驱动器的对带140进行旋转所需的转矩增加。
[0038]此时，在传递对象10被卡在带140中且被带140停止的状态下，大于第一辊旋转驱动器的额定转矩的转矩将称作基准转矩。
[0039]如果由转矩传感器检测到的转矩大于等于如上文在传递对象10被卡在带140中且被带140停止的状态下定义的基准转矩，则控制器对第二辊移动单元进行控制以在图4的(b)中所示的离开传递对象的方向B2上移动第二辊130，并且随后，再次在图4的(c)中所示的靠近传递对象的方向BI上移动第二辊130。
[0040]参照图4的(C)，第二辊130在靠近传递对象的方向BI上移动时推动传递对象10的边缘部，并且因此，传递对象10的偏离角在一定程度上得到抵消，使得传递对象10能够返回其正常轨道并且能够沿着传递方向Al传递。
[0041]进入传感器160检测传递对象10的进入。
[0042]在通过进入传感器160检测到传递对象10进入后，控制器对第二辊移动单元进行控制以在靠近传递对象的方向BI上移动第二辊130。
[0043]传递单元110可在与设置有进入传感器160的端部相对的端部处设置有取出传感器(未示出)。在取出传感器检测到传递对象10取出后，控制器可对第二辊移动单元进行控制以在离开传递对象的方向B2上移动第二辊130。
[0044]为了在传递对象10与第二辊130或带140相撞时吸收震动，在第二辊130中设置有弹簧构件170。
[0045]弹簧构件170弹性地迫使第二辊130沿着横向于传递方向Al的方向、在朝向传递对象10的方向BI上受到推动。当传递对象10与第二辊130或带140相撞时，弹簧构件170的弹性在朝向传递对象10推动第二辊130的方向BI上起作用，并且由此对传递对象10的偏离角进行抵消，从而使传递对象10返回到传递方向Al。
[0046]除了包括用于引导传递对象进行正常地传递的第一辊外，具有根据实施方式的前述构造的导辊设备还包括第二辊，第二辊能够在靠近传递对象的方向上移动，从而具有即使传递对象相对于传递方向过度歪斜地行进也防止传递对象被卡在辊中且被辊停止的效果O
[0047]而且，具有根据实施方式的前述构造的导辊设备对卷绕在第一辊和第二辊两者上的带进行旋转，从而使歪斜地行进并且与带相撞的传递对象能够正常地返回传递方向。
[0048]而且，具有根据实施方式的前述构造的导辊设备在传递对象被卡在带中且被带停止时，将第二辊拉回并且随后让第二辊向前行进，从而使被卡在带中且被带停止的传递对象能够容易地返回传递方向。
[0049]而且，具有根据实施方式的前述构造的导辊设备包括朝向传递对象弹性地迫压第二棍子的弹簧构件，从而使与带相撞的传递对象能够容易地返回传递方向。
[0050]根据本发明，即使在传递对象相对于传递方向过度歪斜地行进时，导辊设备防止传递对象被卡在棍中且被棍停止。
[0051]而且，在根据本发明的导辊设备中，不仅歪斜地行进并且与带相撞的传递对象、而且被卡在带中并且被带停止的传递对象也能够正常地且容易地返回传递方向。
[0052]虽然已经示出并描绘了本发明的一些示例性实施方式，但本领域普通技术人员可以理解，在不脱离本发明的原理和精神的情况下可在这些实施方式中做出变化，本发明的原理和精神的范围由所附的权利要求及其等同物限定。
【权利要求】
1.一种导辊设备，包括:传递单元，所述传递单元沿着传递方向对传递对象进行传递；多个第一辊，所述多个第一辊布置在所述传递对象的侧向侧部处、沿着所述传递方向间隔开、并且沿着所述传递方向引导待传递的所述传递对象；第二辊，所述第二辊在所述传递对象的所述侧向侧部处布置在邻近的所述第一辊之间；带，所述带卷绕在邻近的所述第一辊之中的关于所述传递方向布置在所述第二辊后方的所述第一辊以及所述第二辊两者上；第二辊移动单元，所述第二辊移动单元使所述第二辊在靠近所述传递对象的方向和离开所述传递对象的方向之间往复运动；第一辊旋转驱动器，所述第一辊旋转驱动器对所述第一辊进行旋转以使卷绕在所述第一辊和所述第二辊两者上的所述带旋转； 其中，当所述传递对象被卡在所述带中且被所述带停止时的所述第一辊旋转驱动器的转矩定义为基准转矩，并且 所述导辊设备还包括: 转矩传感器，所述转矩传感器检测所述第一辊旋转驱动器的转矩；以及 控制器，在由所述转矩传感器检测到的转矩大于等于所述基准转矩的情况下，所述控制器对所述第二辊移动单元进行控制以在离开所述传递对象的方向上移动所述第二辊并且随后在靠近所述传递对象的方向上移动所述第二辊。
2.根据权利要求1所述的导辊设备，还包括进入传感器，所述进入传感器检测所述传递对象的进入； 其中，在所述进入传感器检测到所述传感对象的进入后，所述第二辊由所述第二辊移动单元在靠近所述传递对象的方向上移动。
3.根据权利要求1所述的导辊设备，还包括弹簧构件，所述弹簧构件安装在所述第二辊中并且沿着横向于所述传递方向的方向朝向所述传递对象弹性地迫压所述第二辊，从而在所述传递对象与所述第二辊或所述带相撞时吸收震动。
【文档编号】B65G39/18GK103625876SQ201310367352
【公开日】2014年3月12日 申请日期:2013年8月21日 优先权日:2012年8月22日
【发明者】宋旭, 朴明进, 姜明成, 郑基泽 申请人:Snu 精密股份有限公司